一种波导单元以及等离子体化学气相沉积设备制造技术

本申请公开了一种波导单元以及等离子体化学气相沉积设备，属于微波传导技术领域，波导单元设置有通道，波导单元包括至少一个第一散热壁，该第一散热壁设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口与第一出水口通过第一流道连通，第一流道位于第一散热壁内。本实施例公开的波导单元直接将用于供冷却水通过的第一流道设置在波导单元的侧壁内，由第一进水口和第一出水口令第一流道内的冷却水与外界形成循环，冷却水流速稳定，冷却水与通道间隔距离小，冷却效果较佳，且冷却水沿第一流道流动，流动较为均匀，具有较强的流动指向性，使第一流道内各处的冷却水温度较为一致，从而提升冷却效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
一种波导单元以及等离子体化学气相沉积设备


[0001]本技术涉及微波传导
，具体而言，涉及一种波导单元以及等离子体化学气相沉积设备。

技术介绍

[0002]现有大功率微波传输波导系统的散热主要在波导外壁上缠绕铜管或者铝管，并焊接在波导外壁上，冷却水流经铜管或者铝管来散热。该结构的缺点：焊接后冷却装置与基材之间存在热阻。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是公开一种波导单元以及等离子体化学气相沉积设备，以改善上述的问题。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]基于上述的目的，本技术公开了一种波导单元，包括至少一个第一散热壁，所述第一散热壁设置有第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述第一出水口通过第一流道连通，所述第一流道位于所述第一散热壁内。
[0006]可选地：所述第一流道在所述第一散热壁上呈曲线形，所述第一进水口和第一出水口分别位于所述第一流道的两端。
[0007]可选地：所述第一散热壁包括安装板和盖板，所述安装板设置有凹槽，所述盖板卡接于所述凹槽内，并形成所述第一流道。
[0008]可选地：所述第一流道位于所述安装板和所述盖板的一者上，且所述第一流道位于所述安装板或者所述盖板朝向另一者的一侧。
[0009]可选地：所述波导单元至少具有一对相对的侧壁设置为所述第一散热壁。
[0010]可选地：与所述第一散热壁相邻的侧壁设置为第二散热壁，所述第二散热壁设置有第二进水口和第二出水口，所述第二进水口与所述第二出水口通过第二流道连通，所述第二流道位于所述第二散热壁内，且所述第二散热壁内至少设置两条所述第二流道。
[0011]可选地：所述第二流道呈直线形，且所述第二流道沿两个所述第一散热壁的连接方向贯穿所述第二散热壁，所述第二进水口和所述第二出水口分别位于所述第二流道的两端。
[0012]可选地：与所述第一散热壁相邻的两个所述侧壁均设置为所述第二散热壁，所述第一散热壁安装于两个所述第二散热壁之间。
[0013]可选地：两个所述第二散热壁上均设置有安装孔，所述安装孔与所述第二流道间隔设置，所述安装孔沿两个所述第二散热壁的连接方向贯穿所述第二散热壁，且两个所述安装孔同轴设置。
[0014]基于上述的目的，本技术还公开了一种等离子体化学气相沉积设备，其包括至少两个如上所述的波导单元，相邻的两个所述波导单元的所述通道相互连通。
[0015]与现有技术相比，本技术实现的有益效果是：
[0016]本技术公开的波导单元直接将用于供冷却水通过的第一流道设置在波导单元的侧壁内，由第一进水口和第一出水口令第一流道内的冷却水与外界形成循环，冷却水流速稳定，冷却水与通道间隔距离小，冷却效果较佳，且冷却水沿第一流道流动，流动较为均匀，具有较强的流动指向性，使第一流道内各处的冷却水温度较为一致，从而提升冷却效果。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0018]图1示出了本技术实施例公开的第一种波导单元的示意图；
[0019]图2示出了本技术实施例公开的第一散热壁的示意图；
[0020]图3示出了本技术实施例公开的安装板的示意图；
[0021]图4示出了本技术实施例公开的盖板的示意图；
[0022]图5示出了本技术实施例公开的第二散热壁的示意图；
[0023]图6示出了本技术实施例公开的第二散热壁的剖视图；
[0024]图7示出了本技术实施例公开的等离子体化学气相沉积设备的示意图；
[0025]图8示出了本技术实施例公开的第二种波导单元的示意图；
[0026]图9示出了本技术实施例公开的第三种波导单元的示意图。
[0027]图中：
[0028]100
‑
波导单元；110
‑
第一散热壁；111
‑
安装板；112
‑
盖板；113
‑
凹槽；114
‑
第一流道；115
‑
第一进水口；116
‑
第一出水口；120
‑
第二散热壁；121
‑
安装孔；122
‑
第二进水口；123
‑
第二流道；124
‑
第二出水口。
具体实施方式
[0029]下面通过具体的实施例子并结合附图对本技术做进一步的详细描述。
[0030]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0031]因此，以下对在附图中公开的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0032]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0033]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一
个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0034]在本申请实施例的描述中，需要说明的是，指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0035]在本申请实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0036]实施例：
[0037]参阅图1至图9，本技术实施例公开了一种波导单元100，波导单元100设置有通道，上述通道用于传输微波。波导单元100包括至少一个第一散热壁11本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种波导单元，其特征在于，包括至少一个第一散热壁，所述第一散热壁设置有第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述第一出水口通过第一流道连通，所述第一流道位于所述第一散热壁内。2.根据权利要求1所述的波导单元，其特征在于，所述第一流道在所述第一散热壁上呈曲线形，所述第一进水口和第一出水口分别位于所述第一流道的两端。3.根据权利要求2所述的波导单元，其特征在于，所述第一散热壁包括安装板和盖板，所述安装板设置有凹槽，所述盖板卡接于所述凹槽内，并形成所述第一流道。4.根据权利要求3所述的波导单元，其特征在于，所述第一流道位于所述安装板和所述盖板的一者上，且所述第一流道位于所述安装板或者所述盖板朝向另一者的一侧。5.根据权利要求4所述的波导单元，其特征在于，所述波导单元至少具有一对相对的侧壁设置为所述第一散热壁。6.根据权利要求4所述的波导单元，其特征在于，与所述第一散热壁相邻的侧壁设置为第二散热壁，所述第二散热壁设置有第二进...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄春林，胡宗义，刘文科，
申请(专利权)人：成都纽曼和瑞微波技术有限公司，
类型：新型
国别省市：