一种气体混合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种气体混合装置，包括管体，所述管体一端封口另一端设置有出气管，所述管体内部设置有混合器芯，所述混合器芯包括螺旋叶片，所述螺旋叶片近出气管的一端设置有混合腔，所述螺旋叶片的中间位置沿管体的轴心方向设置有中间轴，所述中间轴近出气管的一端设置有扰流叶片，所述管体的侧壁上设置有进气管，大大加强了气体的混合效果，使得气体分布均匀，进而促使籽晶生长均匀，提高产品的品质。质。质。

【技术实现步骤摘要】
一种气体混合装置


[0001]本技术涉及沉积金刚石
，尤其涉及一种气体混合装置。

技术介绍

[0002]微波等离子体化学气相沉积技术，也称MPCVD，是指在接近真空稀薄气体状态下，利用微波能量激发被沉积物表面周围等离子体态的工作环境，从而激活被沉积物表面分子的外围电子和等离子状态下的离子，形成共价轨道机化合键，以达到沉积的目的，这是目前世界上生长金刚石材料最先进技术之一，在进行等离子体化学气相沉积的生产过程中，气体的稀薄程度、化学成分、混合比例是影响被沉积物高质量生长的非常关键的因素，也是生成等离子体状态氛围的基本要求。
[0003]现在的气体混合装置有的是微型储罐形式，也有的是简单的气体管路的联通，在气体组分含量差别非常大情况下，存在混合不均匀的情况，不均匀的混合气会造成籽晶生长过程中产生杂晶、晶格结构错乱，籽晶生长不均衡，且生长缓慢会对生产工艺产生不同程度的影响，不能满足使用要求，为此，我们提出一种气体混合装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术中因为输气成分不均匀造成籽晶在生长过程中产生杂晶及生长不均匀的不足，提供一种气体混合装置。
[0005]本技术是通过以下技术方案实现的：一种气体混合装置，包括管体，所述管体一端封口另一端设置有出气管，所述管体内部设置有混合器芯，所述混合器芯包括螺旋叶片，所述螺旋叶片近出气管的一端设置有混合腔，所述螺旋叶片的中间位置沿管体的轴心方向设置有中间轴，所述中间轴近出气管的一端设置有扰流叶片，所述管体的侧壁上设置有进气管。r/>[0006]进一步地，所述进气管包括进气管a、进气管b、进气管c及进气管d，所述进气管d、进气管c、进气管b及进气管a沿管体长度方向依次设置。
[0007]进一步地，所述进气管a、进气管b、进气管c及进气管d均沿着管体的切线设置，所述进气管a、进气管b、进气管c及进气管d的进气口均设置在两相邻的螺旋叶片之间。
[0008]进一步地，所述进气管d设置在管体的封闭的一端。
[0009]进一步地，所述中间轴与螺旋叶片的内侧固定设置，所述螺旋叶片的外侧与管体内壁固定设置。
[0010]进一步地，所述混合腔的长度为10
‑
20cm，所述扰流叶片为套接在中间轴上的无动力扰流叶片。
[0011]进一步地，所述管体在混合腔处的内壁上设置有用于容纳扰流叶片端部的凹槽。
[0012]进一步地，所述扰流叶片上设置有多个通气孔。
[0013]本技术的有益效果在于：进气管a、进气管b、进气管c及进气管d均沿着管体的切线设置，在使用时进气管分别通入不同种类的单一气体，使得单一气体在进入管体内部
时减少气体相互之间碰撞，保证气体流速，提高产品品质，在螺旋叶片近出气管的一端设置有混合腔，中间轴近出气管的一端设置有扰流叶片，扰流叶片为套接在中间轴上的无动力扰流叶片，在多种气体经过螺旋叶片的空腔混合后具有一定的流速，初步混合后的气体在向出气管的方向流动时，带动扰流叶片转动，转动的扰流叶片进一步的对气体进行混合，大大加强了气体的混合效果，使得气体分布均匀，进而促使籽晶生长均匀，提高产品的品质。
附图说明
[0014]图1为本技术的整体结构示意图；
[0015]图2为本技术的另一角度整体结构示意图；
[0016]图3为本技术的侧视结构示意图；
[0017]图4为本技术的剖视结构示意图；
[0018]图5为本技术的A处放大结构示意图；
[0019]其中：1、管体；101、出气管；201、进气管a；202、进气管b；203、进气管c；204、进气管d；3、螺旋叶片；301、中间轴；4、扰流叶片；401、凹槽。
具体实施方式
[0020]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0021]下面将结合技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例
[0023]如图1
‑
5所示：一种气体混合装置，包括管体1，管体为圆形管，并且管体1一端封口另一端设置有出气管101，在出气管101的端部设置有连接头，在管体1内部设置有混合器芯，混合器芯包括螺旋叶片3，螺旋叶片3的中间位置沿管体1的轴心方向设置有中间轴301，中间轴301与螺旋叶片3的内侧固定设置，螺旋叶片3的外侧与管体1内壁固定设置，管体1的侧壁上设置有多个进气管，进气管包括进气管a201、进气管b202、进气管c203及进气管d204，进气管d204设置在管体1的封闭的一端，进气管d204、进气管c203、进气管b202及进气管a201沿管体1长度方向依次设置，进气管a201、进气管b202、进气管c203及进气管d204均沿着管体1的切线设置，在使用时进气管分别通入不同种类的单一气体，依次是氮气、氢气、氧气和甲烷，并且进气管a201、进气管b202、进气管c203及进气管d204通入气体时的压力依次增大，距离出气口越远的进气管的压力越大，进气管d204通入的气体流量最大，在进入到螺旋叶片3形成的空腔内时，使得在内部的气体在初始时就具有较高的气体流速，在依次通过进气管c203、进气管b202及进气管a201的进气口时带动其他气体进行混合并向出气口流动，在每个进气管上均设置有单向阀，防止气体逆流，并通过出气口连接到外部设备，使得
混合后的气体进行使用。
[0024]在螺旋叶片3近出气管101的一端设置有混合腔，混合腔的长度为10
‑
20cm，中间轴301近出气管101的一端设置有扰流叶片4，扰流叶片4为套接在中间轴301上的无动力扰流叶片4，在多种气体经过螺旋叶片3的空腔混合后具有一定的流速，初步混合后的气体在向出气管101的方向流动时，带动扰流叶片4转动，转动的扰流叶片4进一步的对气体进行混合，大大加强了气体的混合效果，并且管体1在混合腔处的内壁上设置有用于容纳扰流叶片4端部的凹槽401，扰流叶片4上设置有多个通气孔，通气孔一方面降低了扰流叶片4的重量，同时在转动后对气体形成扰动，扰流叶片4的端部设置在凹槽401内，使得气体的边缘处也能够被搅动到，大大增强气体的混合效果，使得气体分布均匀，进而促使籽晶生长均匀，提高产品的品质。工作原理：通过进气管a、进气管b、进气管c及进气管d在螺旋叶片之间逐步混合初步提高了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体混合装置，包括管体，其特征在于：所述管体一端封口另一端设置有出气管，所述管体内部设置有混合器芯，所述混合器芯包括螺旋叶片，所述螺旋叶片近出气管的一端设置有混合腔，所述螺旋叶片的中间位置沿管体的轴心方向设置有中间轴，所述中间轴近出气管的一端设置有扰流叶片，所述管体的侧壁上设置有进气管。2.根据权利要求1所述的一种气体混合装置，其特征在于：所述进气管包括进气管a、进气管b、进气管c及进气管d，所述进气管d、进气管c、进气管b及进气管a沿管体长度方向依次设置。3.根据权利要求2所述的一种气体混合装置，其特征在于：所述进气管a、进气管b、进气管c及进气管d均沿着管体的切线设置，所述进气管a、进气管b、进气管c及进气管d...

【专利技术属性】
技术研发人员：程永红，王港龙，
申请(专利权)人：河南芯钻新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：