一种金属掩膜板原料转运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种金属掩膜板原料转运装置。所述金属掩膜板原料转运装置包括基板；框槽，所述框槽开设在所述基板的顶部；密封框，所述密封框设置在所述框槽内，所述密封框的顶部延伸至所述基板外；保护罩，所述保护罩固定安装在所述密封框的顶部，所述保护罩的底部和所述基板的顶部相接触；多个放置槽，多个所述放置槽均匀开设在所述基板的顶部，多个所述放置槽均位于所述框槽内；多个绒布，多个所述绒布分别铺设在多个所述放置槽内，多个所述绒布的外沿均延伸至所述基板外。本实用新型专利技术提供的金属掩膜板原料转运装置具有便于拿取掩模板、放置时不易划伤、且滤布安装较为稳定的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种金属掩膜板原料转运装置
本技术涉及金属掩膜板生产
，尤其涉及一种金属掩膜板原料转运装置。
技术介绍
金属掩膜板又称光学掩模板，光学掩模板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC(IntegratedCircuit，集成电路)、FPD(FlatPanelDisplay，平板显示器)、PCB(PrintedCircuitBoards，印刷电路板)、MEMS(MicroElectroMechanicalSystems，微机电系统)等，掩膜板，特别是细小网格的掩膜板，在初加工成型后，会在网格内或表面残留金属边角料等颗粒物质，影响掩膜板的正常使用。在循环使用的过程中，掩膜板上会沾上有机发光材料等杂质，这些杂质将影响掩膜板的精度或正常使用，在将掩膜板再次投入使用前必须清除，金属掩膜板重量在100～200kg左右，在清洗前和清洗完毕后必须采用专用的转运装置进行转移，否则容易对金属掩膜板造成损坏。然而目前的转运装置在转运时人们拿取掩模板大多通过手去抠，导致本就轻薄的掩膜板出现损伤，造成了经济损失，且目前的转运装置上的放置槽内大多没有放置保护件，容易划伤掩模板，造成不必要的损失。因此，有必要提供一种新的金属掩膜板原料转运装置解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术解决的技术问题是提供一种具有便于拿取掩模板、放置时不易划伤、且滤布安装较为稳定的金属掩膜板原料转运装置。>为达到上述目的，本技术的技术方案具体是这样实现的：本技术的提供了一种金属掩膜板原料转运装置，包括：基板；框槽，所述框槽开设在所述基板的顶部；密封框，所述密封框设置在所述框槽内，所述密封框的顶部延伸至所述基板外；保护罩，所述保护罩固定安装在所述密封框的顶部，所述保护罩的底部和所述基板的顶部相接触；多个放置槽，多个所述放置槽均匀开设在所述基板的顶部，多个所述放置槽均位于所述框槽内；多个绒布，多个所述绒布分别铺设在多个所述放置槽内，多个所述绒布的外沿均延伸至所述基板外；多个顶推机构，多个所述顶推机构均匀设置在所述基板上并分别和多个所述放置槽对应分布；多个固定机构，多个所述固定机构均匀设置在所述基板上并分别和多个所述放置槽对应分布；作为本技术进一步的方案，所述顶推机构包括推板、顶推杆、第一固定块和第一弹簧，所述推板滑动安装在所述放置槽内，所述推板的顶部和所述绒布的底部固定连接，所述顶推杆滑动安装在所述放置槽的底部内壁上，所述顶推杆的顶端位于所述放置槽内并和所述推板的底部固定连接，所述顶推杆的底端延伸至所述基板外，所述第一固定块固定安装在所述顶推杆的底端上，所述第一弹簧滑动套设在所述顶推杆上，所述第一弹簧的底端和所述第一固定块的顶部固定连接，所述第一弹簧的顶端和所述基板的底部固定连接。作为本技术进一步的方案，所述固定机构包括压环和多个锁件，所述压环设置在所述绒布的顶部，所述锁件包括滑腔、滑片、滑杆、第二弹簧、锁片和锥杆，所述滑腔开设在所述基板上，所述滑片滑动安装在所述滑腔内，所述滑杆滑动安装在所述滑腔的顶部内壁上，所述滑杆的底端位于所述滑腔内并和所述滑片的顶部固定连接，所述滑杆的顶端延伸至所述基板外并位于所述压环的一侧，所述第二弹簧滑动套设在所述滑杆上，所述第二弹簧的顶端和所述滑腔的顶部内壁固定连接，所述第二弹簧的顶端和所述滑片的顶部固定连接，所述锁片转动套设在所述滑杆上，所述锁片的底部和所述压环的顶部相接触，所述锥杆滑动贯穿所述压环和绒布，所述锥杆和所述基板相插接。作为本技术进一步的方案，所述基板的顶部开设有插接槽，所述锥杆和所述插接槽相适配，所述滑杆的顶端固定安装有第二固定块。作为本技术进一步的方案，所述锁片上开设有通孔，所述通孔内固定安装有轴承，所述轴承的内圈固定套设在所述滑杆上。作为本技术进一步的方案，所述基板的底部固定安装有四个呈矩形阵列分布的支撑腿，四个所述支撑腿的底部均固定安装有万向轮。本技术提供了一种金属掩膜板原料转运装置，有益效果在于：本装置不到移动方便，保护罩能够对放置在基板上放置槽内的掩膜板进行保护，放置槽内的绒布能够对掩膜板进行保护，预防划伤，在取出时只需推动第一固定块即可使掩膜板脱离放置槽，方便取出，压锁式的绒布方便人们进行定期更换。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。图1为本技术提供的金属掩膜板原料转运装置的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示A部分的放大结构示意图；图3为图2所示B部分的放大结构示意图；图4为图3所示C部分的放大结构示意图。图中标号：1、基板；2、框槽；3、密封框；4、保护罩；5、放置槽；6、绒布；7、推板；8、顶推杆；9、第一固定块；10、第一弹簧；11、压环；12、滑腔；13、滑片；14、滑杆；15、第二弹簧；16、锁片；17、锥杆。具体实施方式下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。参见图1-图4，本技术实施例提供的一种金属掩膜板原料转运装置包括：基板1；框槽2，所述框槽2开设在所述基板1的顶部；密封框3，所述密封框3设置在所述框槽2内，所述密封框3的顶部延伸至所述基板1外；保护罩4，所述保护罩4固定安装在所述密封框3的顶部，所述保护罩4的底部和所述基板1的顶部相接触；多个放置槽5，多个所述放置槽5均匀开设在所述基板1的顶部，多个所述放置槽5均位于所述框槽2内；多个绒布6，多个所述绒布6分别铺设在多个所述放置槽5内，多个所述绒布6的外沿均延伸至所述基板1外；多个顶推机构，多个所述顶推机构均匀设置在所述基板1上并分别和多个所述放置槽5对应分布；多个固定机构，多个所述固定机构均匀设置在所述基板1上并分别和多个所述放置槽5对应分布；所述顶推机构包括推板7、顶推杆8、第一固定块9和第一弹簧10，所述推板7滑动安装在所述放置槽5内，所述推板7的顶部和所述绒布6的底部固定连接，所述顶推杆8滑动安装在所述放置槽5的底部内壁上，所述顶推杆8的顶端位于所述放置槽5内并和所述推板7的底部固定连接，所述顶推杆8的底端延伸至所述基板1外，所述第一固定块9固定安装在所述顶推杆8的底端上，所述第一弹簧10滑动套设在所述顶推杆8上，所述第一弹簧10的底端和所述第一固定块9的顶部固定连接，所述第一弹簧10的顶端和所述基板1的底部固定连接。所述固定机构包括压环11和多个锁件，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属掩膜板原料转运装置，其特征在于，包括：/n基板；/n框槽，所述框槽开设在所述基板的顶部；/n密封框，所述密封框设置在所述框槽内，所述密封框的顶部延伸至所述基板外；/n保护罩，所述保护罩固定安装在所述密封框的顶部，所述保护罩的底部和所述基板的顶部相接触；/n多个放置槽，多个所述放置槽均匀开设在所述基板的顶部，多个所述放置槽均位于所述框槽内；/n多个绒布，多个所述绒布分别铺设在多个所述放置槽内，多个所述绒布的外沿均延伸至所述基板外；/n多个顶推机构，多个所述顶推机构均匀设置在所述基板上并分别和多个所述放置槽对应分布；/n多个固定机构，多个所述固定机构均匀设置在所述基板上并分别和多个所述放置槽对应分布。/n

【技术特征摘要】
1.一种金属掩膜板原料转运装置，其特征在于，包括：
基板；
框槽，所述框槽开设在所述基板的顶部；
密封框，所述密封框设置在所述框槽内，所述密封框的顶部延伸至所述基板外；
保护罩，所述保护罩固定安装在所述密封框的顶部，所述保护罩的底部和所述基板的顶部相接触；
多个放置槽，多个所述放置槽均匀开设在所述基板的顶部，多个所述放置槽均位于所述框槽内；
多个绒布，多个所述绒布分别铺设在多个所述放置槽内，多个所述绒布的外沿均延伸至所述基板外；
多个顶推机构，多个所述顶推机构均匀设置在所述基板上并分别和多个所述放置槽对应分布；
多个固定机构，多个所述固定机构均匀设置在所述基板上并分别和多个所述放置槽对应分布。


2.根据权利要求1所述的金属掩膜板原料转运装置，其特征在于，所述顶推机构包括推板、顶推杆、第一固定块和第一弹簧，所述推板滑动安装在所述放置槽内，所述推板的顶部和所述绒布的底部固定连接，所述顶推杆滑动安装在所述放置槽的底部内壁上，所述顶推杆的顶端位于所述放置槽内并和所述推板的底部固定连接，所述顶推杆的底端延伸至所述基板外，所述第一固定块固定安装在所述顶推杆的底端上，所述第一弹簧滑动套设在所述顶推杆上，所述第一弹簧的底端和所述第一固定块的顶部固定连接，所述第一弹簧的顶端和所述基板的底部固定连接。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐军，
申请(专利权)人：安徽浚颍光电有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34