一种镀膜设备用加热腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镀膜设备用加热腔体，涉及电加热技术领域。本实用新型专利技术包括主体，主体内部设有内腔，内腔内部设有第一腔室、第二腔室、第三腔室、第一真空器、第一真空器、旋转器和电动收缩器，第一腔室内部设有加热器，第二腔室内部设有收缩门和放置门，第三腔室内部设有固定导轨和放料口，旋转器与第二腔室相连接，电动收缩器与收缩门相连接，主体表面设有温度显示器、第一膜厚仪显示器和第二膜厚仪显示器。所以，通过设置第一腔室、加热器、旋转器、第二腔室、温度显示器、第一膜厚仪显示器和第二膜厚仪显示器，达到均匀受热，均匀覆盖和对成膜覆盖的情况的了解，达到随时调整的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备用加热腔体
本技术属于电加热
，特别是涉及一种镀膜设备用加热腔体。
技术介绍
在真空室中，加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸气流，入射到固体表面，凝结形成固态薄膜的方法，叫做真空蒸发镀膜法。由于真空蒸发法或真空蒸镀法主要物理过程是通过加热蒸发材料而产生，所以又称为热蒸发法。其设备比较简单、操作容易，制成的薄膜纯度高、质量好，厚度可较准确控制，成膜速率快、效率高，薄膜的生长机理比较单纯。在热蒸发法镀膜中，根据蒸发源形状的不同，通常有点蒸发源、线蒸发源、面蒸发源等蒸发源模式。这些模式在理想情况下，都有其各自的优点，但是在实情况下，却有很多的不足之处。热蒸发法中，加热器为核心功能，而其加热的均匀性就直接影响了镀膜材料的蒸发速率，乃至影响了整体成膜的质量。所以，在这些蒸发源模式中，实际情况下，只有点蒸发源是能保证绝对的加热温度均匀性，因为其就是一个点加热。其他的线、面蒸发源都会因为或者多点加热或者热量散失等原因，造成镀膜材料受热不均匀，反映在最终成膜上就是均匀性很差。而要着手于改进多点加热不均、热量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜设备用加热腔体，包括主体（1），其特征在于：所述主体（1）内部设有内腔（2），所述主体（1）外表面设有支撑柱（101）；/n所述内腔（2）内设有第一腔室（3）、第二腔室（4）和第三腔室（5），所述第一腔室（3）设有若干不同功率加热器（301）和温度器（302），所述加热器（301）均匀分布在第一腔室（3）内表面，所述第二腔室（4）与第一腔室（3）通过传导板（401）连接，所述第二腔室（4）设有放置门（402）和收缩门（403），所述放置门（402）与主体（1）外表面相通，所述收缩门（403）一表面设置有第一膜厚仪（405），所述第二腔室（4）一表面设有若干阵列的贯穿孔（404）和沉...

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备用加热腔体，包括主体（1），其特征在于：所述主体（1）内部设有内腔（2），所述主体（1）外表面设有支撑柱（101）；
所述内腔（2）内设有第一腔室（3）、第二腔室（4）和第三腔室（5），所述第一腔室（3）设有若干不同功率加热器（301）和温度器（302），所述加热器（301）均匀分布在第一腔室（3）内表面，所述第二腔室（4）与第一腔室（3）通过传导板（401）连接，所述第二腔室（4）设有放置门（402）和收缩门（403），所述放置门（402）与主体（1）外表面相通，所述收缩门（403）一表面设置有第一膜厚仪（405），所述第二腔室（4）一表面设有若干阵列的贯穿孔（404）和沉积窗口（406），所述沉积窗口（406）内部设有第二膜厚仪（407），所述第三腔室（5）内部设有固定导轨（501），所述第三腔室（5）内表面设有放料口（502），所述放料口（502）与主体（1）外表面相通；
所述内腔（2）内设有第一真空器（201）、第二真空器（202）、旋转器（203）、电动收缩器（204），所述第一真空器（201）位于第二腔室（4）内部，所述第二真空器（202）位于第三腔室（5）内部，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾宇，
申请(专利权)人：视睿光学科技东莞有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44