一种氮化硅结合碳化硅坩埚制造技术

本实用新型专利技术涉及一种氮化硅结合碳化硅坩埚，包括：氮化硅结合碳化硅烧结的坩埚底和坩埚环壁，坩埚底和坩埚环壁插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体；圆筒体内壁以底部为中心向外发散延伸有多条导流线。本实用新型专利技术由于坩埚底和坩埚环壁插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体，方便石英坩埚换埚时取出，以底部为中心向外发散延伸有多条导流线和采用氮化硅结合碳化硅烧结形成了导热性好，线膨胀系数小、耐磨、耐腐蚀、方便分离的坩埚，进而石英坩埚换埚时方便取出，不易损坏，提高了坩埚的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化硅结合碳化硅坩埚
本技术涉及坩埚
，更具体的说是涉及一种氮化硅结合碳化硅坩埚。
技术介绍
碳碳坩埚是采用高强度碳纤维和碳基质构成的复合材料制备而成，在使用过程中，由于石英坩埚是一次性工装，必须逐炉更换，拆炉会存在碳碳坩埚和石英坩埚粘贴太紧，每次需花很长的时间用铁锤敲打，才能把石英坩埚取出，这不仅增加了员工劳动强度，也严重的影响了碳碳坩埚的使用寿命。为了解决上述问题，现有技术中出现了分体式碳碳坩埚，虽然相对整体式碳碳坩埚能够方便取出石英坩埚，但是由于坩埚内径与石英坩埚外径配合紧密，取出依然对碳碳坩埚造成损坏，因此，如何提供一种氮化硅结合碳化硅坩埚是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
为此，本技术的目的在于提出一种氮化硅结合碳化硅坩埚，解决现有分体碳碳坩埚与石英坩埚分离时容易损坏的问题。本技术提供的一种氮化硅结合碳化硅坩埚，包括：氮化硅结合碳化硅烧结的坩埚底和坩埚环壁，坩埚底和坩埚环壁插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体；圆筒体内壁以底部为中心向外发散延伸有多条导流线。<br>经由上述的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氮化硅结合碳化硅坩埚，其特征在于，包括：氮化硅结合碳化硅烧结的坩埚底(100)和坩埚环壁(200)，所述坩埚底(100)和所述坩埚环壁(200)插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体；圆筒体内壁以底部为中心向外发散延伸有多条导流线(300)。/n

【技术特征摘要】
1.一种氮化硅结合碳化硅坩埚，其特征在于，包括：氮化硅结合碳化硅烧结的坩埚底(100)和坩埚环壁(200)，所述坩埚底(100)和所述坩埚环壁(200)插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体；圆筒体内壁以底部为中心向外发散延伸有多条导流线(300)。


2.根据权利要求1所述的一种氮化硅结合碳化硅坩埚，其特征在于，所述坩埚环壁(200)具有多个，均呈圆环状，其顶部均具有第一插接部(201)，底部均具有第二插接部(202)；相邻的所述坩埚环壁(200)之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘得顺，方怀毅，李治桐，
申请(专利权)人：唐山正益科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13