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本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种密封腔室开门装置及蒸镀设备。本实用新型提供的密封腔室开门装置，包括支撑板、第一电控驱动机构、门板和第二电控驱动机构，门板与密封腔室的开口相匹配。第一电控驱动机构包括直线驱动器，直线驱动器固定在支撑...
该专利属于江苏集萃有机光电技术研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集萃有机光电技术研究所有限公司授权不得商用。

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