本公开实施例提供一种固态成像装置。固态成像装置包含多个光电转换元件。固态成像装置也包含一第一彩色滤光片层，其设置于光电转换元件上方并具有多个第一彩色滤光片区段。固态成像装置还包含一第二彩色滤光片层，其设置于光电转换元件上方并与第一彩色滤光片层相邻，且具有多个第二彩色滤光片区段。固态成像装置包含一第一网格结构，其设置于第一彩色滤光片层与第二彩色滤光片层之间且具有一第一网格高度。固态成像装置也包含一第二网格结构，其设置于第一彩色滤光片区段之间与第二彩色滤光片区段之间且具有一第二网格高度，第二网格高度低于或等于第一网格高度。高度低于或等于第一网格高度。高度低于或等于第一网格高度。
【技术实现步骤摘要】
固态成像装置
[0001]本公开实施例涉及一种成像装置，尤其涉及一种包含网格结构的固态成像装置，网格结构具有不同的网格高度。
技术介绍
[0002]固态成像装置，例如电荷耦合元件(charge-coupled device,CCD)成像装置、互补式金属氧化物半导体(complementary metal-oxide semiconductor,CMOS)成像装置等已经广泛使用于各种图像拍摄设备，例如数字静止图像相机、数字摄影机和类似的设备。固态成像装置中的光感测部分可形成在多个像素中的每个像素处，并且可以根据在光感测部分中所接收的光量产生信号电荷。此外，可以传送和放大在光感测部分中产生的信号电荷，进而获得图像信号。
[0003]在固态成像装置中，网格结构可用于将不同的彩色滤光片层分开。然而，一般的网格结构具有不变的(constant)网格高度，其可能会将光分裂(split)和绕射(diffract)为沿不同方向传播的几束光束，像是一种绕射光栅(diffraction grating)，进而在获得的图像中造成花瓣状的光斑(petal flare)。此外，在一般的固态成像装置中，不同的彩色滤光片层之间可能会发生混色(crosstalk)。因此，固态成像装置的设计和制造仍然存在各种挑战。
技术实现思路
[0004]本公开的目的在于提供一种固态成像装置，以解决上述至少一个问题。
[0005]在本公开的一些实施例中，固态成像装置包含具有不同的网格高度的网格结构，其可防止网格结构产生绕射，进而提高来自固态成像装置的光电转换元件的图像信号的品质。
[0006]根据本公开的一些实施例，提供一种固态成像装置。固态成像装置包含多个光电转换元件。固态成像装置也包含一第一彩色滤光片层，第一彩色滤光片层设置于光电转换元件上方，并具有多个第一彩色滤光片区段。固态成像装置还包含一第二彩色滤光片层，第二彩色滤光片层设置于光电转换元件上方并与第一彩色滤光片层相邻，且具有多个第二彩色滤光片区段。固态成像装置包含一第一网格结构，第一网格结构设置于第一彩色滤光片层与第二彩色滤光片层之间，且具有一第一网格高度。固态成像装置也包含一第二网格结构，第二网格结构设置于第一彩色滤光片区段之间与第二彩色滤光片区段之间，且具有一第二网格高度，第二网格高度低于或等于第一网格高度。
[0007]本公开的有益效果在于，本公开实施例的固态成像装置包含具有不同网格高度的第一网格结构及第二网格结构，其可防止网格结构产生绕射，进而提高来自固态成像装置的光电转换元件。
附图说明
[0008]以下将配合所附附图详述本公开实施例。应注意的是，各种特征部件并未按照比例绘制且仅用以说明例示。事实上，元件的尺寸可能经放大或缩小，以清楚地表现出本公开实施例的技术特征。
[0009]图1显示根据本公开一实施例的固态成像装置的俯视图。
[0010]图2显示沿着图1中A-A
’
剖面线所切的固态成像装置的剖面图。
[0011]图3显示沿着图1中B-B
’
剖面线所切的固态成像装置的剖面图。
[0012]图4显示根据本公开另一实施例的固态成像装置的剖面图。
[0013]图5显示根据本公开又一实施例的固态成像装置的一部分的剖面图。
[0014]图6显示固态成像装置的另一部分的剖面图。
[0015]图7显示根据本公开一实施例的固态成像装置的剖面图。
[0016]图8显示根据本公开另一实施例的固态成像装置的剖面图。
[0017]图9显示根据本公开又一实施例的固态成像装置的剖面图。
[0018]图10显示根据本公开一实施例的固态成像装置的剖面图。
[0019]图11显示根据本公开另一实施例的固态成像装置的一部分的剖面图。
[0020]图12显示固态成像装置的另一部分的剖面图。
[0021]图13显示根据本公开又一实施例的固态成像装置的一部分的剖面图。
[0022]图14显示固态成像装置的另一部分的剖面图。
[0023]图15显示根据本公开一实施例的固态成像装置的俯视图。
[0024]图16显示根据本公开另一实施例的固态成像装置的俯视图。
[0025]图17显示根据本公开又一实施例的固态成像装置的俯视图。
[0026]附图标记如下：
[0027]10,12,14,16,18,20,22,24,26,30,32,34:固态成像装置
[0028]101:半导体基板
[0029]101F:前侧表面
[0030]101B:背侧表面
[0031]103:光电转换元件
[0032]105:布线层
[0033]107:高介电常数膜
[0034]109:缓冲层
[0035]111:金属网格
[0036]115B:蓝色滤光片层
[0037]115BS:蓝色滤光片区段
[0038]115G:绿色滤光片层
[0039]115GS:绿色滤光片区段
[0040]115R:红色滤光片层
[0041]115RS:红色滤光片区段
[0042]119,119
’
:聚光结构
[0043]121:第一网格结构
[0044]121a:第一添加部分
[0045]121b:第一基底部分
[0046]121S:第一网格区段
[0047]123,123
’
:第二网格结构
[0048]123a:第二添加部分
[0049]123b:第二基底部分
[0050]123S,123S1,123S2,123S3,123S4:第二网格区段
[0051]H1:第一网格高度
[0052]H1a:第一添加部分的高度
[0053]H1b:第一基底部分的高度
[0054]H2,H2
’
:第二网格高度
[0055]H2a:第二添加部分的高度
[0056]H2b:第二基底部分的高度
[0057]HB:蓝色滤光片层的高度
[0058]HG:绿色滤光片层的高度
[0059]HR:红色滤光片层的高度
[0060]P1,P1
’
:两个相邻的第一网格区段的距离
[0061]P2,P2
’
,P2”:两个相邻的第二网格区段的距离
[0062]P:正规像素
[0063]PDAF:相位检测自动对焦像素
[0064]S:感测区域
[0065]W1:第一网格宽度
[0066]W2,W2
’
,W2”,W2
”’
:第二网格宽度
[0067]A-A
’
:剖面线
[0068]B-B
’
:剖面线
具体实施方式
[0本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种固态成像装置，包括：多个光电转换元件；一第一彩色滤光片层，设置于多个所述光电转换元件上方并具有多个第一彩色滤光片区段；一第二彩色滤光片层，设置于多个所述光电转换元件上方并与该第一彩色滤光片层相邻，且具有多个第二彩色滤光片区段；一第一网格结构，设置于该第一彩色滤光片层与该第二彩色滤光片层之间，且具有一第一网格高度；以及一第二网格结构，设置于多个所述第一彩色滤光片区段之间与多个所述第二彩色滤光片区段之间，且具有一第二网格高度，该第二网格高度低于或等于该第一网格高度。2.如权利要求1所述的固态成像装置，其中该第一彩色滤光片层的高度与该第二彩色滤光片层的高度皆低于该第一网格高度，且该第一彩色滤光片层的高度与该第二彩色滤光片层的高度皆高于或等于该第二网格高度。3.如权利要求1所述的固态成像装置，其中该第一彩色滤光片层的高度与该第二彩色滤光片层的高度皆低于该第一网格高度，该第一彩色滤光片层的高度高于或等于该第二网格高度，而该第二彩色滤光片层的高度低于该第二网格高度。4.如权利要求1所述的固态成像装置，其中该第一彩色滤光片层的高度与该第二彩色滤光片层的高度皆低于该第一网格高度，且该第一彩色滤光片层的高度与该第二彩色滤光片层的高度皆低于该第二网格高度。5.如权利要求1所述的固态成像装置，其中在该固态成像装置的一剖面图中，该第二网格结构包括多个网格区段，且两个相邻的网格区段的距离是可变的。6.如权利要求1所述的固态成像装置，其中该第一网格结构包括一第一基底部分及设置于该第一基底部分之上的一第一添加部分，该第二网格结构包括一第二基底部分及设置于该第二基底部分之上的一第二添加部分，该第一基底部分的高度等于该第二基底部分的高度，而该第一添加部分的高度高于该第二添加部分的高度。7.如权利要求1所述的固态成像装置，其中该第一网格结构包括一第一基底部分及设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：李京桦，张育淇，林正轩，吴翰林，
申请(专利权)人：采钰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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