【技术实现步骤摘要】
本技术涉及扩散源涂覆，尤其涉及一种扩散源涂覆装置。
技术介绍
1、根据中国专利网公开号cn205954152u,公开的一种扩散源涂覆装置，在涂覆操作中将样品固定在机台上，通过调节固定架上升降架的高度将支架上的喷嘴阵列调节到适合进行涂覆的高度，启动旋转机构的驱动机构，驱动机构带动传送件传送从而带动旋转轴旋转，旋转轴带动支架及设置在支架上的喷嘴阵列进行旋转，同时打开供液泵，供液泵通过供液管路向喷嘴阵列提供扩散源，扩散源从喷嘴的喷嘴滴头滴出到达样品表面，通过旋转将扩散源在样品表面平铺均匀，滴加完毕后，样品上各个位置的扩散源在样品表面扩散开来、均匀涂覆，但是在扩散涂装中，喷射到样品上扩散涂装时因反应室内的气流不均匀，不能根据需求进行调节到合适位置，改变气流的方向，从而导致沉积层厚度不均匀或出现缺陷，从而影响质量下降，所以需要一种扩散源涂覆装置。
技术实现思路
1、基于现有的技术问题，本技术提出了一种扩散源涂覆装置。
2、本技术提出的一种扩散源涂覆装置，包括支撑腿，所述支撑腿的顶部固定安装有反应桶，所述反应桶的内部设置有气流调节机构，所述气流调节机构实现所述反应桶进行扩散源涂覆操作时气流调节转换的动作；
3、所述反应桶的内底壁中心固定安装有旋转座，所述旋转座的上方放置有涂覆样品，所述涂覆样品通过旋转座顶端的旋转部件在扩散涂覆中以所述旋转座的轴心进行自转的动作。
4、优选地，所述反应桶的内顶壁固定安装有料管，所述料管的底端固定安装有喷嘴，所述喷嘴控制料管内部
5、优选地，所述气流调节机构包括圆形滑轨，所述圆形滑轨的安装表面与所述反应桶的内壁固定安装，所述涂覆样品位于所述圆形滑轨的中部。
6、优选地，所述圆形滑轨的内壁开设有环形滑槽，所述环形滑槽的内壁滑动插接有环形滑块，所述环形滑块侧表面呈半圆环形状，且所述环形滑块的两端内壁均固定安装有气流管，两个所述气流管的出气端相对应，且位于同一轴心上。
7、优选地，所述圆形滑轨的顶部固定安装有环形齿环，所述环形齿环的表面呈半圆环形状，所述环形齿环的两端均固定安装有限位块。
8、优选地，所述环形滑块的中心顶部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴通过联轴器固定安装有齿轮轴，所述齿轮轴的顶端固定安装有齿轮，所述齿轮的轮齿与所述环形齿环的齿槽啮合。
9、优选地，所述旋转座的底部固定端均开设有进气孔，所述进气孔的底端固定安装有气管，所述气管的底端固定安装有风机，所述进气孔的两侧内壁均固定安装有软性波纹管，所述软性波纹管的一端与所述气流管的进气端固定安装。
10、本技术中的有益效果为：
11、本装置在扩散涂覆操作中通过设置气流调节机构达到了涂覆扩散时，调整气流速度：将气流速度调整到合适的范围内，以保证混合充分，并且与扩散源、基底表面等的距离合适；根据反应室内气流情况和基底特性，改变气流方向，确保气流在反应室内能够均匀地流动，在整个基底表面形成稳定的气流层，从而降低沉积厚度不均匀造成的缺陷，进而提高了产品的质量。
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1.一种扩散源涂覆装置，包括支撑腿（1），其特征在于：所述支撑腿（1）的顶部固定安装有反应桶（2），所述反应桶（2）的内部设置有气流调节机构（3），所述气流调节机构（3）实现所述反应桶（2）进行扩散源涂覆操作时气流调节转换的动作；
2.根据权利要求1所述的一种扩散源涂覆装置，其特征在于：所述反应桶（2）的内顶壁固定安装有料管（6），所述料管（6）的底端固定安装有喷嘴（7），所述喷嘴（7）控制料管（6）内部的扩散源喷射到下方的涂覆样品（5）上方。
3.根据权利要求1所述的一种扩散源涂覆装置，其特征在于：所述气流调节机构（3）包括圆形滑轨（31），所述圆形滑轨（31）的安装表面与所述反应桶（2）的内壁固定安装，所述涂覆样品（5）位于所述圆形滑轨（31）的中部。
4.根据权利要求3所述的一种扩散源涂覆装置，其特征在于：所述圆形滑轨（31）的内壁开设有环形滑槽（32），所述环形滑槽（32）的内壁滑动插接有环形滑块（33），所述环形滑块（33）侧表面呈半圆环形状，且所述环形滑块（33）的两端内壁均固定安装有气流管（34），两个所述气流管（34）的出气端相
5.根据权利要求4所述的一种扩散源涂覆装置，其特征在于：所述圆形滑轨（31）的顶部固定安装有环形齿环（35），所述环形齿环（35）的表面呈半圆环形状，所述环形齿环（35）的两端均固定安装有限位块（36）。
6.根据权利要求5所述的一种扩散源涂覆装置，其特征在于：所述环形滑块（33）的中心顶部固定安装有驱动电机（37），所述驱动电机（37）的输出轴通过联轴器固定安装有齿轮轴（38），所述齿轮轴（38）的顶端固定安装有齿轮（39），所述齿轮（39）的轮齿与所述环形齿环（35）的齿槽啮合。
7.根据权利要求4所述的一种扩散源涂覆装置，其特征在于：所述旋转座（4）的底部固定端均开设有进气孔（310），所述进气孔（310）的底端固定安装有气管（311），所述气管（311）的底端固定安装有风机（312），所述进气孔（310）的两侧内壁均固定安装有软性波纹管（313），所述软性波纹管（313）的一端与所述气流管（34）的进气端固定安装。
...【技术特征摘要】
1.一种扩散源涂覆装置，包括支撑腿（1），其特征在于：所述支撑腿（1）的顶部固定安装有反应桶（2），所述反应桶（2）的内部设置有气流调节机构（3），所述气流调节机构（3）实现所述反应桶（2）进行扩散源涂覆操作时气流调节转换的动作；
2.根据权利要求1所述的一种扩散源涂覆装置，其特征在于：所述反应桶（2）的内顶壁固定安装有料管（6），所述料管（6）的底端固定安装有喷嘴（7），所述喷嘴（7）控制料管（6）内部的扩散源喷射到下方的涂覆样品（5）上方。
3.根据权利要求1所述的一种扩散源涂覆装置，其特征在于：所述气流调节机构（3）包括圆形滑轨（31），所述圆形滑轨（31）的安装表面与所述反应桶（2）的内壁固定安装，所述涂覆样品（5）位于所述圆形滑轨（31）的中部。
4.根据权利要求3所述的一种扩散源涂覆装置，其特征在于：所述圆形滑轨（31）的内壁开设有环形滑槽（32），所述环形滑槽（32）的内壁滑动插接有环形滑块（33），所述环形滑块（33）侧表面呈半圆环形状，且所述环形滑块（33）的两端内壁均固定安装有...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩春阳，
申请(专利权)人：天津天物金佰微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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