一种气体混合装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种气体混合装置，包括混气罐和螺旋混合器芯，混气罐一端设置有左端盖，左端盖一侧开设有出气管，出气管内侧设置有管接头，混气罐另一端设置有右端盖，混气罐外壁设置有进气管a，进气管a一侧设置有进气管b，进气管b一侧设置有进气管c，进气管c一侧设置有进气管d，混气罐内部设置有螺旋混合器芯；本发明专利技术通过采用多组进气管同时向空腔中输入气体，进气管a沿混气罐以及螺旋混合器芯旋转流动，并带动进气管b、进气管c和进气管d处的气体旋转流动混合，使得不同组分的气体得到充分混合，采用全焊透焊接结构，以保证该装置整体的密封性，避免出现长期生产导致外部空气向内渗漏的隐患。

【技术实现步骤摘要】
一种气体混合装置
本专利技术涉及沉积金刚石
，尤其是涉及一种气体混合装置。
技术介绍
微波等离子体化学气相沉积技术，(MicrowavePlasmaChemicalVaporDeposition)简称MPCVD，是指在接近真空稀薄气体状态下，利用微波能量激发被沉积物表面周围等离子体态的工作环境，从而激活被沉积物表面分子的外围电子和等离子状态下的离子，形成共价轨道机化合键，以达到沉积的目的，这是目前世界上生长金刚石材料最先进技术之一，在进行等离子体化学气相沉积的生产过程中，气体的稀薄程度、化学成分、混合比例是影响被沉积物高质量生长的非常关键的因素，也是生成等离子体状态氛围的基本要求；现在的气体混合装置有的是微型储罐形式，也有的是简单的气体管路的联通，在气体组分含量差别非常大情况下，存在严重的混合不均匀的情况，不均匀的混合气，或者不能实时地输出均匀的混合气，会对生产工艺产生不同程度的影响，不能满足使用要求，为此，我们提出一种气体混合装置。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种气体混合装置，用来解决因输气成分不均匀造成籽晶生长过程中、产生杂晶、晶格结构错乱，籽晶生长不均衡，且生长缓慢等缺陷的技术问题。本专利技术的上述专利技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种气体混合装置，包括混气罐和螺旋混合器芯，所述混气罐一端设置有左端盖，所述左端盖一侧开设有出气管，所述出气管内侧设置有管接头，所述混气罐内部一侧开设有内部出气管口，所述混气罐另一端设置有右端盖，所述混气罐外壁设置有进气管；所述进气管包括有进气管a、进气管b、进气管c和进气管d，所述混气罐外壁设置有进气管a，所述进气管a一侧设置有进气管b，所述进气管b一侧设置有进气管c，所述进气管c一侧设置有进气管d，所述混气罐内部设置有螺旋混合器芯。本专利技术进一步设置为：所述进气管设置有若干组，按流量从大到小的次序排列，最小流量进气口靠近混气罐的内部出气管口。本专利技术进一步设置为：所述混气罐内壁共开设有若干组进气口，所述进气口分别与所述进气管a、所述进气管b、所述进气管c和所述进气管d一一对应，且所述进气口均切向进入混气罐内部。通过采用上述技术方案，沿混气罐内壁以及螺旋混合器芯旋转流动，并带动进气管b、进气管c和进气管d气体旋转流动，使得不同组分的气体在较短行程内充分混合，达到混合均匀标准的要求。本专利技术进一步设置为：所述进气管均可以简化设计成不切向进入混气罐内部。通过采用上述技术方案，便于对气体组分进行充分混合，提高该装置使用的灵活性。本专利技术进一步设置为：所述进气管a至所述进气管d气体组分流量依次逐级递减，最小流量进气口在混气罐的内部出气管口一端。通过采用上述技术方案，实现多路高稀薄气体进气均匀混合，避免因输入气体成分不均匀造成籽晶生长产生杂晶、晶格结构发生错乱。本专利技术进一步设置为：所述混气罐的内部出气管口与出气管可以在混气罐同一端，所述混气罐的内部出气管口与出气管可以不在同一端。通过采用上述技术方案，实现微量气体的通入混合，使得不同组分气体之间充分混合。本专利技术进一步设置为：所述螺旋混合器芯与所述右端盖内壁固定连接，所述螺旋混合器芯呈螺旋状叶片结构。通过采用上述技术方案，气体在通入混气罐内部时，在螺旋混合器芯的作用下使得该装置有较长的气体混合行程，使得不同组分的气体混合均匀。本专利技术进一步设置为：所述螺旋混合器芯与所述右端盖内壁固定连接，所述螺旋混合器芯呈螺旋状叶片结构。通过采用上述技术方案，气体在通入混气罐内部时，在螺旋混合器芯的作用下使得该装置有较长的气体混合行程，使得不同组分的气体混合均匀。本专利技术进一步设置为：所述管接头外壁与所述出气管内壁采用螺纹旋合的方式相互套装适配。通过采用上述技术方案，采用螺纹旋合的方式进行连接以保证该装置出气管位置的密封性，防止气体泄露，同时管接头可以便捷的与外部设备进行连接，方便进行生产使用，提高该装置的实用性。综上所述，本专利技术的有益技术效果为：1.本一种气体混合装置，在结构上，通过采用多组进气管同时向空腔中输入气体，进气管a至进气管d气体组分流量依次逐级递减，原料气混合的均匀性有的较大的提高，避免了因输入气体成分不均匀造成籽晶生长过程中，产生杂晶、晶格结构错乱，籽晶生长不均衡等问题；2.在结构上，进气管a口为长期进气大流量流动，沿混气罐以及螺旋混合器芯旋转流动，并带动进气管b、进气管c和进气管d处的气体旋转流动混合，使得不同组分的气体得到充分混合，并通过出气管流出，而且结构简单，实用性强。3.在结构上，渗漏率可控，混气罐、左端盖与右端盖之间采用全焊透焊接结构，以保证该装置整体的密封性，避免出现长期生产导致外部空气向内渗漏的隐患。附图说明图1是本专利技术一种气体混合装置的整体结构示意图；图2是本专利技术一种气体混合装置的内部结构示意图；图3是本专利技术一种气体混合装置的另一实施例整体结构示意图；图4是本专利技术一种气体混合装置的另一实施例内部结构示意图。图中，1、混气罐；2、左端盖；3、出气管；4、管接头；5、右端盖；6、进气管a；7、进气管b；8、进气管c；9、进气管d；10、螺旋混合器芯；11、进气口、12、进气管；13、内部出气管口。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。实施例1参照图1和图2，为本专利技术公开的一种气体混合装置，包括混气罐1和螺旋混合器芯10，混气罐1外壁设置有进气管a6，进气管a6一侧设置有进气管b7，进气管b7一侧设置有进气管c8，进气管c8一侧设置有进气管d9，混气罐1内部设置有螺旋混合器芯10，混气罐1内壁开设有进气口11；在本实施例中，在使用过程中，首先通过进气管a6通入最大流量组分，在进气口11处切向进入螺旋混合器芯10，使得该装置在混合气体之初具有较高的气体流速，通过外部设备依次通过进气管b7、进气管c8和进气管d9通入微量气体组分，沿混气罐1以及螺旋混合器芯10旋转流动，在实际应用中，也可根据实际需要更改螺旋混合器芯10和进气口11的布置方式，在这里不做具体限定。如图1和图2所示，混气罐1内部设置有螺旋混合器芯10，混气罐1外壁设置有进气管a6，进气管a6一侧设置有进气管b7，进气管b7一侧设置有进气管c8，进气管c8一侧设置有进气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体混合装置，包括混气罐(1)和螺旋混合器芯(10)，其特征在于：所述混气罐(1)一端设置有左端盖(2)，所述左端盖(2)一侧开设有出气管(3)，所述出气管(3)内侧设置有管接头(4)，所述混气罐(1)内部一侧开设有内部出气管口（13），所述混气罐(1)另一端设置有右端盖(5)，所述混气罐(1)外壁设置有进气管(12)；/n所述进气管(12)包括有进气管a(6)、进气管b(7)、进气管c(8)和进气管d(9)，所述混气罐(1)外壁设置有进气管a(6)，所述进气管a(6)一侧设置有进气管b(7)，所述进气管b(7)一侧设置有进气管c(8)，所述进气管c(8)一侧设置有进气管d(9)，所述混气罐(1)内部设置有螺旋混合器芯(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种气体混合装置，包括混气罐(1)和螺旋混合器芯(10)，其特征在于：所述混气罐(1)一端设置有左端盖(2)，所述左端盖(2)一侧开设有出气管(3)，所述出气管(3)内侧设置有管接头(4)，所述混气罐(1)内部一侧开设有内部出气管口（13），所述混气罐(1)另一端设置有右端盖(5)，所述混气罐(1)外壁设置有进气管(12)；
所述进气管(12)包括有进气管a(6)、进气管b(7)、进气管c(8)和进气管d(9)，所述混气罐(1)外壁设置有进气管a(6)，所述进气管a(6)一侧设置有进气管b(7)，所述进气管b(7)一侧设置有进气管c(8)，所述进气管c(8)一侧设置有进气管d(9)，所述混气罐(1)内部设置有螺旋混合器芯(10)。


2.根据权利要求1所述的一种气体混合装置，其特征在于：所述进气管(12)设置有若干组，按流量从大到小的次序排列，最小流量进气口靠近混气罐（1）的内部出气管口（13）。


3.根据权利要求1所述的一种气体混合装置，其特征在于：所述混气罐(1)内壁共开设有若干组进气口(11)，所述进气口(11)分别与所述进气管a(6)、所述进气管b(7)、所述进气管c(8)和所述进气管d(9)一一对应，且所述进气口(11)均切向进入混气罐(...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓新宇，王港龙，
申请(专利权)人：河南芯钻新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：河南;41