本实用新型专利技术的实施例提供一种基板移送单元及具备基板移送单元的划线装置，基板移送单元可以包括：支承台，构成为支承基板；框架，设置于支承台的上方，并构成为向移送基板的方向移动；以及夹具装置，安装于框架，并构成为夹持基板，夹具装置可以包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于转动轴；第二夹紧部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；以及致动器，通过驱动力传递部件及驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使第一夹紧部件以转动轴为中心旋转。旋转。旋转。
【技术实现步骤摘要】
基板移送单元及具备基板移送单元的划线装置
[0001]本技术涉及一种移送基板的基板移送单元及具备基板移送单元的划线装置。
技术介绍
[0002]一般而言，在用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等中使用从玻璃之类脆性母玻璃面板(以下，称为“基板”)切割成预定尺寸的单位玻璃面板(以下，称为“单位基板”)。
[0003]将基板切割为单位基板的工艺包括沿成为基板的切割基准的切割计划线使金刚石之类材质的划线轮加压于基板并移动而在基板形成划线的划线工艺。
[0004]在这种划线工艺中，在基板被带支承的状态下基板的后随端被夹具装置夹持后向划线单元移送。
[0005]夹具装置一般而言具备一对夹紧部件。在基板位于一对夹紧部件之间的状态下，随着一对夹紧部件以彼此相邻的方式移动，基板被一对夹紧部件夹持。
[0006]另一方面，划线装置有时需要执行切割具有多种厚度的多种基板的工艺。但是，在以往的夹具装置的情况下，存在每当基板的厚度变更时为了稳定地夹持基板而需要进行使夹具装置整体高度与基板的厚度相对应的变更的追加性作业的缺点。
技术实现思路
[0007]本技术的目的在于提供一种即使在基板的厚度变更的情况下也无需进行使夹具装置整体高度与基板的厚度相对应的变更的追加性作业，并能够稳定地夹持基板的基板移送单元及具备基板移送单元的划线装置。
[0008]用于达到上述目的的本技术的实施例提供一种基板移送单元可以包括：支承台，构成为支承基板；框架，设置于支承台的上方，并构成为向移送基板的方向移动；以及夹具装置，安装于框架，并构成为夹持基板，夹具装置可以包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于转动轴；第二夹紧部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；以及致动器，通过驱动力传递部件及驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使第一夹紧部件以转动轴为中心旋转。
[0009]可以是，第一夹紧部件的朝向基板的前端弯曲。
[0010]在框架可以安装有多个夹具装置，构成多个夹具装置的多个致动器内部的压力可以通过一个调节器来调节。
[0011]可以是，在第一夹紧部件的基板支承面或第二夹紧部件的基板支承面附着有支承垫，支承垫由与基板相比具有大弹力的材料形成。
[0012]可以是，支承在第一夹紧部件的基板支承面上的基板的第一面的支承面积与支承在第二夹紧部件的基板支承面上的基板的第二面的支承面积相比小。
[0013]另外，根据本技术的实施例提供一种基板移送单元可以包括：支承台，构成为支承基板；框架，设置于支承台的上方，并构成为向移送基板的方向移动；以及夹具装置，安
装于框架，并构成为夹持基板，夹具装置可以包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于第一转动轴；第二夹紧部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；第一致动器，通过第一驱动力传递部件及第一驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使第一夹紧部件以第一转动轴为中心旋转；以及姿态保持单元，以使第一夹紧部件的基板支承面与第二夹紧部件的基板支承面平行的方式，保持第一夹紧部件的姿态。
[0014]第一驱动力传递杆可以通过第二转动轴连接于第一夹紧部件，姿态保持单元可以包括第二致动器，第二致动器通过第二驱动力传递部件及第二驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使第一夹紧部件以与第一转动轴及第二转动轴隔开的第三转动轴为中心旋转。
[0015]可以是，第一致动器内部的压力及第二致动器内部的压力通过相同的调节器来调节。
[0016]在框架可以安装有多个夹具装置，构成多个夹具装置的多个致动器内部的压力及多个第二致动器内部的压力可以通过一个调节器来调节。
[0017]另外，根据本技术的实施例提供一种划线装置可以包括上述的基板移送单元。
[0018]根据本技术的实施例的基板移送单元，对应于基板的厚度来调节第一致动器内部的压力，从而能够调节第一夹紧部件的第一基板支承面与第二夹紧部件的第二基板支承面之间的隔开距离。因此，即使在基板的厚度变更的情况下也无需进行使夹具装置整体高度与基板的厚度对应的变更的追加性作业，并能够稳定地夹持基板。因此，能够减少作业工艺数量，能够稳定地执行对基板的预定的处理工艺。另外，通过调节第二致动器内部的压力，能够将第一夹紧部件的第一基板支承面的姿态水平保持。因此，在调节了第一夹紧部件的第一基板支承面与第二夹紧部件的第二基板支承面之间的隔开距离的情况下，也能够将第一夹紧部件的第一基板支承面的姿态水平保持，由此能够增加支承在第一夹紧部件的第一基板支承面的基板的第一面的支承面积，由此，能够更稳定地夹持基板。
附图说明
[0019]图1是示出本技术的第一实施例的基板移送单元的俯视图。
[0020]图2是概略示出本技术的第一实施例的基板移送单元的侧视图。
[0021]图3是概略示出本技术的第一实施例的基板移送单元的其它例的侧视图。
[0022]图4是概略示出具备本技术的第一实施例的基板移送单元的划线装置的侧视图。
[0023]图5是概略示出本技术的第一实施例的基板移送单元所具备的夹具装置的图。
[0024]图6及图7是概略示出本技术的第一实施例的基板移送单元所具备的夹具装置的工作状态的图。
[0025]图8是概略示出本技术的第二实施例的基板移送单元所具备的夹具装置的图。
[0026]图9及图10是概略示出本技术的第三实施例的基板移送单元所具备的夹具装
置的图。
[0027]图11是概略示出本技术的第四实施例的基板移送单元所具备的夹具装置的图。
[0028]图12及图13是概略示出本技术的第四实施例的基板移送单元所具备的夹具装置的工作状态的图。
[0029]附图标记说明
[0030]10：基板移送单元；20：基板传送单元；30：划线单元；50：夹具装置；51：底座；52：夹紧单元；53：驱动单元；54：姿态保持单元。
具体实施方式
[0031]以下，参照附图，说明本技术的实施例的基板移送单元及具备基板移送单元的划线装置。
[0032]通过本技术的实施例的具备基板移送单元的划线装置进行切割的对象可以是第一基板和第二基板粘连而成的粘连基板。例如，第一基板可以具备薄膜晶体管，第二基板可以具备滤色器。与此相反，第一基板可以具备滤色器，第二基板可以具备薄膜晶体管。以下，将粘连基板简称为基板，将第一基板的向外部暴露的表面称为第一面，将第二基板的向外部暴露的表面称为第二面。
[0033]另外，将移送要执行切割基板的工艺的基板的方向定义为Y轴方向，将与移送基板的方向(Y轴方向)垂直的方向定义为X轴方向。而且，将与放置基板的X
‑
Y平面垂直的方向定义为Z轴方向。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板移送单元，其特征在于，包括：支承台，构成为支承基板；框架，设置于所述支承台的上方，并构成为向移送所述基板的方向移动；以及夹具装置，安装于所述框架，并构成为夹持所述基板，所述夹具装置包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于转动轴；第二夹紧部件，具有支承所述基板的第二面的基板支承面；以及致动器，通过驱动力传递部件及驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使所述第一夹紧部件以所述转动轴为中心旋转。2.根据权利要求1所述基板移送单元，其特征在于，所述第一夹紧部件的朝向所述基板的前端弯曲。3.根据权利要求1所述基板移送单元，其特征在于，在所述框架安装有多个夹具装置，构成多个所述夹具装置的多个所述致动器内部的压力通过一个调节器来调节。4.根据权利要求1所述基板移送单元，其特征在于，在所述第一夹紧部件的基板支承面或所述第二夹紧部件的基板支承面附着有支承垫，所述支承垫由与所述基板相比具有更大弹力的材料形成。5.根据权利要求1所述基板移送单元，其特征在于，支承在所述第一夹紧部件的基板支承面上的所述基板的第一面的支承面积与支承在所述第二夹紧部件的基板支承面上的所述基板的第二面的支承面积相比更小。6.一种基板移送单元，其特征在于，包括：支承台，构成为支承基板；框架，设置于所述支承台的上方，并构成为向移送所述基板的方向移动；以...
【专利技术属性】
技术研发人员：方圭龙，金贤正，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
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