一种适用于半自动划片机运动装置制造方法及图纸

一种适用于半自动划片机运动装置，其特征在于，包括：底座、第一方向运动组件、第二方向运动组件、第三方向运动组件、主轴和旋转运动组件；第一方向运动组件设置在底座上，旋转运动组件设置在第一方向运动组件上；第二方向运动组件设置在底座上，第三方向运动组件设置在第二方向运动组件上；主轴设置在第三方向运动组件上，且主轴的轴向方向与第二方向运动组件运动方向一致；第一方向运动组件运动方向与第二方向运动组件运动方向垂直，且均与水平面平行，第三方向运动组件垂直于水平面。本发明专利技术通过导轨压板调整各个导轨直线度，三个方向的运动组件上均设置有光电开关和机械限位两种限位，更精确地调整平整度；转角使用寿命延长，且精度高。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于半自动划片机运动装置
本专利技术涉及划片机领域，特别提供一种适用于半自动划片机运动装置。
技术介绍
砂轮划片机是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。其高速主轴的转速最高可达60000转/分钟，划片时，利用安装在主轴轴头上高速旋转的，厚度仅为0.025mm的超薄金刚石砂轮刀片，沿著大晶圆片上晶粒与晶粒间的切割线进行划切，划切轨迹不能偏离切割线，切割过后不能造成晶粒崩塌或裂痕等缺陷。其主要用于硅集成电路，发光二极管，铌酸锂，压电陶瓷，砷化镓，蓝宝石，石英，玻璃，陶瓷，太阳能电池片等材料的精密划切加工。运动过程中，对整个运动装置的要求极高，包括速度、精度、耐用性等方向，因此一套适合的运动装置就是十分必要的。。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种适用于半自动划片机运动装置。本专利技术技术方案如下：一种适用于半自动划片机运动装置，其特征在于，包括：底座1、第一方向运动组件2、第二方向运动组件3、第三方向运动组件4、主轴5和旋转运动组件6；其中，第一方向运动组件2设置在底座1上，旋转运动组件6设置在第一方向运动组件2，第一方向运动组件2的运动方向在水平面上；第二方向运动组件3设置在底座1上，第三方向运动组件4设置在第二方向运动组件3上；主轴5设置在第三方向运动组件4上，且主轴5的轴向方向与第二方向运动组件3运动方向一致；第一方向运动组件2运动方向与第二方向运动组件3运动方向垂直，且均与水平面平行；第三方向运动组件4垂直于水平面。第一方向运动组件2包括：第一底座21、第一导轨22、第一滑块23、第一丝杠24、第一联轴器25、第一电机26、第一支撑板27和旋转运动组件安装板28；第一底座21设置在底座1上；第一导轨22通过多个第一导轨压块221固定在第一底座21上；第一滑块23设置有多个，且与第一导轨22相互配合；第一导轨22设置有两个，两个第一导轨22为平行关系；两个第一滑块23的顶部固定第一支撑板27；第一支撑板27的底部设置第一运动块271，第一运动块271位于两个第一导轨22之间；第一运动块271内部设置有第一螺纹；第一电机26设置在第一底座21的一端，且通过第一联轴器25与第一丝杠24旋转连接，第一丝杠24穿设第一运动块271，所述第一螺纹与第一丝杠24相互配合；第一底座21一侧上设置有两个第一限位开关212，且两个第一限位开关212之间有间隔；第一支撑板27靠近第一限位开关212的一侧上设置有第一开关挡片272；第一底座21的两端均设置有机械限位件211；旋转运动组件安装板28通过压紧螺钉273和调高螺钉274设置在第一支撑板27上；旋转运动组件6设置在旋转运动组件安装板28上；调高螺钉274与组件安装板28用螺纹连接，当三个调高螺钉调到相同高度螺纹旋出量时，平整度达到最佳，利用三点确定一个平面的原理，调高螺钉每转动15°，高度变化0.001mm；当调高螺钉调整完毕后，用压紧螺钉，固定住组件安装板28和调高螺钉274。第二方向运动组件3包括第二底座31、第二导轨32、第二滑块33、第二丝杠34、第二联轴器35、第二电机36和第三方向运动组件安装板37；第二底座31设置在底座1上；第二导轨32通过多个第二导轨压块321固定在第二底座31上；第二滑块33设置有多个，且与第二导轨32相互配合；第二导轨32设置有两个，两个第二导轨32为平行关系；两个第二滑块33的顶部固定第三方向运动组件安装板37；第三方向运动组件安装板37的底部设置第二运动块371，第二运动块371位于两个第二导轨32之间；第二运动块371内部设置有第二螺纹；第二电机36设置在第二底座31的一端，且通过第二联轴器35与第二丝杠34旋转连接，第二丝杠34穿设第二运动块371，所述第二螺纹与第二丝杠34相互配合；第二底座31的一侧设置有两个第二限位开关312，且两个第二限位开关312之间有间隔；第三方向运动组件安装板37靠近第二限位开关312的一侧上设置有第二开关挡片372；第二丝杠34的两端均设置有第一支撑机械限位件311。第三方向运动组件4包括，第三底座41、第三导轨42、第三滑块43、第三丝杠44、第三联轴器45、第三电机46和主轴安装板47；第三底座41设置在第二方向运动组件3上；第三导轨42通过多个第三导轨压块421固定在第三底座41上；第三滑块43设置有多个，且与第三导轨42相互配合；第三导轨42设置有两个，两个第三导轨42为平行关系；两个第三滑块43的顶部固定主轴安装板47；主轴安装板47的底部设置第三运动块471，第三运动块471位于两个第三导轨42之间；第三运动块471内部设置有第三螺纹；第三电机46设置在第三底座41一侧的顶部，且通过第三联轴器45与第三丝杠44旋转连接，第三丝杠44穿过第三运动块471，第三螺纹与第三丝杠24相互配合；第一底座21与第三电机46相邻的一侧设置有两个第三限位开关412，且两个第三限位开关412之间有间隔；主轴安装板47靠近第三限位开关412的一侧上设置有第三开关挡片472；第三丝杠44的两端均设置有第二支撑机械限位件411；主轴安装板47上设置有主轴调节块473，主轴5通过主轴架51固定在主轴安装板47上；主轴调节块有两个光孔和两个螺纹孔，其通过两个螺钉固定在主轴安装板47，两个螺纹孔则拧上螺钉，分别顶在主轴架下面的前后两端，当需要主轴抬高前段时，则拧前端的螺钉，使之顶起主轴架的前端，反之，则拧后端的螺钉；弹簧安装座48设置在第三底座41上；弹簧内部有导向柱，由隔板上下各有一组弹簧，这样可以是压紧过程中，受力更均匀，便于运动精度的控制；弹簧上下都有安装座，上下安装座都固定在底座上。旋转运动组件6包括，电机61、支撑柱62、轴承一63、隔板64、防水板65、中心盘66、防水堵头67、定位环68、蜗杆总成69、联轴器610、中心轴防水611、中心防水堵头612、内支撑613、防水胶圈614、涡轮总成615、底座616、中心轴617、轴承二618、轴承支撑619、轴承三620、压盖621、防水O型圈622；其中，电机61通过联轴器610与蜗杆总成69连接，蜗杆总成69与涡轮总成615连接，中心轴617通过轴承一63、轴承二618、轴承支撑619和轴承三620安装在底座616上，压盖621；隔板64通过支撑柱62安装在底座616上；防水板65安装在隔板64上面，中心盘66安装在中心轴617上端，中心盘66上设置有防水堵头67和定位环68；中心轴防水611设置在中心轴617外部，中心防水堵头612设置在中心轴617上端，中心轴防水611外部设置有内支撑613，内支撑613外部设有防水胶圈614，防水胶圈614上设置有防水O型圈622。本专利技术可通过导轨压板调整各个导轨直线度；三个方向的运动组件上均设置有光电开关和机械限位两种限位，软硬结合，更安全；第一方向运动组件可以通过调节螺钉和压紧螺钉，更精确地调本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于半自动划片机运动装置，其特征在于，包括：底座（1）、第一方向运动组件（2）、第二方向运动组件（3）、第三方向运动组件（4）、主轴（5）和旋转运动组件（6）；/n其中，第一方向运动组件（2）设置在底座（1）上，旋转运动组件（6）设置在第一方向运动组件（2），第一方向运动组件（2）的运动方向在水平面上；第二方向运动组件（3）设置在底座（1）上，第三方向运动组件（4）设置在第二方向运动组件（3）上；主轴（5）设置在第三方向运动组件（4）上，且主轴（5）的轴向方向与第二方向运动组件（3）运动方向一致；/n第一方向运动组件（2）运动方向与第二方向运动组件（3）运动方向垂直，且均与水平面平行；第三方向运动组件（4）垂直于水平面。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于半自动划片机运动装置，其特征在于，包括：底座（1）、第一方向运动组件（2）、第二方向运动组件（3）、第三方向运动组件（4）、主轴（5）和旋转运动组件（6）；
其中，第一方向运动组件（2）设置在底座（1）上，旋转运动组件（6）设置在第一方向运动组件（2），第一方向运动组件（2）的运动方向在水平面上；第二方向运动组件（3）设置在底座（1）上，第三方向运动组件（4）设置在第二方向运动组件（3）上；主轴（5）设置在第三方向运动组件（4）上，且主轴（5）的轴向方向与第二方向运动组件（3）运动方向一致；
第一方向运动组件（2）运动方向与第二方向运动组件（3）运动方向垂直，且均与水平面平行；第三方向运动组件（4）垂直于水平面。


2.根据权利要求1所述适用于半自动划片机运动装置，其特征在于，第一方向运动组件（2）包括：第一底座（21）、第一导轨（22）、第一滑块（23）、第一丝杠（24）、第一联轴器（25）、第一电机（26）、第一支撑板（27）和旋转运动组件安装板（28）；
第一底座（21）设置在底座（1）上；第一导轨（22）通过多个第一导轨压块（221）固定在第一底座（21）上；第一滑块（23）设置有多个，且与第一导轨（22）相互配合；第一导轨（22）设置有两个，两个第一导轨（22）为平行关系；两个第一滑块（23）的顶部固定第一支撑板（27）；第一支撑板（27）的底部设置第一运动块（271），第一运动块（271）位于两个第一导轨（22）之间；第一运动块（271）内部设置有第一螺纹；
第一电机（26）设置在第一底座（21）的一端，且通过第一联轴器（25）与第一丝杠（24）旋转连接，第一丝杠（24）穿设第一运动块（271），所述第一螺纹与第一丝杠（24）相互配合；
第一底座（21）一侧上设置有两个第一限位开关（212），且两个第一限位开关（212）之间有间隔；第一支撑板（27）靠近第一限位开关（212）的一侧上设置有第一开关挡片（272）；
第一底座（21）的两端均设置有机械限位件（211）；
旋转运动组件安装板（28）通过压紧螺钉（273）和调高螺钉（274）设置在第一支撑板（27）上；旋转运动组件（6）设置在旋转运动组件安装板（28）上；调高螺钉（274）与组件安装板（28）用螺纹连接，当三个调高螺钉调到相同高度螺纹旋出量时，平整度达到最佳，利用三点确定一个平面的原理，调高螺钉每转动15°，高度变化0.001mm；当调高螺钉调整完毕后，用压紧螺钉，固定住组件安装板（28）和调高螺钉（274）。


3.根据权利要求1所述适用于半自动划片机运动装置，其特征在于，第二方向运动组件（3）包括第二底座（31）、第二导轨（32）、第二滑块（33）、第二丝杠（34）、第二联轴器（35）、第二电机（36）和第三方向运动组件安装板（37）；
第二底座（31）设置在底座（1）上；第二导轨（32）通过多个第二导轨压块（321）固定在第二底座（31）上；第二滑块（33）设置有多个，且与第二导轨（32）相互配合；第二导轨（32）设置有两个，两个第二导轨（32）为平行关系；两个第二滑块（33）的顶部固定第三方向运动组件安装板（37）；第三方向运动组件安装板（37）的底部设置第二运动块（371），第二运动块（371）位于两个第二导轨（32）之间；第二运动块（371）内部设置有第二螺纹；第二电机（36）设置在第二底座（31）的一端，且通过第二联轴器（35）与第二丝杠（34）旋转连接，第二丝杠（34）穿设第二运动块（371），所述第二螺纹与第二丝杠（34）相互配合；第...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁慧珠，石文，朴宇，郑庆洋，刘宏文，王松，
申请(专利权)人：沈阳和研科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21