一种可调节的金属掩膜板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调节的金属掩膜板，包括金属外边框和基板边框，金属外边框内壁的两侧均开设有凸型滑槽，凸型滑槽的内部设置有滑块，滑块相对的一侧连接有金属内边框，金属内边框底部的中端处开设有卡槽，卡槽的内部设置有卡块，卡块左右的两侧连接有推块，基板边框内腔的外边角处均设置有第一缓冲垫，基板边框内腔的内边角处均设置有第二缓冲垫；该一种可调节的金属掩膜板通过设置限位条、凸型滑槽、滑块、卡槽、卡块、推块、橡胶吸盘、第一缓冲垫、第二缓冲垫、支撑杆与弧形垫片，可以达到便于调节、稳固支撑的功效，使掩膜板的位移更加灵活方便，调节起来更加简单，提高金属掩膜板的稳定性能。板的稳定性能。板的稳定性能。

【技术实现步骤摘要】
一种可调节的金属掩膜板


[0001]本技术涉及金属掩膜板
，具体为一种可调节的金属掩膜板。

技术介绍

[0002]掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得，常用加工设备为直写式光刻设备，如激光直写光刻机、电子束光刻机等。
[0003]现有技术存在以下缺陷或问题：
[0004]1、现有金属掩膜板的板框大小是固定设置的，由于板框与掩模片两者是焊接在一起，易导致一边焊接后，另一边的距离过窄，无法完成整体焊接，存在报废的风险；
[0005]2、现有的金属掩膜板与基板在紧密接触的过程中，由于掩膜板与基板的厚度很薄，金属掩膜板与基板之间的冲击力易发生形变，易对掩膜板造成一定的挤压，降低掩膜板的成品率。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种可调节的金属掩膜板，以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种可调节的金属掩膜板，包括金属外边框和基板边框，所述金属外边框内壁的两侧均开设有凸型滑槽，所述凸型滑槽的内部设置有滑块，所述滑块相对的一侧连接有金属内边框，所述金属内边框底部的中端处开设有卡槽，所述卡槽的内部设置有卡块，所述卡块左右的两侧连接有推块，所述基板边框内腔的外边角处均设置有第一缓冲垫，所述基板边框内腔的内边角处均设置有第二缓冲垫，所述第一缓冲垫与第二缓冲垫相对的一侧设置有支撑杆，所述支撑杆相对的一侧连接有弧形垫片，所述基板边框左右两侧的中端处均开设有矩形槽。
[0008]作为本技术的优选技术方案，所述金属外边框的底部与基板边框的顶部贴合连接，所述金属外边框的内部设置有掩膜板，所述掩膜板的内部开设有开口图形，所述金属外边框前后两侧均连接有限位条。
[0009]作为本技术的优选技术方案，所述凸型滑槽与滑块滑动连接，所述金属内边框高度大小与金属外边框的高度大小相适配。
[0010]作为本技术的优选技术方案，所述卡块的形状呈“凸”字型，所述卡槽与卡块的凸起部位卡合连接。
[0011]作为本技术的优选技术方案，所述凸型滑槽相反的一侧均设置有固定杆，所述固定杆的上下两侧连接有橡胶吸盘，所述橡胶吸盘相反的一侧金属外边框内壁的上下两侧贴合连接。
[0012]作为本技术的优选技术方案，所述第一缓冲垫与第二缓冲垫均呈直角设置，所述弧形垫片为四分之一圆弧设置。
[0013]作为本技术的优选技术方案，所述矩形槽外侧的表壁与推块内侧的表壁贴合连接，所述矩形槽外侧的表壁设置有刻度线，所述限位条与金属内边框相对的一侧均设置有磁铁条,所述限位条靠近金属内边框一侧的磁铁条为N极，所述金属内边框靠近限位条一侧的磁铁条为S极。
[0014]与现有技术相比，本技术提供了一种可调节的金属掩膜板，具备以下有益效果：
[0015]1、该一种可调节的金属掩膜板，通过设置限位条、凸型滑槽、滑块、卡槽、卡块与推块，可以达到便于调节的功效，当掩膜板的宽度需要调整时，通过推块的位移，来移动卡块，通过卡块上部分与卡槽的卡合连接，带动滑块位移，滑块与凸型滑槽的滑动连接，通过限位条限制金属内边框外拉的长度，使位移更加灵活方便，调节起来更加简单；
[0016]2、该一种可调节的金属掩膜板，通过设置橡胶吸盘、第一缓冲垫、第二缓冲垫、支撑杆与弧形垫片可以达到稳固支撑的功效，通过固定杆两端的橡胶吸盘与金属外边框内壁的贴合连接，将金属外边框进行支撑，防止其发生严重变形，通过第一缓冲垫与第二缓冲垫，防止金属外边框与基板边框紧密接触时产生形变，通过支撑杆将第一缓冲垫与第二缓冲垫之间进行支撑，通过弧形垫片增加支撑杆的弹性，提高金属掩膜板的稳定性能。
附图说明
[0017]图1为本技术结构的主视示意图；
[0018]图2为本技术结构的剖视示意图；
[0019]图3为本技术结构上部的俯剖示意图；
[0020]图4为本技术结构下部的俯剖示意图。
[0021]图中：1、金属外边框；2、基板边框；3、掩膜板；4、限位条；5、凸型滑槽；6、滑块；7、金属内边框；8、卡槽；9、卡块；10、推块；11、固定杆；12、橡胶吸盘；13、第一缓冲垫；14、第二缓冲垫；15、支撑杆；16、弧形垫片；17、矩形槽；18、磁铁条。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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4，本实施方案中：一种可调节的金属掩膜板，包括金属外边框1和基板边框2，金属外边框1内壁的两侧均开设有凸型滑槽5，凸型滑槽5的内部设置有滑块6，滑块6相对的一侧连接有金属内边框7，金属内边框7底部的中端处开设有卡槽8，卡槽8的内部设置有卡块9，卡块9左右的两侧连接有推块10，基板边框2内腔的外边角处均设置有第一缓冲垫13，基板边框2内腔的内边角处均设置有第二缓冲垫14，第一缓冲垫13与第二缓冲垫14相对的一侧设置有支撑杆15，支撑杆15相对的一侧连接有弧形垫片16，基板边框2左右两侧的中端处均开设有矩形槽17。
[0024]本实施例中，金属外边框1的底部与基板边框2的顶部贴合连接，金属外边框1的内部设置有掩膜板3，掩膜板3的内部开设有开口图形，金属外边框1前后两侧均连接有限位条
4；通过限位条4限制金属内边框7外拉的长度，使金属内边框7外拉后的外壁与金属外边框1保持在同一平面上。凸型滑槽5与滑块6滑动连接，金属内边框7高度大小与金属外边框1的高度大小相适配，卡块9的形状呈“凸”字型，卡槽8与卡块9的凸起部位卡合连接；通过凸型滑槽5与滑块6的滑动连接，带动金属内边框7进行位移，通过卡槽8与卡块9的卡合连接，带动金属内边框7进行位移，使位移更加灵活方便，调节起来更加简单。凸型滑槽5相反的一侧均设置有固定杆11，固定杆11的上下两侧连接有橡胶吸盘12，橡胶吸盘12相反的一侧金属外边框1内壁的上下两侧贴合连接；通过固定杆11两端的橡胶吸盘12与金属外边框1内壁的贴合连接，将金属外边框1进行支撑，防止其发生严重变形。第一缓冲垫13与第二缓冲垫14均呈直角设置；通过第一缓冲垫13与第二缓冲垫14，防止金属外边框1与基板边框2紧密接触时产生形变。弧形垫片16为四分之一圆弧设置，矩形槽17外侧的表壁与推块10内侧的表壁贴合连接；通过支撑杆15将第一缓冲垫13与第二缓冲垫14之间进行支撑，通过弧形垫片16增加支撑杆15的弹性，提高金属掩膜板3的稳定性能。矩形槽17外侧的表壁设置有刻度线，限位条4与金属内边框7相对的一侧均设置有磁铁条18,限位条4靠近金属内边本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调节的金属掩膜板，其特征在于：包括金属外边框（1）和基板边框（2），所述金属外边框（1）内壁的两侧均开设有凸型滑槽（5），所述凸型滑槽（5）的内部设置有滑块（6），所述滑块（6）相对的一侧连接有金属内边框（7），所述金属内边框（7）底部的中端处开设有卡槽（8），所述卡槽（8）的内部设置有卡块（9），所述卡块（9）左右的两侧连接有推块（10），所述基板边框（2）内腔的外边角处均设置有第一缓冲垫（13），所述基板边框（2）内腔的内边角处均设置有第二缓冲垫（14），所述第一缓冲垫（13）与第二缓冲垫（14）相对的一侧设置有支撑杆（15），所述支撑杆（15）相对的一侧连接有弧形垫片（16），所述基板边框（2）左右两侧的中端处均开设有矩形槽（17）。2.根据权利要求1所述的一种可调节的金属掩膜板，其特征在于：所述金属外边框（1）的底部与基板边框（2）的顶部贴合连接，所述金属外边框（1）的内部设置有掩膜板（3），所述掩膜板（3）的内部开设有开口图形，所述金属外边框（1）前后两侧均连接有限位条（4）。3.根据权利要求1所述的一种可调节的金属掩膜板，其特征在于：所述凸型滑槽（5）...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐军，
申请(专利权)人：安徽浚颍光电有限公司，
类型：新型
国别省市：