涂敷装置、涂敷方法、以及涂敷头管理系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供涂敷装置、涂敷方法、以及涂敷头管理系统。适当地管理涂敷头的状态。涂敷装置(11)具备：保持台(21)，保持基板(70)；涂敷部(涂敷头部件(22))，向保持于保持台的基板涂敷涂敷材料；以及控制部(50)，进行控制使得通过使基板和涂敷部相对地移动来向基板的预定区域涂敷涂敷材料。在涂敷部装卸自如地安装有用于向基板涂敷涂敷材料的涂敷头(31)。涂敷头具有存储部(33)，该存储部(33)包括存储涂敷头的固有信息的第1存储区域、和存储涂敷头的来历信息的第2存储区域。控制部从第1存储区域读取固有信息，并且根据涂敷头的涂敷动作，将来历信息储存到第2存储区域。

【技术实现步骤摘要】
涂敷装置、涂敷方法、以及涂敷头管理系统
本专利技术涉及涂敷装置、涂敷方法、以及涂敷头管理系统。
技术介绍
以往，例如将液晶材料等涂敷材料涂敷到基板的涂敷装置得到普及(参照例如专利文献1)。涂敷装置具有保持基板的保持台、和向保持于保持台的基板涂敷涂敷材料的涂敷部(涂敷头部件)。涂敷装置通过使基板和涂敷部相对地移动来向基板的预定区域涂敷涂敷材料。在涂敷部装卸自如地安装用于向基板涂敷涂敷材料的涂敷头。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许第5671414号公报
技术实现思路
专利文献1记载的以往的涂敷装置如以下说明，最好适当地管理涂敷头的状态。涂敷头为了进行洗净定期地从涂敷装置拆下，在洗净后被再次安装到涂敷装置。此时，有时将与本来安装到涂敷装置的涂敷头不同的涂敷头安装到涂敷装置。涂敷头由于制造公差等针对每个个体而驱动条件(例如涂敷头的驱动电压、加热器的温度等)不同。另外，涂敷头在使用后长时间放置时，在内部附着的涂敷材料固化，所以特性变化。因此，以往的涂敷装置最好适当地管理涂敷头的状态。本专利技术是为了解决所述课题而完成的，其主要目的在于提供适当地管理涂敷头的状态的涂敷装置、涂敷方法、以及涂敷头管理系统。为了达成所述目的，本专利技术设为如下结构：涂敷装置具备：保持台，保持基板；涂敷部，向保持于所述保持台的所述基板涂敷涂敷材料；以及控制部，进行控制使得通过使所述基板和所述涂敷部相对地移动来向所述基板的预定区域涂敷所述涂敷材料，在所述涂敷部装卸自如地安装用于向所述基板涂敷所述涂敷材料的涂敷头，所述涂敷头具有存储部，该存储部包括存储该涂敷头的固有信息的第1存储区域、和存储该涂敷头的来历信息的第2存储区域，所述控制部从所述第1存储区域读取所述固有信息，并且根据所述涂敷头的涂敷动作，将所述来历信息储存到所述第2存储区域。其他单元后记。根据本专利技术，能够适当地管理涂敷头的状态。附图说明图1是实施方式所涉及的涂敷装置的外观图。图2是实施方式所涉及的涂敷装置中的涂敷头部件(涂敷部)的主要部分概略图。图3是实施方式所涉及的涂敷装置中的涂敷头部件(涂敷部)的分离构造的说明图。图4是包括实施方式所涉及的涂敷装置的涂敷头管理系统的概略结构图。图5是设置于涂敷头的存储部的储存信息的说明图。图6是作为产品的一个例子的液晶图像显示装置的剖面构造图。图7是示出涂敷头管理系统的动作的流程图。图8是示出涂敷装置的动作的流程图。图9是飞滴检查机构的概略结构图。图10是概略地示出在飞滴检查中良好的情况的一个例子的说明图。图11A是概略地示出在飞滴检查中不适当的情况的一个例子的说明图(1)。图11B是概略地示出在飞滴检查中不适当的情况的一个例子的说明图(2)。图12是详细地示出在飞滴检查中良好的情况的一个例子的说明图。图13A是详细地示出在飞滴检查中不适当的情况的一个例子的说明图(1)。图13B是详细地示出在飞滴检查中不适当的情况的一个例子的说明图(2)。图13C是详细地示出在飞滴检查中不适当的情况的一个例子的说明图(3)。图13D是详细地示出在飞滴检查中不适当的情况的一个例子的说明图(4)。图13E是详细地示出在飞滴检查中不适当的情况的一个例子的说明图(5)。图14是计量检查机构的概略结构图。图15是示出各涂敷头的驱动电压和涂敷材料的射出量的关系的差异的图表。图16A是示出涂敷材料的滴下数和涂敷材料的总射出量的关系的图表。图16B是示出涂敷头的驱动电压和涂敷材料的总射出量的关系的图表。图17是示出涂敷头的驱动电压的斜率的差异的图表。图18A是示出由于涂敷头的驱动电压的斜率的差异引起的校正的差异的说明图(1)。图18B是示出由于涂敷头的驱动电压的斜率的差异引起的校正的差异的说明图(2)。图18C是示出由于涂敷头的驱动电压的斜率的差异引起的校正的差异的说明图(3)。图19是点检查机构的说明图(1)。图20是点检查机构的说明图(2)。图21是示出在涂敷遗漏检查中不适当的情况的一个例子的说明图。(符号说明)10：涂敷头管理系统；11：涂敷装置；12：控制装置；13：计量检查机构；13a：电子天平；14：飞滴检查机构；15a：闪光照明；15b：飞滴检查照相机；16：点检查机构；17a、17b：点检查照相机；18：保管部；19：涂敷头管理装置；21：保持台；22：涂敷头部件(涂敷部)；23：涂敷材料罐(涂敷材料存积部)；24：机架；25：线性马达用线圈；26：线性马达用磁铁；27：支撑部；31：涂敷头；32：喷嘴；33：存储部；33a：第1存储区域；33b：第2存储区域；34a、34b、34c、34d：导管；35a、35b、35c、35d：阀门；36：泄漏阀门；37：调节器；38：压力计；40：加热器；41：热电偶；42：固态继电器(SSR)；43：调温器；50：控制部；51：主PC；52：马达控制器；53：放大器；54：喷墨控制器；60：液晶图像显示装置；61：偏光滤光片；62：玻璃基板；63：滤色片；64：透明电极；65：配光膜；66：液晶层；67：配光膜；68：透明电极；69：玻璃基板；70：基板；71a、71b、71c：检查范围；72：射出遗漏部位；91：液存积；99：涂敷材料；Dst：储存信息；D1a：序列号信息；D1b：厂商检查日信息；D1c：检查时基准电压信息；DA：实地中的初通电日信息；D2a：总通电时间信息；D2b：总射出时间信息；D2c：连续使用时间信息；D2d：最终头安装日期时间信息；D2e：最终搭载机号码信息；D2f：最终搭载线号码信息；D2g：最终搭载头号码信息；D2h：配方号码信息(材料的型式信息)；D2i：内部加热器温度信息；D2j：驱动电压信息；D2k：驱动电压斜率信息；D2l：计量错误次数信息；D2m：射出遗漏错误次数信息；D2n：通信错误次数信息；D10：固有信息；D20：来历信息；D21：动作经过信息；D22：驱动信息；D23：错误信息。具体实施方式以下，参照附图，详细说明本专利技术的实施方式(以下称为“本实施方式”)。此外，在各图中，只不过按照可充分理解本专利技术的程度概略性地示出。因此，本专利技术不仅限定于图示例。另外，在各图中，对共同的构成要素、同样的构成要素，附加同一符号，省略它们的重复的说明。此外，在以往的涂敷装置中，除了上述课题(期望适当地管理涂敷头的状态这样的课题)以外，还存在如以下的课题。本实施方式还意图提供除了所述课题以外，还能够解决如以下的课题的涂敷装置。(1)涂敷装置有多个搬送基板的线而且有多个涂敷部(涂敷头部件)，1个涂敷部(涂敷头部件)有时掌管多个线。即，在某个涂敷部仅掌管1个线时，其他涂敷部有时掌管2个线。由此，在各涂敷部的使用频度(使用实绩)中，发生偏差。另外，涂敷装置制造涂敷材料不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂敷装置，其特征在于，具备：/n保持台，保持基板；/n涂敷部，向保持于所述保持台的所述基板涂敷涂敷材料；以及/n控制部，进行控制使得通过使所述基板和所述涂敷部相对地移动来向所述基板的预定区域涂敷所述涂敷材料，/n在所述涂敷部装卸自如地安装用于向所述基板涂敷所述涂敷材料的涂敷头，/n所述涂敷头具有存储部，该存储部包括存储该涂敷头的固有信息的第1存储区域、和存储该涂敷头的来历信息的第2存储区域，/n所述控制部从所述第1存储区域读取所述固有信息，并且根据所述涂敷头的涂敷动作，将所述来历信息储存到所述第2存储区域。/n

【技术特征摘要】
20200109 JP 2020-0021581.一种涂敷装置，其特征在于，具备：
保持台，保持基板；
涂敷部，向保持于所述保持台的所述基板涂敷涂敷材料；以及
控制部，进行控制使得通过使所述基板和所述涂敷部相对地移动来向所述基板的预定区域涂敷所述涂敷材料，
在所述涂敷部装卸自如地安装用于向所述基板涂敷所述涂敷材料的涂敷头，
所述涂敷头具有存储部，该存储部包括存储该涂敷头的固有信息的第1存储区域、和存储该涂敷头的来历信息的第2存储区域，
所述控制部从所述第1存储区域读取所述固有信息，并且根据所述涂敷头的涂敷动作，将所述来历信息储存到所述第2存储区域。


2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，
所述控制部通过从所述第1存储区域读取所述固有信息，探测安装于所述涂敷部的所述涂敷头有无更换。


3.根据权利要求1或者2所述的涂敷装置，其特征在于，
所述控制部从所述第2存储区域读取所述来历信息，根据该来历信息决定所述涂敷头的驱动条件。


4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的涂敷装置，其特征在于，
所述来历信息包括驱动电压斜率信息，该驱动电压斜率信息表示使所述涂敷头驱动的驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：白石崇，川隅幸宏，大平直树，村井敏信，
申请(专利权)人：艾美柯技术株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP