温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种掩模板条码扫描装置和光刻机，涉及光刻机技术领域，掩模板条码扫描装置包括承载台、支架、驱动组件、读码机和保护管道，承载台具有用于承载掩模板的承载面，支架固定设置在承载台的一侧，驱动组件设置在支架上，并延伸至承载台上方，读码机...
该专利属于泉芯集成电路制造(济南)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泉芯集成电路制造(济南)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。