一种光刻机用晶圆片匀胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶圆片光刻技术领域，公开了一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括工作台，所述工作台的左端固定安装有控制开关，所述控制开关的内部设置有PLC控制器，所述工作台的上端中部固定安装有收集罩，所述工作台的内腔上端中部固定安装有电机，所述电机的上端设置有传动杆，所述电机的电机轴输出端与传动杆传动连接，所述传动杆贯穿工作台和收集罩固定连接有真空吸盘，所述收集罩的内腔下端中部设置有密封圈。本实用新型专利技术通过设置的收集罩、橡胶条、电机、传动杆、真空吸盘、密封圈、直杆、液位传感器、排液管和喇叭，解决了光刻胶污染工作环境，增加二次清理麻烦的问题，较为实用，适合广泛推广与使用。广泛推广与使用。广泛推广与使用。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机用晶圆片匀胶装置


[0001]本技术涉及晶圆片光刻
，具体为一种光刻机用晶圆片匀胶装置。

技术介绍

[0002]光刻工艺总共包括晶圆片匀胶、曝光、显影、坚膜、腐蚀、去胶等步骤，其中，匀胶是为了使分布于晶片上的光刻胶分布均匀并能达到一定厚度，以便曝光时晶圆片表面的光刻胶都能得到适当的感光。
[0003]经检索公开号为(CN108646517A)，公开了一种光刻机用晶圆片匀胶装置，所述匀胶装置包括固定框、基座、水平调节装置、固定支架、旋转装置、真空吸盘、真空发生器、可调节弹簧和感应装置；所述基座位于固定框上部，基座用于安装固定支架。
[0004]在实现本技术中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：该技术虽然解决了涂抹不匀的问题，但是无法对甩出的光刻胶进行收集，从而导致工作环境的污染，增加二次清理的麻烦，亟需进行改进，因此，我们提出一种光刻机用晶圆片匀胶装置。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种光刻机用晶圆片匀胶装置，解决了
技术介绍
中所提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括工作台；
[0007]所述工作台的左端固定安装有控制开关，所述控制开关的内部设置有PLC控制器，所述工作台的上端中部固定安装有收集罩，所述工作台的内腔上端中部固定安装有电机，所述电机的上端设置有传动杆；
[0008]所述电机的电机轴输出端与传动杆传动连接，所述传动杆贯穿工作台和收集罩固定连接有真空吸盘，所述收集罩的内腔下端中部设置有密封圈，所述密封圈的左侧设置有直杆，所述直杆的下端与收集罩固定连接，所述直杆的左侧上端固定安装有液位传感器，所述收集罩下端的左右两侧均连通有排液管，所述工作台的上端右侧固定安装有喇叭。
[0009]作为本技术的一种优选实施方式，所述收集罩的内腔粘合有多组橡胶条，且所述橡胶条的剖面呈半圆形。
[0010]作为本技术的一种优选实施方式，所述密封圈的内腔与传动杆的外侧壁贴合，且所述密封圈采用耐腐橡胶制成。
[0011]作为本技术的一种优选实施方式，所述液位传感器的数据输出端与PLC控制器的数据输入端连接，所述PLC控制器的信号输出端与喇叭的信号输入端连接。
[0012]作为本技术的一种优选实施方式，所述控制开关经外部电源分别与电机和喇叭电性连接。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0014]1.本技术通过设置的收集罩、橡胶条、电机、传动杆、真空吸盘、密封圈、直杆、液位传感器、排液管和喇叭，使用时，首先通过收集罩对甩出的光刻胶进行收集，再通过橡胶条来起到缓冲的效果，避免光刻胶迸溅到真空吸盘上，最后汇集到收集罩底部，再通过液位传感器来监测收集量，当液位传感器监测到超过设定液位时，液位传感器把数据传输给PLC控制器，PLC控制器控制喇叭进行报警，提醒工作人员通过排液管排出收集的光刻胶，解决了光刻胶污染工作环境，增加二次清理麻烦的问题，有利于更为实用的使用一种光刻机用晶圆片匀胶装置。
[0015]2.本技术通过收集罩的内腔粘合有多组橡胶条，且橡胶条的剖面呈半圆形，便于通过半圆形设置的橡胶条来起到有效的缓冲效果，进一步提高收集效率，有利于更为实用的使用一种光刻机用晶圆片匀胶装置。
[0016]3.本技术通过密封圈的内腔与传动杆的外侧壁贴合，且密封圈采用耐腐橡胶制成，便于通过密封圈来起到密封的效果，避免收集的光刻胶出现泄漏，有利于更为实用的使用一种光刻机用晶圆片匀胶装置。
附图说明
[0017]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0018]图1为本技术一种光刻机用晶圆片匀胶装置的整体结构示意图；
[0019]图2为本技术一种光刻机用晶圆片匀胶装置的收集罩立体结构示意图；
[0020]图3为本技术一种光刻机用晶圆片匀胶装置的A结构示意图。
[0021]图中：1、工作台，2、控制开关，3、PLC控制器，4、收集罩，5、橡胶条，6、电机，7、传动杆，8、真空吸盘，9、密封圈，10、直杆，11、液位传感器，12、排液管，13、喇叭。
具体实施方式
[0022]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0023]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置；本技术中提供的用电器的型号仅供参考。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据实际使用情况更换功能相同的不同型号用电器，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括工作台1；
[0026]所述工作台1的左端固定安装有控制开关2，所述控制开关2的内部设置有PLC控制器3，所述工作台1的上端中部固定安装有收集罩4，所述工作台1的内腔上端中部固定安装
有电机6，所述电机6的上端设置有传动杆7；
[0027]所述电机6的电机轴输出端与传动杆7传动连接，所述传动杆7贯穿工作台1和收集罩4固定连接有真空吸盘8，所述收集罩4的内腔下端中部设置有密封圈9，所述密封圈9的左侧设置有直杆10，所述直杆10的下端与收集罩4固定连接，所述直杆10的左侧上端固定安装有液位传感器11，所述收集罩4下端的左右两侧均连通有排液管12，所述工作台1的上端右侧固定安装有喇叭13。
[0028]本实施例中请参阅图1、图2和图3，通过设置的收集罩4、橡胶条5、电机6、传动杆7、真空吸盘8、密封圈9、直杆10、液位传感器11、排液管12和喇叭13，使用时，首先通过收集罩4对甩出的光刻胶进行收集，再通过橡胶条5来起到缓冲的效果，避免光刻胶迸溅到真空吸盘8上，最后汇集到收集罩4底部，再通过液位传感器11来监测收集量，当液位传感器11监测到超过设定液位时，液位传感器11把数据传输给PLC控制器3，PLC控制器3控制喇叭13进行报警，提醒工作人员通过排液管12排出收集的光刻胶，解决了光刻胶污染工作环境，增加二次清理麻烦的问题，有利于更为实用的使用一种光刻机用晶圆片匀胶装置。
[0029]其中，所述收集罩4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于，包括工作台(1)；所述工作台(1)的左端固定安装有控制开关(2)，所述控制开关(2)的内部设置有PLC控制器(3)，所述工作台(1)的上端中部固定安装有收集罩(4)，所述工作台(1)的内腔上端中部固定安装有电机(6)，所述电机(6)的上端设置有传动杆(7)；所述电机(6)的电机轴输出端与传动杆(7)传动连接，所述传动杆(7)贯穿工作台(1)和收集罩(4)固定连接有真空吸盘(8)，所述收集罩(4)的内腔下端中部设置有密封圈(9)，所述密封圈(9)的左侧设置有直杆(10)，所述直杆(10)的下端与收集罩(4)固定连接，所述直杆(10)的左侧上端固定安装有液位传感器(11)，所述收集罩(4)下端的左右两侧均连通有排液管(12)，所述工作...

【专利技术属性】
技术研发人员：卫广连，叶东国，付志江，
申请(专利权)人：大连榕树光学有限公司，
类型：新型
国别省市：