【技术实现步骤摘要】
一种晶体头尾切料回收装置
[0001]本技术属于半导体材料制备
,具体涉及一种晶体头尾切料回收装置。
技术介绍
[0002]无论是生长出来的圆柱形晶棒,还是利用掏棒机加工出来的圆柱形晶棒都需要对晶棒两端的不规整部分进行切割后才可以进行后续的精确加工,为避免切割掉落的晶体损坏切割机,现有的部分晶棒切割头尾装置大都是将晶棒切割至剩余1
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5mm左右,然后敲击打断这部分,取下不规整的头尾面后,在对规整的圆柱形晶棒进行后续加工,部分厂家切完几个晶棒头尾后,停机再取出切割后的晶体头尾,进行下一批晶棒的加工。
技术实现思路
[0003]本技术克服了现有技术存在的不足,提供了一种晶体头尾切料回收装置,将圆柱形晶棒两端不规整的部分进行切割后,头尾切料被接收后及时转移至切割机体外部进行回收,既不影响切割机的连续运行,又避免了人工敲击晶棒取晶棒头尾带来的对晶棒的损伤,提高了工作效率,也保证了晶棒的质量。
[0004]为了解决上述技术问题,本技术采用的技术方案为:一种晶体头尾切料回收装置,用于晶棒夹持的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶体头尾切料回收装置,用于晶棒(11)夹持的上夹持板(10)和下夹持板(12)和用于切割晶棒(11)的切割线(9)相配合设置于切割机上,所述下夹持板(12)下部连接有晶棒送料件(13),所述晶棒送料件(13)用于输送晶棒(11)向切割线(9)移动以切除晶棒(11)端部的头尾切料(14),其特征在于,所述晶体头尾切料回收装置包括:底座(1)、转杆一(2)、转杆二(3)、转杆三(4)、转动驱动件(5)、翻转驱动件、接料槽(8)和回收箱(22),晶棒(11)待切除的头尾切料(14)下方设置有所述接料槽(8),所述接料槽(8)的一侧连接有所述翻转驱动件,所述翻转驱动件用于翻转所述接料槽(8),所述翻转驱动件设置于水平设置的所述转杆三(4)一端,所述转杆三(4)另一端下部与水平设置的所述转杆二(3)一端上部铰接,所述转杆二(3)另一端的下部与水平设置的所述转杆一(2)的一端上部铰接,所述转杆一(2)的另一端下部与所述底座(1)铰接,所述底座(1)相对切割机固定,所述底座(1)与所述转杆一(2)的铰接处、所述转杆一(2)与所述转杆二(3)的铰接处、所述转杆二(3)与所述转杆三(4)的铰接处均设置有转动驱动件(5),所述转动驱动件(5)用于驱动所述底座(1)、所述转杆一(2)、所述转杆二(3)、所述转杆三(4)的相对位置改变,用于将所述接料槽(8)移动至固定于切割机外部的回收箱(22)上方。2...
【专利技术属性】
技术研发人员:樊海强,高佑君,王鼎,
申请(专利权)人:忻州中科晶电信息材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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