下载一种氮化硅结合碳化硅坩埚的技术资料

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本实用新型涉及一种氮化硅结合碳化硅坩埚,包括:氮化硅结合碳化硅烧结的坩埚底和坩埚环壁,坩埚底和坩埚环壁插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体;圆筒体内壁以底部为中心向外发散延伸有多条导流线。本实用新型由于坩埚底和坩埚环壁插接后形成由...
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