掩模板条码扫描装置和光刻机制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种掩模板条码扫描装置和光刻机，涉及光刻机技术领域，掩模板条码扫描装置包括承载台、支架、驱动组件、读码机和保护管道，承载台具有用于承载掩模板的承载面，支架固定设置在承载台的一侧，驱动组件设置在支架上，并延伸至承载台上方，读码机与驱动组件连接，并与承载面相对设置，用于在驱动组件的带动下相对承载面运动，保护管道设置在承载台的一侧，用于向读码机和承载面之间输送保护气体，以防止灰尘落在掩模板上。相较于现有技术，本实用新型专利技术能够实现移动扫码，对掩模板的条形码位置精度要求低，避免出现无法读码的情况，同时能够防止灰尘掉落在掩模板上。同时能够防止灰尘掉落在掩模板上。同时能够防止灰尘掉落在掩模板上。

【技术实现步骤摘要】
掩模板条码扫描装置和光刻机


[0001]本技术涉及光刻机
，具体而言，涉及一种掩模板条码扫描装置和光刻机。

技术介绍

[0002]在光刻生产过程中，光刻机会把将要生产的后几批或的掩模板载入到机台上，掩模板上都会刻有条形码，从而让光刻机去扫码识别掩模板。
[0003]在现有技术中，光刻机通常会利用一个扫码装置来对掩模板上的条形码进行扫描，目前的光刻机机所运用的掩模板扫描条形码装置是固定的，以防装置移动时产生落尘掉在掩模板上。由于扫码的装置是固定的，所以所在掩模板上的条形码位置也需相对应到扫码装置，对掩模板上的条形码位置精度要求高，让掩模板的外围区域设计的空间变得没有弹性，甚至因为条形码有稍微偏移而无法读码，进而使整张掩模板报废。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种掩模板条码扫描装置和光刻机，其能够实现移动扫码，对掩模板的条形码位置精度要求低，避免出现无法读码的情况，同时能够防止灰尘掉落在掩模板上。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术提供一种掩模板条码扫描本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩模板条码扫描装置，其特征在于，包括承载台、支架、驱动组件、读码机和保护管道，所述承载台具有用于承载掩模板的承载面，所述支架固定设置在所述承载台的一侧，所述驱动组件设置在所述支架上，并延伸至所述承载台上方，所述读码机与所述驱动组件连接，并与所述承载面相对设置，用于在所述驱动组件的带动下相对所述承载面运动，所述保护管道设置在所述承载台的一侧，用于向所述读码机和所述承载面之间输送保护气体，以防止灰尘落在所述掩模板上。2.根据权利要求1所述的掩模板条码扫描装置，其特征在于，所述驱动组件包括传动支杆、第一驱动件和第二驱动件，所述支架上设置有第一滑轨，所述传动支杆的一端滑动设置在所述第一滑轨上，另一端延伸至所述承载台上方，所述第一驱动件与所述传动支杆连接并与所述支架传动连接，用于驱动所述传动支杆沿所述第一滑轨运动，所述传动支杆上设置有第二滑轨，所述读码机滑动设置在所述第二滑轨上，所述第二驱动件与所述读码机连接，并与所述传动支杆传动连接，用于驱动所述读码机沿所述第二滑轨运动。3.根据权利要求2所述的掩模板条码扫描装置，其特征在于，所述第一滑轨和所述第二滑轨相互垂直。4.根据权利要求2所述的掩模板条码扫描装置，其特征在于，所述第一驱动件和所述第二驱动件均为步进电机。5.根据权利要求4所述的掩模板条码扫描装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆煌，柯思羽，刘志成，曾暐舜，
申请(专利权)人：泉芯集成电路制造济南有限公司，
类型：新型
国别省市：