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基板移送单元及具备基板移送单元的划线装置制造方法及图纸
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下载基板移送单元及具备基板移送单元的划线装置的技术资料
文档序号:29173544
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本实用新型的实施例提供一种基板移送单元及具备基板移送单元的划线装置,基板移送单元可以包括:支承台,构成为支承基板;框架,设置于支承台的上方,并构成为向移送基板的方向移动;以及夹具装置,安装于框架,并构成为夹持基板,夹具装置可以包括:第一夹紧...
该专利属于塔工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过塔工程有限公司授权不得商用。
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