一种基板架的安装结构及其安拆方法技术

本发明专利技术涉及光学成膜技术领域，尤其是一种基板架的安装结构及其安拆方法，基板架包括基板架上盘和基板架下盘，其中基板架上盘与旋转机构相连接固定，基板架下盘的顶面上设置有挂钩，基板架上盘上设置有与挂钩相吻合适配的卡槽，卡槽的一侧具有开口，挂钩可通过该开口进入卡槽内并与卡槽构成卡接，基板架下盘的底部可装载待成膜产品。本发明专利技术的优点是：利用基板架下盘的自重实现其安装固定，有效保证安装的牢固性，避免基板架旋转时发生松动；通过挂钩与卡槽之间的配合实现基板架的精确定位，保证成膜均匀性；通过将基板架分割为上、下盘的分体结构，缩减基板架的重量，便于安装、拆卸、维养等各流程内的使用；结构简单合理，制造简便，适于推广。

【技术实现步骤摘要】
一种基板架的安装结构及其安拆方法
本专利技术涉及光学成膜
，尤其是一种基板架的安装结构及其安拆方法。
技术介绍
在光学成膜
中，为了提高成膜均匀性，常常将待成膜的产品搭载在一基板架上该基板架在成膜工艺时旋转，从而使膜料均匀地镀覆在产品表面，实现提高成膜均匀性的目的。然而，随着市场需求的日益增大，在保证成膜质量的同时，如何提高产能便成为一个急需解决的问题。目前，为了提高单次成膜工艺所能制得的成膜产品数量，基板架的体积逐渐增大，以提高单个基板架上所能搭载的产品数量。可这样一来，由于基板架体积较大，其安装过程就相对较为困难，尤其是在更换基板架的过程中，往往需要多个操作人员协作进行安装及拆卸，同时需要对基板架进行精确定位并确保其安装牢固，以避免基板架在旋转过程中因定位不精准而导致成膜质量的下降或因安装不牢固而发生安全事故。因此，基板架的安装及拆卸不但费时费力，还对操作人员的专业技术及职业操守有着极高的要求。
技术实现思路
本专利技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种基板架的安装结构及其安拆方法，通过挂钩和卡槽之间的配合，利用基板架自重完成安装固定，实现成膜质量以及产能的双重保障。本专利技术目的实现由以下技术方案完成：一种基板架的安装结构，该基板架与一旋转机构相连接，所述旋转机构可连接驱动所述基板架旋转，其特征在于：所述基板架包括基板架上盘和基板架下盘，其中所述基板架上盘与所述旋转机构相连接固定，所述基板架下盘的顶面上设置有挂钩，所述基板架上盘上设置有与所述挂钩相吻合适配的卡槽，所述卡槽的一侧具有开口，所述挂钩可通过该开口进入所述卡槽内并与所述卡槽构成卡接，所述基板架下盘的底部可装载待成膜产品。所述卡槽贯通设置在所述基板架上盘之上，所述卡槽的槽口尺寸沿高度方向自上而下逐渐缩小形成锥面，所述卡槽一侧所开设的所述开口的尺寸与所述卡槽的槽口尺寸最小处相吻合。所述开口的进口位置具有一扩大口，所述扩大口的尺寸大于所述开口的尺寸。所述卡槽的槽体底部设置有一槽口尺寸与其最小处尺寸相同的限位槽。所述挂钩为柱型结构，其尺寸沿高度方向自上而下逐渐缩小形成锥面，且所述挂钩的尺寸最小处与所述卡槽的槽口尺寸最小处相吻合，所述挂钩的尺寸最小处沿高度方向向下延长形成一与所述基板架下盘相连接的连接段。所述挂钩的锥面与所述连接段之间设置有一限位凸起，所述限位凸起与卡槽的槽体底部所设置的限位槽相吻合适配。若干所述卡槽沿所述基板架上盘的圆周方向均匀间隔布置；若干所述挂钩沿所述基板架下盘的圆周方向均匀间隔布置且分别与所述卡槽构成一一对应。一种涉及上述的基板架的安装结构的安拆方法，其特征在于：该安拆方法包括以下步骤：在安装时，将基板架下盘抬起一定高度，使所述基板架下盘上的挂钩的尺寸最小处对准基板架上盘上的开口；旋转所述基板架下盘，使所述挂钩通过所述开口进入所述基板架上盘上的卡槽内部；下放所述基板架下盘，使所述挂钩的锥面与所述卡槽的锥面构成斜面配合，进而使所述挂钩卡接在所述卡槽内部，实现所述基板架上盘和所述基板架下盘之间的安装固定；在拆卸时，将所述基板架下盘抬起一定高度，使所述挂钩的尺寸最小处对准基板架上盘上的开口；反向旋转所述基板架下盘，使所述挂钩通过所述开口脱离所述卡槽，实现所述基板架上盘和所述基板架下盘之间的拆卸分离。本专利技术的优点是：利用基板架下盘的自重实现其安装固定，有效保证安装的牢固性，避免基板架旋转时发生松动；通过挂钩与卡槽之间的配合实现基板架的精确定位，保证成膜均匀性；通过将基板架分割为上、下盘的分体结构，缩减基板架的重量，便于安装、拆卸、维养等各流程内的使用；实现基板架的快速安拆，可显著提高生产效率，提高产能；结构简单合理，制造简单，适于推广。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2为本专利技术的立体结构示意图；图3为本专利技术中基板架上盘的连接部结构示意图；图4为本专利技术中基板架下盘的连接部结构示意图。具体实施方式以下结合附图通过实施例对本专利技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：如图1-4所示，图中标记1-12分别表示为：基板架上盘1、挂钩2、基板架下盘3、旋转机构4、卡槽5、锥面6、开口7、扩大口8、限位槽9、锥面10、限位凸起11、连接段12。实施例：本实施例中的基板架的安装结构用于将基板架安装到镀膜设备的成膜室之中，该成膜室内部可提供成膜工艺所需的真空环境，使成膜室内部成为成膜空间。该基板架可以搭载待成膜的产品，其可通过连接旋转机构在成膜室内部旋转，从而使待成膜的产品表面得到均匀镀膜。如图1所示，本实施例中的基板架采用分体结构，具体包括基板架上盘1和基板架下盘3，其中基板架上盘1与旋转机构4相连接固定，基板架下盘3用于搭载待成膜产品且其与基板架上盘1相连接固定并构成整体，从而在旋转机构4的驱动下基板架上盘1和基板架下盘3可带动待成膜产品在成膜室内旋转。基板架上盘1和基板架下盘3之间的连接固定具体通过如下方式实现：如图1至图4所示，在基板架下盘3的顶面上设置有挂钩2，基板架上盘1上设置有与挂钩2相吻合适配的卡槽5，卡槽5的一侧具有开口7，挂钩2可通过该开口7进入卡槽5内并在基板架下盘3的重力作用下与卡槽5构成卡接，从而将基板架下盘3和基板架上盘1连接固定构成整体。结合图1和图3（a）所示，卡槽5贯通设置在基板架上盘1设置，即沿高度方向贯通基板架上盘1设置。该卡槽5的槽口尺寸沿高度方向自上而下逐渐缩小形成锥面6。在卡槽5的底部设置有槽口尺寸与其最小处尺寸相同的限位槽9，如图3（b）所示。如图3（a）所示，开口7的尺寸与卡槽5的槽口尺寸最小处相吻合且其进口位置设置有一扩大口8，该扩大口8的尺寸略大于开口7的本体尺寸，其作用在于当挂钩2通过开口7进入卡槽5时，由于挂钩2先经过扩大口8，因此扩大口8可起到一定的导向作用，避免挂钩2进入时的误差，在扩大口8内收的锥面作用下，挂钩2可稳定地被导入到开口7之中从而便于后续进入卡槽5，便于操作人员执行安拆作业。如图4所示，挂钩2为柱型结构，其尺寸沿高度方向自上而下逐渐缩小形成锥面10，该锥面10的斜度与卡槽5内所形成的锥面6的斜度相一致。挂钩2的尺寸最小处与卡槽5的槽口尺寸最小处相吻合，挂钩2的尺寸最小处沿高度方向向下延长形成一与基板架下盘3相连接的连接段12，该连接段12的底端与基板架下盘3相连接固定。同时挂钩2的锥面10与连接段12之间设置有一限位凸起11，限位凸起11与卡槽5的槽体底部所设置的限位槽9相吻合适配。结合图2和图3所示，在本实施例中，沿基板架上盘1的圆周方向在基板架上盘1上均匀间隔布置有四个卡槽5，每个卡槽5以90°为等分。同样地，沿基板盘下盘3的圆周方向在基板盘下盘3上均匀间隔布置有四个挂钩2，这四个挂钩2分别与上方的卡槽5构成一一对应，即基板架下盘3上的每个挂钩2均可对应卡接在上方基板架上盘1的一个卡槽内部，从而加强基板架上盘1和基板架下盘3之间的连接强本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板架的安装结构，该基板架与一旋转机构相连接，所述旋转机构可连接驱动所述基板架旋转，其特征在于：所述基板架包括基板架上盘和基板架下盘，其中所述基板架上盘与所述旋转机构相连接固定，所述基板架下盘的顶面上设置有挂钩，所述基板架上盘上设置有与所述挂钩相吻合适配的卡槽，所述卡槽的一侧具有开口，所述挂钩可通过该开口进入所述卡槽内并与所述卡槽构成卡接，所述基板架下盘的底部可装载待成膜产品。/n

【技术特征摘要】
1.一种基板架的安装结构，该基板架与一旋转机构相连接，所述旋转机构可连接驱动所述基板架旋转，其特征在于：所述基板架包括基板架上盘和基板架下盘，其中所述基板架上盘与所述旋转机构相连接固定，所述基板架下盘的顶面上设置有挂钩，所述基板架上盘上设置有与所述挂钩相吻合适配的卡槽，所述卡槽的一侧具有开口，所述挂钩可通过该开口进入所述卡槽内并与所述卡槽构成卡接，所述基板架下盘的底部可装载待成膜产品。


2.根据权利要求1所述的一种基板架的安装结构，其特征在于：所述卡槽贯通设置在所述基板架上盘之上，所述卡槽的槽口尺寸沿高度方向自上而下逐渐缩小形成锥面，所述卡槽一侧所开设的所述开口的尺寸与所述卡槽的槽口尺寸最小处相吻合。


3.根据权利要求2所述的一种基板架的安装结构，其特征在于：所述开口的进口位置具有一扩大口，所述扩大口的尺寸大于所述开口的尺寸。


4.根据权利要求2所述的一种基板架的安装结构，其特征在于：所述卡槽的槽体底部设置有一槽口尺寸与其最小处尺寸相同的限位槽。


5.根据权利要求1所述的一种基板架的安装结构，其特征在于：所述挂钩为柱型结构，其尺寸沿高度方向自上而下逐渐缩小形成锥面，且所述挂钩的尺寸最小处与所述卡槽的槽口尺寸最小处...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛聪颖，虞润淋，龙汝磊，吴萍，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31