一种密封腔室开门装置及蒸镀设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种密封腔室开门装置及蒸镀设备。本实用新型专利技术提供的密封腔室开门装置，包括支撑板、第一电控驱动机构、门板和第二电控驱动机构，门板与密封腔室的开口相匹配。第一电控驱动机构包括直线驱动器，直线驱动器固定在支撑板上，直线驱动器的输出端与门板固定连接，且能够驱动门板沿垂直于密封腔室的开口所在平面的方向移动；第二电控驱动机构用于驱动支撑板带动门板沿平行于密封腔室的开口所在平面的方向移动，从而实现门板的全自动化控制，无需手动操作，开关门方便。本实用新型专利技术提供的蒸镀设备通过应用上述密封腔室开门装置，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种密封腔室开门装置及蒸镀设备
本技术涉及蒸镀设备
，尤其涉及一种密封腔室开门装置及蒸镀设备。
技术介绍
现有蒸镀设备密封腔室的开门方式一般采用机械式开门装置，多采用铰链或弹压装置固定并压合门板。然而，现有的开门装置无法实现全自动开门，仍需要操作者手动操作，而当操作者在佩戴手套箱上的手套时，开启门较为困难。因此，亟待需要一种密封腔室开门装置以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的一个目的在于提供一种密封腔室开门装置，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性。本技术的另一个目的在于提供一种蒸镀设备，通过应用上述密封腔室开门装置，能够实现全自动化开门，无需手动操作，提高操作便捷性。为实现上述目的，提供以下技术方案：一方面，提供了一种密封腔室开门装置，包括：支撑板；第一电控驱动机构，包括直线驱动器，所述直线驱动器固定在所述支撑板上；门板，与密封腔室的开口相匹配，且所述门板与所述直线驱动器的输出端固定连接，所述直线驱动器能够驱动所述门板沿垂直于所述密封腔室的开口所在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种密封腔室开门装置，其特征在于，包括：/n支撑板(1)；/n第一电控驱动机构(2)，包括直线驱动器(21)，所述直线驱动器(21)固定在所述支撑板(1)上；/n门板(3)，与密封腔室(100)的开口相匹配，且所述门板(3)与所述直线驱动器(21)的输出端固定连接，所述直线驱动器(21)能够驱动所述门板(3)沿垂直于所述密封腔室(100)的开口所在平面的方向移动；/n第二电控驱动机构(4)，用于驱动所述支撑板(1)带动所述门板(3)沿平行于所述密封腔室(100)的开口所在平面的方向移动。/n

【技术特征摘要】
1.一种密封腔室开门装置，其特征在于，包括：
支撑板(1)；
第一电控驱动机构(2)，包括直线驱动器(21)，所述直线驱动器(21)固定在所述支撑板(1)上；
门板(3)，与密封腔室(100)的开口相匹配，且所述门板(3)与所述直线驱动器(21)的输出端固定连接，所述直线驱动器(21)能够驱动所述门板(3)沿垂直于所述密封腔室(100)的开口所在平面的方向移动；
第二电控驱动机构(4)，用于驱动所述支撑板(1)带动所述门板(3)沿平行于所述密封腔室(100)的开口所在平面的方向移动。


2.根据权利要求1所述的密封腔室开门装置，其特征在于，所述第二电控驱动机构(4)包括电机(41)、丝杠(42)和丝杠螺母(43)，所述电机(41)和所述丝杠(42)均设置在所述密封腔室(100)的门框上，所述丝杠(42)平行于所述密封腔室(100)的开口所在平面，所述丝杠螺母(43)与所述丝杠(42)螺纹配合，且所述丝杠螺母(43)与所述支撑板(1)固定连接，所述电机(41)能够驱动所述丝杠(42)转动，以使所述支撑板(1)沿所述丝杠(42)移动。


3.根据权利要求2所述的密封腔室开门装置，其特征在于，所述第二电控驱动机构(4)还包括导向组件(44)，所述导向组件(44)包括滑动配合的导轨(441)和滑块(442)，所述导轨(441)固定在所述密封腔室(100)的门框上，所述滑块(442)固...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈晓，陈敏，武启飞，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32