一种镀膜设备中的加热传感装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种镀膜设备中的加热传感装置，涉及镀膜技术领域，本实用新型专利技术包括工作台、加热装置、水箱以及镀膜反应釜，工作台一表面与加热装置下表面焊接，加热装置包括加热装置本体、支撑架以及绝缘柱，若干支撑架一端均与加热装置本体下表面连接，绝缘柱周侧面与支撑架一表面焊接，加热装置一表面与水箱一侧表面连接，水箱包括水箱本体、进水管以及第一控制阀门，进水管一端与水箱本体一侧表面连接，第一控制阀门安装于进水管周侧面，水箱一表面设有安装槽，镀膜反应釜下表面与安装槽连接，本实用新型专利技术中，通过交频电磁感应控制箱的设置，使得能够将交流电压变成直流电压然后在变成高频交流电压，从而实现感应加热。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备中的加热传感装置
本技术涉及镀膜
，特别涉及一种镀膜设备中的加热传感装置。
技术介绍
常见的镀膜的方式可分为物理气相沉积与化学气相沉积，物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，物理气相沉积的主要方法有，真空蒸镀、离子镀膜、电弧等离子体镀以及分子束外延等，化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，而镀膜工作过程中提供热量的便是加热传感装置。目前，现有的加热传感装置一般为电阻式加热，但是这种加热方式存在较多缺点，容易出现加热不均匀，而且电阻丝加热过程中电阻发生变化，工作效率变低，因此，需要一种镀膜设备中的加热传感装置。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种镀膜设备中的加热传感装置，可以有效解决现有加热传感装置一般为电阻式加热，但是这种加热方式存在较多缺点，容易出现加热不均匀，而且电阻丝加热过程中电阻发生变化，工作效率变低等问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种镀膜设备中的加热传感装置，包括工作台、加热装置、水箱以及镀膜反应釜，所述工作台一表面与加热装置下表面焊接，所述加热装置包括加热装置本体、支撑架以及绝缘柱，若干所述支撑架一端均与加热装置本体下表面连接，所述绝缘柱周侧面与支撑架一表面焊接，所述加热装置一表面与水箱一侧表面连接，所述水箱包括水箱本体、进水管以及第一控制阀门，所述进水管一端与水箱本体一侧表面连接，所述第一控制阀门安装于进水管周侧面，所述水箱一表面设有安装槽，所述镀膜反应釜下表面与安装槽连接。优选地，所述工作台包括工作台本体、交频电磁感应控制箱、电线管以及支撑柱，所述交频电磁感应控制箱一表面与工作台本体上表面连接，若干所述支撑柱一端均与工作台本体上表面焊接，所述电线管一端与交频电磁感应控制箱连接，所述电线管另一端与加热装置本体一表面连接，交频电磁感应控制箱的设置，使得能够将交流电压变成直流电压然后在变成高频交流电压，从而实现感应加热。优选地，所述加热装置还包括高频电线以及导热金属棒，所述高频电线与导热金属棒周侧面连接，导热金属棒的设置，能够将感应电流产生的热量通过导体传输到水箱中，为反应提供能量。优选地，所述水箱还包括出水管以及第二控制阀门，所述出水管一端与水箱本体一侧表面连接，所述第二控制阀门安装于出水管周侧面，能够实现进排水的操作。优选地，所述镀膜反应釜包括镀膜反应釜本体以及气态原料进气管，所述气态原料进气管一端与镀膜反应釜本体上表面连接，气态原料进气管的设置，使得原料通过管道进入设备，密封性良好，有利于提高镀膜的纯度质量。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：1.本技术中，通过交频电磁感应控制箱的设置，使得能够将交流电压变成直流电压然后在变成高频交流电压，从而实现感应加热。2.本技术中，通过导热金属棒的设置，能够将感应电流产生的热量通过导体传输到水箱中，为反应提供能量。3.本技术中，通过气态原料进气管的设置，使得原料通过管道进入设备，密封性良好，有利于提高镀膜的纯度质量。附图说明图1为本技术一种镀膜设备中的加热传感装置的整体结构示意图；图2为本技术一种镀膜设备中的加热传感装置侧视结构示意图；图3为本技术一种镀膜设备中的加热传感装置正视结构示意图；图4为本实用图2中A-A处剖面结构示意图。图中：110、工作台；111、交频电磁感应控制箱；112、电线管；113、支撑柱；120、加热装置；121、支撑架；122、高频电线；123、绝缘柱；124、导热金属棒；130、水箱；131、进水管；132、第一控制阀门；133、出水管；134、第二控制阀门；140、镀膜反应釜；141、气态原料进气管。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例一：请参照图1—4所示，本技术为一种镀膜设备中的加热传感装置，包括工作台110、加热装置120、水箱130以及镀膜反应釜140，工作台110一表面与加热装置120下表面焊接，加热装置120包括加热装置本体、支撑架121以及绝缘柱123，若干支撑架121一端均与加热装置本体下表面连接，绝缘柱123周侧面与支撑架121一表面焊接，加热装置120一表面与水箱130一侧表面连接，水箱130包括水箱本体、进水管131以及第一控制阀门132，进水管131一端与水箱本体一侧表面连接，第一控制阀门132安装于进水管131周侧面，水箱130一表面设有安装槽，镀膜反应釜140下表面与安装槽连接。进一步地，工作台110包括工作台本体、交频电磁感应控制箱111、电线管112以及支撑柱113，交频电磁感应控制箱111一表面与工作台本体上表面连接，若干支撑柱113一端均与工作台本体上表面焊接，电线管112一端与交频电磁感应控制箱111连接，电线管112另一端与加热装置本体一表面连接，交频电磁感应控制箱111的设置，使得能够将交流电压变成直流电压然后在变成高频交流电压，从而实现感应加热。进一步地，加热装置120还包括高频电线122以及导热金属棒124，高频电线122与导热金属棒124周侧面连接，导热金属棒124的设置，能够将感应电流产生的热量通过导体传输到水箱130中，为反应提供能量。进一步地，水箱130还包括出水管133以及第二控制阀门134，出水管133一端与水箱本体一侧表面连接，第二控制阀门134安装于出水管133周侧面，能够实现进排水的操作。进一步地，镀膜反应釜140包括镀膜反应釜本体以及气态原料进气管141，气态原料进气管141一端与镀膜反应釜本体上表面连接，气态原料进气管141的设置，使得原料通过管道进入设备，密封性良好，有利于提高镀膜的纯度质量。实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜设备中的加热传感装置，包括工作台（110）、加热装置（120）、水箱（130）以及镀膜反应釜（140），其特征在于：所述工作台（110）一表面与加热装置（120）下表面焊接，所述加热装置（120）包括加热装置本体、支撑架（121）以及绝缘柱（123），若干所述支撑架（121）一端均与加热装置本体下表面连接，所述绝缘柱（123）周侧面与支撑架（121）一表面焊接，所述加热装置（120）一表面与水箱（130）一侧表面连接，所述水箱（130）包括水箱本体、进水管（131）以及第一控制阀门（132），所述进水管（131）一端与水箱本体一侧表面连接，所述第一控制阀门（132）安装于进水管（131）周侧面，所述水箱（130）一表面设有安装槽，所述镀膜反应釜（140）下表面与安装槽连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备中的加热传感装置，包括工作台（110）、加热装置（120）、水箱（130）以及镀膜反应釜（140），其特征在于：所述工作台（110）一表面与加热装置（120）下表面焊接，所述加热装置（120）包括加热装置本体、支撑架（121）以及绝缘柱（123），若干所述支撑架（121）一端均与加热装置本体下表面连接，所述绝缘柱（123）周侧面与支撑架（121）一表面焊接，所述加热装置（120）一表面与水箱（130）一侧表面连接，所述水箱（130）包括水箱本体、进水管（131）以及第一控制阀门（132），所述进水管（131）一端与水箱本体一侧表面连接，所述第一控制阀门（132）安装于进水管（131）周侧面，所述水箱（130）一表面设有安装槽，所述镀膜反应釜（140）下表面与安装槽连接。


2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备中的加热传感装置，其特征在于：所述工作台（110）包括工作台本体、交频电磁感应控制箱（111）、电线管（112）以及支撑柱（113），所述交频电磁感应控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾宇，
申请(专利权)人：视睿光学科技东莞有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44