一种硅片红外烘烤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种硅片红外烘烤装置，包括工作台、转盘、FFU风机过滤机组、片篮；所述工作台为三层结构，中间层设有与转盘对应的安装位，底层设有用于驱动转盘转动的驱动组件，上层用于安装FFU风机过滤机组；所述中间层还设有柱形外壳，转盘置于柱形外壳内；所述转盘上设有若干用于放置片篮的工作位；所述柱形外壳顶部中心向上延伸设有锥形结构，锥形结构顶部为排风口；所述柱形外壳顶部锥形结构四周设有若干送风口，所述送风口通过风管连接FFU风机过滤机组。本实用新型专利技术所述的一种硅片红外烘烤装置，采用FFU风机过滤机组送风，烘烤过程更洁净；多工位工作，可以放置更多的硅片片篮，烘烤效率更高；采用红外灯与转盘的组合，使烘烤效果更好。效果更好。效果更好。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片红外烘烤装置


[0001]本技术属于硅片生产设备领域，尤其是涉及一种硅片红外烘烤装置。

技术介绍

[0002]硅片生产过程中，清洗好的硅片表面吸附着一层水膜，着水膜除不净，表面干燥度差，会对硅片的质量造成一定影响。硅片在清洗完后需要对其表面进行烘干作业，由于硅片厚度较薄，采用常规烤箱进行烘干极易因受热不均而造成裂片，同时在烘烤过程中也会出现各种脏污，如果不对烤箱结构进行专门设计脏污就会聚集在烤箱内，随着时间的积累烤箱变得越来越脏，烘烤后的硅片表面也不干净。因此急需一种烘烤效果好、能耗低的硅片烘干装置。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术旨在克服上述现有技术中存在的缺陷，提出一种硅片红外烘烤装置。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种硅片红外烘烤装置，包括工作台、转盘、FFU风机过滤机组、片篮；
[0006]所述工作台为三层结构，中间层设有与转盘对应的安装位，底层设有用于驱动转盘转动的驱动组件，上层用于安装FFU风机过滤机组；
[0007]所述中间层还设有柱形外壳，转盘置于柱形外壳内；所述转盘上设有若干用于放置片篮的工作位；
[0008]所述柱形外壳顶部中心向上延伸设有锥形结构，锥形结构顶部为排风口；所述柱形外壳顶部锥形结构四周设有若干送风口，所述送风口通过风管连接 FFU风机过滤机组。
[0009]进一步的，所述工作台的中间层，与转盘工作位对应的位置设有L型灯架；所述L型灯架上设有用于加热的红外灯。
[0010]进一步的，位于所述柱形外壳进出口位置的L型灯架上设有双红外灯。
[0011]进一步的，所述工作位共八个，每个所述工作位上设有两个片篮；所述片篮位于红外灯下方。
[0012]进一步的，所述柱形外壳内还设有温度控制模块，相邻的两个所述红外灯连接同一个温度控制模块；所述温度控制模块的型号为CHB401
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[0013]进一步的，所述排风口通过风管连接排风设备。
[0014]进一步的，所述送风口的数量为四个，分别通过风管连接FFU风机过滤机组的四个出风口。
[0015]相对于现有技术，本技术具有以下优势：
[0016]采用FFU风机过滤机组送风，烘烤过程更洁净；多工位工作，可以放置更多的硅片片篮，烘烤效率更高；采用红外灯与转盘的组合，使烘烤效果更好。
附图说明
[0017]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0018]图1为本技术实施例所述的烘烤装置示意图；
[0019]图2为本技术实施例所述的烘烤装置内部结构示意图。
[0020]附图标记说明：
[0021]1、工作台；2、保温外壳；3、FFU风机过滤机组；4、排风口；5、送风口；6、风管；7、红外灯；701、双红外灯；8、片篮。
具体实施方式
[0022]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0023]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0026]如附图1和2所示，一种硅片红外烘烤装置，包括工作台1、转盘、FFU 风机过滤机组3、片篮8；
[0027]所述工作台1为三层结构，中间层设有与转盘对应的安装位，底层设有用于驱动转盘转动的驱动组件，上层用于安装FFU风机过滤机组3；
[0028]所述中间层还设有柱形外壳，转盘置于柱形外壳内；所述转盘上设有若干用于放置片篮8的工作位；
[0029]所述柱形外壳顶部中心向上延伸设有锥形结构，锥形结构顶部为排风口 4；所述柱形外壳顶部锥形结构四周设有若干送风口5，所述送风口5通过风管6连接FFU风机过滤机组3。
[0030]所述工作台1的中间层，与转盘工作位对应的位置设有L型灯架；所述 L型灯架上设有用于加热的红外灯7，采用红外线加热配合FFU风机过滤机组3更加清洁高效。
[0031]位于所述柱形外壳进出口位置的L型灯架上设有双红外灯7，使加热更均匀。
[0032]所述工作位共八个，每个所述工作位上设有两个片篮8；所述片篮8位于红外灯7下方。所述柱形外壳内还设有温度控制模块，相邻的两个所述红外灯7连接同一个温度控制模块；所述温度控制模块的型号为CHB401
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[0033]所述排风口4通过风管6连接排风设备，更便于气体的排出。
[0034]所述送风口5的数量为四个，分别通过风管6连接FFU风机过滤机组3 的四个出风口，环向吹风，使烘烤受热更加均匀，效果更好。
[0035]①
本设备适用五寸聚四氟花篮摆放方式如图所示，共八个工位，每个工位放两篮；
[0036]②
烘烤出入口：气动门保温、上部FFU送风、出口料盒检测装置；
[0037]③
红外烘烤：外部SUS304板有保温层，中部红外加热管控温，使用温度150℃左右，红外烘烤范围六个工位。其中进出口为双双红外灯7 (2*700W)单独温度控制，中间四个工位单灯(700W)，相邻两灯公用一个温度控制，备注：本方案中红外灯7采用U型管，直接出线方式，与设备电源连接方式为中间陶瓷块方式。控温，型号CHB401
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[0038]④
FFU送风：主FFU风机分出四个出风口，分别供给进出口各一个、烘烤部分一个；出料、待料区域上部为透明PC板，中间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片红外烘烤装置，其特征在于：包括工作台(1)、转盘、FFU风机过滤机组(3)、片篮(8)；所述工作台(1)为三层结构，中间层设有与转盘对应的安装位，底层设有用于驱动转盘转动的驱动组件，上层用于安装FFU风机过滤机组(3)；所述中间层还设有柱形外壳，转盘置于柱形外壳内；所述转盘上设有若干用于放置片篮(8)的工作位；所述柱形外壳顶部中心向上延伸设有锥形结构，锥形结构顶部为排风口(4)；所述柱形外壳顶部锥形结构四周设有若干送风口(5)，所述送风口(5)通过风管(6)连接FFU风机过滤机组(3)。2.根据权利要求1所述的一种硅片红外烘烤装置，其特征在于：所述工作台(1)的中间层，与转盘工作位对应的位置设有L型灯架；所述L型灯架上设有用于加热的红外灯(7)。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：初亚东，
申请(专利权)人：天津天物金佰微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：