一种基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统。所述基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统包括工作台、安装盒和显示屏，所述工作台的顶部固定连接有底盒，所述底盒顶部的两侧均固定连接有支撑柱。本实用新型专利技术提供的基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统，通过调节杆转动转轴，转轴通过主动轮带动第一从动轮，从而长杆转动，长杆通过第二从动轮带动两个第三从动轮，从而两个安装杆转动，两个安装杆分别通过两个下皮带轮外表面的皮带带动两个转杆，转杆带动转板转动，转板通过滑块带动弧形板上下移动，从而安装盒转动，以此调节显示屏的角度以便工作人员观察数据，提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统
本技术涉及单晶硅外延片检测领域，尤其涉及一种基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统。
技术介绍
硅外延片在硅单晶衬底上沿其原来的晶向再生长一层硅单晶薄膜的半导体硅材料，严格的说是在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N+)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+)的同质硅外延片，产品用于制作半导体器件。单晶硅外延片在生产过程中，需要对生产出的外延片的厚度进行检测，作为判断外延片是否符合生产要求，目前大多使用红外线对其厚度进行检测，红外线检测出的厚度通过显示屏显示出数据以供工作人员观察，但是，显示屏大多是固定角度安装的，有时光线角度会影响显示屏上的数据观察，工作人员无法调节显示屏角度进行数据观察，一定程度上造成工作人员工作的不便，降低工作效率。因此，有必要提供一种基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统，解决了光线角度影响显示屏上的数据时，工作人员无法调节显示屏角度进行观察，一定程度上降低工作效率的问题。为解决上述技术问题，本技术提供的基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统包括工作台、安装盒和显示屏，所述工作台的顶部固定连接有底盒，所述底盒顶部的两侧均固定连接有支撑柱，两个所述支撑柱的顶部均固定连接有固定块，两个所述支撑柱与两个所述固定块的内部均为中间结构，两个所述固定块的内部均设置有旋转装置，所述旋转装置包括两个连接杆、第一支撑板和第二支撑板，两个所述连接杆的一端均固定连接有弧形连接柱，两个所述弧形连接柱相对的一侧之间固定连接有横杆，两个所述弧形连接柱的一端之间固定连接有弧形板，所述弧形板的内部设置有通槽，所述通槽的内部滑动连接有滑块，所述第一支撑板与所述第二支撑板相对的一侧之间转动连接有转杆，所述转杆的一端贯穿所述第一支撑板并延伸至所述第一支撑板的正面，所述转杆延伸至所述第一支撑板正面的一端固定连接有转板，所述转杆的外表面固定连接有上皮带轮；两个支撑柱与两个固定块的连接处连通，两个固定块均为球状，旋转装置中的两个连接杆分别转动连接在固定块内壁的两侧，第一支撑板和第二支撑板均固定连接在固定块内壁的底部，转板的正面与滑块的背面转动连接，安装盒通过其两侧的安装轴转动连接在两个固定块相对的一侧之间，两个安装轴分别贯穿两个固定块并延伸至两个固定块的内部与其中一个连接杆的一端转动连接。优选的，所述底盒内壁的正面和背面之间转动连接有两个安装杆，两个所述安装杆的外表面均固定连接有下皮带轮，两个所述安装杆的外表面均固定连接有第三从动轮，两个安装杆分别位于两个支撑柱的底部，两个下皮带轮分别与两个位于其顶部的上皮带轮的外表面之间连接有皮带。优选的，所述底盒内壁的底部通过两个固定板转动连接有长杆，所述长杆的两端均固定连接有第二从动轮，所述长杆的外表面固定连接有第一从动轮，所述底盒内壁的正面转动连接有转轴，所述转轴的一端固定连接有主动轮，所述转轴的一端贯穿所述底盒并延伸至所述底盒的正面，两个第二从动轮分别与两个第三从动轮啮合，主动轮与第一从动轮啮合。优选的，所述转轴延伸至所述底盒正面的一端固定连接有调节杆，所述转轴的外表面固定连接有多孔圆盘，所述底盒的正面固定连接有固定板，所述固定板的顶部螺纹连接有丝杆，所述丝杆的一端贯穿所述固定板并延伸至所述固定板的底部，多孔圆盘位于调节杆的背面，多孔圆盘外表面的一圈设置有若干个插孔，固定板位于转轴的顶部，丝杆与固定板的贯穿处为螺纹连接。优选的，所述安装盒的正面设置有放置槽，所述安装盒内壁的正面和背面之间固定连接有两个挡板，所述安装盒内壁的正面和背面之间固定连接有隔板，所述安装盒内壁的两侧均设置有若干个复位弹簧，所述安装盒内壁的顶部和底部之间滑动连接有两个滑板，两个所述滑板相对的一侧均固定连接有若干个安装柱，两个滑板分别处于两个挡板相离的一侧，复位弹簧的一端固定连接于安装盒内壁的一侧，两个滑板上的安装柱分别贯穿两个挡板并延伸至两个挡板相对的一侧，安装柱与挡板的贯穿处为滑动连接，背板放置在放置槽内部，安装柱卡入背板两侧对应的方槽中将显示屏固定。优选的，两个所述滑板相对的一侧均固定连接有直杆，四个所述直杆的一端均转动连接有推杆，所述安装盒的背面滑动连接有两个调节板，两个所述调节板相离的一侧均固定连接有竖杆，两个所述竖杆的一端均固定连接有安装板，两个所述调节板相对的一侧之间设置有强力弹簧，两个直杆分别在两个隔板相离的一侧，安装盒的顶部和底部均设置有长通槽，位于上方隔板顶部的两个推杆的一端均贯穿安装盒顶部的长通槽并与上方的安装板的底部转动连接，位于下方隔板底部的两个推杆的一端均贯穿安装盒底部的长通槽并与底部的安装板的顶部转动连接。优选的，所述显示屏的背面固定连接有背板，所述工作台的顶部设置有传送带，所述工作台的顶部固定连接有支撑架，所述支撑架的底部固定连接有红外线测量仪，背板的两侧均设置有与安装柱相对应且吻合的方槽。与相关技术相比较，本技术提供的基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统具有如下有益效果：(1)、本技术提供一种基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统，通过调节杆转动转轴，转轴通过主动轮带动第一从动轮，从而长杆转动，长杆通过第二从动轮带动两个第三从动轮，从而两个安装杆转动，两个安装杆分别通过两个下皮带轮外表面的皮带带动两个转杆，转杆带动转板转动，转板通过滑块带动弧形板上下移动，弧形板通过弧形连接柱带动连接杆转动，从而安装盒转动，以此调节显示屏的角度以便工作人员观察数据，提高工作效率；(2)、本技术提供一种基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统，将两个调节板向相对的一侧捏紧，两个调节板将强力弹簧挤压并带动两个竖杆向相对的一端移动，从而带动两个安装板逐渐向安装盒的顶部和底部靠近，进而将与其连接的两个推杆向安装盒的内部推动，两个推杆推动两个滑板逐渐远离，两个滑板将复位弹簧挤压，并带动安装柱从背板两侧的方槽中脱离，便于对显示屏的拆装和维修。附图说明图1为本技术提供的基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示底盒以及其顶部结构的右视的内部结构示意图；图3为图1所示A的放大示意图；图4为图1所示旋转装置中局部结构的三维结构示意图。图中标号：1、工作台；2、安装盒；3、显示屏；4、底盒；5、支撑柱；6、固定块；7、旋转装置；71、连接杆；72、第一支撑板；73、第二支撑板；74、弧形连接柱；75、横杆；76、弧形板；77、通槽；78、滑块；79、转杆；710、转板；711、上皮带轮；8、安装杆；9、下皮带轮；10、第三从动轮；11、长杆；12、第二从动轮；13、第一从动轮；14、转轴；15、主动轮；16、调节杆；17、多孔圆盘；18、固定板；19、丝杆；20、放置槽；21、挡板；22、隔板；23、复位弹簧；24、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统，包括工作台(1)、安装盒(2)和显示屏(3)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部固定连接有底盒(4)，所述底盒(4)顶部的两侧均固定连接有支撑柱(5)，两个所述支撑柱(5)的顶部均固定连接有固定块(6)，两个所述支撑柱(5)与两个所述固定块(6)的内部均为中间结构，两个所述固定块(6)的内部均设置有旋转装置(7)，所述旋转装置(7)包括两个连接杆(71)、第一支撑板(72)和第二支撑板(73)，两个所述连接杆(71)的一端均固定连接有弧形连接柱(74)，两个所述弧形连接柱(74)相对的一侧之间固定连接有横杆(75)，两个所述弧形连接柱(74)的一端之间固定连接有弧形板(76)，所述弧形板(76)的内部设置有通槽(77)，所述通槽(77)的内部滑动连接有滑块(78)，所述第一支撑板(72)与所述第二支撑板(73)相对的一侧之间转动连接有转杆(79)，所述转杆(79)的一端贯穿所述第一支撑板(72)并延伸至所述第一支撑板(72)的正面，所述转杆(79)延伸至所述第一支撑板(72)正面的一端固定连接有转板(710)，所述转杆(79)的外表面固定连接有上皮带轮(711)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统，包括工作台(1)、安装盒(2)和显示屏(3)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部固定连接有底盒(4)，所述底盒(4)顶部的两侧均固定连接有支撑柱(5)，两个所述支撑柱(5)的顶部均固定连接有固定块(6)，两个所述支撑柱(5)与两个所述固定块(6)的内部均为中间结构，两个所述固定块(6)的内部均设置有旋转装置(7)，所述旋转装置(7)包括两个连接杆(71)、第一支撑板(72)和第二支撑板(73)，两个所述连接杆(71)的一端均固定连接有弧形连接柱(74)，两个所述弧形连接柱(74)相对的一侧之间固定连接有横杆(75)，两个所述弧形连接柱(74)的一端之间固定连接有弧形板(76)，所述弧形板(76)的内部设置有通槽(77)，所述通槽(77)的内部滑动连接有滑块(78)，所述第一支撑板(72)与所述第二支撑板(73)相对的一侧之间转动连接有转杆(79)，所述转杆(79)的一端贯穿所述第一支撑板(72)并延伸至所述第一支撑板(72)的正面，所述转杆(79)延伸至所述第一支撑板(72)正面的一端固定连接有转板(710)，所述转杆(79)的外表面固定连接有上皮带轮(711)。


2.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统，其特征在于，所述底盒(4)内壁的正面和背面之间转动连接有两个安装杆(8)，两个所述安装杆(8)的外表面均固定连接有下皮带轮(9)，两个所述安装杆(8)的外表面均固定连接有第三从动轮(10)。


3.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片检测用红外线磊晶厚度测量系统，其特征在于，所述底盒(4)内壁的底部通过两个固定板转动连接有长杆(11)，所述长杆(11)的两端均固定连接有第二从动轮(12)，所述长杆(11)的外表面固定连接有第一从动轮(13)，所述底盒(4)内壁的正面转动连接有转轴(14)，所述转轴(14)的一端固定连接有主动轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：付瑞琦，邓斌，
申请(专利权)人：四川雅吉芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51