【技术实现步骤摘要】
一种等离子去胶机的保温构件
本技术涉及保温防护
,具体为一种等离子去胶机的保温构件。
技术介绍
去胶机往往通过将大功率射频电源加在笼式电极上,在电极与反应腔内壁之间产生辉光放电,辉光区域内的工艺气体被电离成为带电等离子体,利用等离子体与材料表面相互作用,达到光刻胶的剥离,材料表面处理及改性等效果。去胶机通常通过外部壳体将内部的器件进行保护起来,传统的去胶机的保护壳体通常采用金属材质制成,通过金属板材之间组合固定连接形成去胶机的保护壳体,且金属板材之间通常采用的是销钉等固定零部件进行固定或者通过转向的连接件进行金属板材之间的连接固定,由于用于制作壳体的板材通常采用金属材质,往往去胶机的壳体的保温效果较差,无法对内部一些特定的器件进行保护。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种等离子去胶机的保温构件固定用加强机构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种等离子去胶机的保温构件,包括保温构件与保温组件;所述的保温构件固定连接在安装护板的内侧面上,且所述的保 ...
【技术保护点】
1.一种等离子去胶机的保温构件,包括保温构件(10)与保温组件(20);/n其特征在于:/n所述的保温构件(10)固定连接在安装护板(11)的内侧面上,且所述的保温组件(20)的侧端与所述的安装护板(11)的内壁密封连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种等离子去胶机的保温构件,包括保温构件(10)与保温组件(20);
其特征在于:
所述的保温构件(10)固定连接在安装护板(11)的内侧面上,且所述的保温组件(20)的侧端与所述的安装护板(11)的内壁密封连接。
2.根据权利要求1所述的一种等离子去胶机的保温构件,其特征在于:所述的保温组件(20)包括安装框板(21)与隔热板材(212),所述的安装框板(21)的内部设置有安装槽体隔热板材(212),所述的隔热板材(212)卡接在所述的安装槽体隔热板材(212)的内部,且所述的隔热板材(212)的侧端与所述的安装框板(21)的内壁固定连接,所述的隔热板材(212)的外端设置有弧形凹槽(213),所述的弧形凹槽(213)为弧形反射凹面,且所述的弧形凹槽(213)均匀分布在所述的隔热板材(212)的外部,且所述的弧形凹槽(213)的表面设置了反射层(215),且所述的反射层(215)的与弧形凹槽(213)的表面贴合连接,所述的弧形凹槽(213)的内部设置有岩棉层(214)的隔断,且所述的岩棉层(214)设置隔热板材(212)整体的内部。
3.根据权利要求2所述的一种等离子去胶机的保温构件,其特征在于:所述的安装框板(21)的外部固定连接有...
【专利技术属性】
技术研发人员:钟兴进,
申请(专利权)人:广州市鸿浩光电半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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