一种靶材侧边自动抛光装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种靶材侧边自动抛光装置及其使用方法，所述抛光装置包括打磨平台、打磨机器人、机器人地轨、电路控制柜以及工具平台；所述打磨平台有两个，平行设置于所述机器人地轨的两侧；所述电路控制柜位于两个打磨平台之间，且设置于所述机器人地轨的任意一端；所述工具平台设置于所述电路控制柜上；所述打磨机器人放置于所述机器人地轨上；所述打磨机器人包括主体与机械臂，所述机械臂的前端设置有夹孔，所述夹孔中连接有打磨头；所述打磨平台上放置有靶材；所述抛光装置通过多种结构的优化设计，实现了对靶材侧边的自动抛光功能，且使用方法简单，明显提高生产效率以及产品合格率，具有较好的工业应用前景。具有较好的工业应用前景。具有较好的工业应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材侧边自动抛光装置及其使用方法


[0001]本专利技术属于靶材制备
，具体涉及一种靶材侧边自动抛光装置及其使用方法。

技术介绍

[0002]如今液晶显示(LCD)技术已经广泛应用到生活中，国内也有很多LCD产品的生产厂商。但是，生产使用的LCD靶材仍然需要进口，LCD靶材的自动化加工方法也掌握在他人手中，特别是LCD靶材的表面处理技术，人员加工进度缓慢，且品质难以得到稳定的保障。
[0003]目前LCD靶材的主面上的杂质、异物主要通过抛光机进行抛光去除，但是，LCD靶材侧面上的异物、氧化物、非靶材一体物质的去除，主要通过使用手工砂纸或气动抛光机，砂纸抛光铜锈难去除，效率低，且直接用砂纸或气动抛光机抛光，每枚产品在线加工时间2小时左右，粗糙度不稳定，波动性大，从而导致品质不稳定，难以满足当前生产总量及品质需求。
[0004]CN110877235A公开了一种靶材背板表面的抛光处理方法，所述方法通过将靶材组件倒置在磁力抛光装置中，靶材背板朝上，进行磁力抛光处理，不仅抛光效率高，抛光后靶材背板表面的抛光纹路均匀无序，靶材背板不易生锈，而且能够将靶材背板上孔的孔内锈迹和毛刺去除干净，较好地满足了溅射靶材背板的需求，具有较高的工业应用价值。该专利技术对靶材的背板表面进行的抛光，但是对靶材的侧面抛光效果不好，粗糙度的稳定性欠佳。
[0005]CN111775030A公开了一种LCD平面靶材侧边抛光工艺，该工艺包括如下步骤：将IPA液涂于百洁布上，对LCD平面靶材的侧边进行抛光。该工艺仍需人工进行作业，浪费人力，且生产效率较低，粗糙度不稳定。
[0006]综上所述，如何提供一种靶材侧边的自动抛光工艺代替人工作业，提高生产效率以及产品的合格率，成为当前亟待解决的问题。

技术实现思路

[0007]针对现有技术存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种靶材侧边自动抛光装置及其使用方法，所述抛光装置通过多种结构的优化设计，实现了对靶材侧边的自动抛光功能，且使用方法简单，明显提高生产效率以及产品通过率，具有较好的工业应用前景。
[0008]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0009]一方面，本专利技术提供了一种靶材侧边自动抛光装置，所述抛光装置包括打磨平台、打磨机器人、机器人地轨、电路控制柜以及工具平台；
[0010]所述打磨平台有两个，平行设置于所述机器人地轨的两侧；所述电路控制柜位于两个打磨平台之间，且设置于所述机器人地轨的任意一端；所述工具平台设置于所述电路控制柜上；所述打磨机器人放置于所述机器人地轨上；所述打磨机器人包括主体与机械臂，所述机械臂的前端设置有夹孔，所述夹孔中连接有打磨头；
[0011]所述打磨平台上放置有靶材。
[0012]本专利技术中，所述抛光装置通过对多种功能结构的优化设计，使该装置实现对靶材侧边自动抛光的功能；所述抛光装置通过机器人地轨的设置有利于打磨机器人的水平移动；通过工具平台的设置减少了更换耗材的时间，提高生产效率；同时打磨平台与机器人地轨之间具有一定的空间，形成了人工检修通道，便于对装置的维护与修理；所述抛光装置代替了人工操作，提高了粗糙度的稳定性与生产效率，有利于规模化应用于生产。
[0013]本专利技术中，所述抛光装置设置有两个打磨平台，打磨机器人可进行交互打磨，减少了因上下料需等待的时间，即：打磨一侧的靶材的同时，另一侧靶材进行下料与上料，极大地提升了抛光效率。
[0014]本专利技术中，整个装置的运行通过电路控制柜控制。
[0015]本专利技术中，仅对靶材主体的侧边进行打磨。
[0016]以下作为本专利技术优选的技术方案，但不作为本专利技术提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本专利技术的技术目的和有益效果。
[0017]作为本专利技术优选的技术方案，所述打磨平台靠近所述机器人地轨的长边一侧设置有气动吸盘，每个打磨平台设置的气动吸盘不少于5个，例如5个、6个、7个、8个、9个或10个等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0018]本专利技术中，气动吸盘吸住靶材背板的侧边，其设计可有效固定靶材，并且避免损坏靶材，提升产品合格率。
[0019]作为本专利技术优选的技术方案，所述打磨平台远离所述电路控制柜的短边一侧设置有平行于短边的定位块。
[0020]优选地，所述打磨平台设置有定位块一端的内侧长边对称设置有安全光栅。
[0021]本专利技术中，安全光栅的设置可防止打磨头因转速过高导致脱落飞出伤人。
[0022]作为本专利技术优选的技术方案，每个所述打磨平台的中间部位均设置有两个凹槽。
[0023]本专利技术中，凹槽的设置用于叉车上下料，避免人工搬运损坏产品，同时提升效率。
[0024]作为本专利技术优选的技术方案，所述工具平台包括备用打磨头收纳区和报废打磨头收纳区。
[0025]作为本专利技术优选的技术方案，所述打磨头包括主轴与打磨片。
[0026]优选地，所述打磨片的材质包括白刚玉或氧化铝。
[0027]优选地，所述打磨片至少为15片，例如15片、17片、20片、22片、25片或30片等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0028]优选地，所述打磨片的一侧与主轴相连，整体呈圆柱状。
[0029]本专利技术中，没片打磨片的一侧均与主轴相连，所有打磨片在主轴外侧围成一圈，形成圆柱状。
[0030]作为本专利技术优选的技术方案，所述靶材包括靶材主体和靶材背板。
[0031]优选地，靶材包括LCD用平面靶材。
[0032]优选地，所述LCD用平面靶材为分体型靶材。
[0033]优选地，所述LCD用平面靶材包括G10.5系列靶材。
[0034]优选地，所述G10.5系列靶材包括铜靶材。
[0035]另一方面，本专利技术提供了上述抛光装置的使用方法，所述使用方法包括以下步骤：
[0036]将靶材放置于打磨平台上，将打磨头装入机械臂的夹孔中，启动打磨机器人控制
机械臂，使打磨头贴紧靶材侧边，然后沿侧边打磨一圈，完成抛光。
[0037]本专利技术中，所述抛光装置的使用方法简单便捷，降低了人工成本以及产品损坏的风险，同时极大地提高了工作效率，有利于工业化应用。
[0038]作为本专利技术优选的技术方案，所述靶材以溅射面朝上的方式放置于工作台上。
[0039]优选地，所述靶材通过侧边的气动吸盘固定。
[0040]优选地，所述夹孔的夹力为9.5～10.5kg，例如9.5kg、9.6kg、9.7kg、9.8kg、9.9kg、10kg、10.1kg、10.2kg、10.3kg、10.4kg或10.5kg等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0041]优选地，所述打磨过程中的下压力为0.9～1.1kg，例如0.9kg、1kg或1.1kg等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材侧边自动抛光装置，其特征在于，所述抛光装置包括打磨平台、打磨机器人、机器人地轨、电路控制柜以及工具平台；所述打磨平台有两个，平行设置于所述机器人地轨的两侧；所述电路控制柜位于两个打磨平台之间，且设置于所述机器人地轨的任意一端；所述工具平台设置于所述电路控制柜上；所述打磨机器人放置于所述机器人地轨上；所述打磨机器人包括主体与机械臂，所述机械臂的前端设置有夹孔，所述夹孔中连接有打磨头；所述打磨平台上放置有靶材。2.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述打磨平台靠近所述机器人地轨的长边一侧设置有气动吸盘，每个打磨平台设置的气动吸盘不少于5个。3.根据权利要求1或2所述的抛光装置，其特征在于，所述打磨平台远离所述电路控制柜的短边一侧设置有平行于短边的定位块；优选地，所述打磨平台设置有定位块一端的内侧长边对称设置有安全光栅。4.根据权利要求1
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3任一项所述的抛光装置，其特征在于，每个所述打磨平台的中间部位均设置有两个凹槽。5.根据权利要求1
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4任一项所述的抛光装置，其特征在于，所述工具平台包括备用打磨头收纳区和报废打磨头收纳区。6.根据权利要求1
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5任一项所述的抛光装置，其特征在于，所述打磨头包括主轴与打磨片；优选地，所述打磨片的材质包括白刚玉或氧化铝；优选地，所述打磨片至少为15片；优选地，...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，窦兴贤，王学泽，王青松，刘明健，
申请(专利权)人：合肥江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：