一种靶材喷砂遮蔽板制造技术

本实用新型专利技术涉及一种靶材喷砂遮蔽板，所述靶材喷砂遮蔽板为平面板材；所述靶材喷砂遮蔽板的侧面为斜面；所述斜面的表面上设置有交替凹槽和花纹；所述凹槽的深度为所述靶材喷砂遮蔽板厚度的5

【技术实现步骤摘要】
一种靶材喷砂遮蔽板


[0001]本技术涉及靶材领域，具体涉及一种靶材喷砂遮蔽板。

技术介绍

[0002]目前，靶材在使用前通常需要对靶材的部分特定位置进行喷砂处理。
[0003]如CN111451942A公开了一种平面靶材的自动喷砂设备及自动喷砂方法，喷砂装置包括中部喷砂单元和侧部喷砂单元，侧部喷砂单元设置有侧部喷砂枪，侧部喷砂枪的枪口朝向靶材的侧部，中部喷砂单元设置有中部喷砂枪，中部喷砂枪的枪口朝向靶材的板面，至少中部喷砂枪为摆动喷枪，中部喷砂枪的摆动方向与运送装置移动的前进方向垂直，其公开了一种平面靶材的自动喷砂方法，本技术的自动喷砂设备和自动喷砂方法，能有效提高喷砂效率，提高喷砂良品率。
[0004]CN212385284U公开了一种平面靶材的自动喷砂设备，包括喷砂室和喷砂平台，喷砂室与喷砂平台连接，喷砂平台设置有用于运送靶材移动的运送装置，喷砂室内设置有喷砂装置，喷砂装置设置在运送装置上方，喷砂装置包括中部摆动喷砂装置和侧部喷砂装置，侧部喷砂装置设置有侧部喷砂枪，侧部喷砂枪的枪口朝向靶材的侧部，中部摆动喷砂装置设置有中部喷砂枪，中部喷砂枪的枪口朝向靶材的板面的非溅射区。提高靶材喷砂效率和喷砂良品率，提高喷砂作业的安全系数。
[0005]然而当前在喷砂过程中采用的遮蔽治具如遮蔽板时存在喷砂使遮蔽板和靶材喷砂区相邻的区域存在粗糙度显著离散的问题。

技术实现思路

[0006]鉴于现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种靶材喷砂遮蔽板，以解决当前遮蔽板在喷砂时存在遮蔽板和靶材喷砂区相邻的喷砂区域存在粗糙度显著离散的问题。
[0007]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0008]本技术提供了一种靶材喷砂遮蔽板，所述靶材喷砂遮蔽板为平面板材；
[0009]所述靶材喷砂遮蔽板的侧面为斜面；
[0010]所述斜面的表面上设置有交替凹槽和花纹；
[0011]所述凹槽的深度为所述靶材喷砂遮蔽板厚度的5
‑
7％；
[0012]所述凹槽的宽度为所述靶材喷砂遮蔽板厚度为20
‑
30％。
[0013]本技术提供的靶材喷砂遮蔽板，通过对靶材喷砂遮蔽板侧面进行特定的设计，解决了喷砂时遮蔽板侧面和靶材喷砂区相邻的喷砂区域存在粗糙度显著离散的问题，采用本技术的靶材喷砂遮蔽板进行喷砂后，与遮蔽板侧面相邻的靶材喷砂区的粗糙度和其它喷砂区域即远离遮蔽板喷砂区的粗糙度偏差明显降低，喷砂后靶材的喷砂区域的粗糙度离散程度明显降低。
[0014]本技术中，所述斜面的表面上设置有交替凹槽和花纹，具体为相邻凹槽之间
的斜面设置有花纹，相邻花纹之间设置有凹槽。
[0015]本技术中，所述遮蔽板的厚度可以为20
‑
30mm。
[0016]本技术中，所述凹槽和花纹在进行设置时可以先设置凹槽再设置花纹，或先设置花纹再设置凹槽，凹槽内部是否有花纹不影响本技术的技术效果，本技术中主要通过凹槽和花纹的耦合效果，来改善喷砂过程中遮蔽件附近喷砂中砂粒的反弹分布，进而改善粗糙度的离散情况。
[0017]本技术中，所述靶材喷砂遮蔽板的外观形状可以依据遮蔽面积进行合理设计，如可以是正方形，矩形，圆形，椭圆形等。
[0018]本技术中，所述凹槽的深度为所述靶材喷砂遮蔽板厚度的5
‑
7％，例如可以是5％、5.1％、5.2％、5.3％、5.4％、5.5％、5.6％、5.7％、5.8％、5.9％、6％、6.1％、6.2％、6.3％、6.4％、6.5％、6.6％、6.7％、6.8％、6.9％或7％等，但不限于所列举的数值，该范围内其它未列举的数值同样适用。
[0019]本技术中，所述凹槽的宽度为所述靶材喷砂遮蔽板厚度为20
‑
30％，例如可以是20％、20.2％、20.4％、20.6％、20.8％、21％、21.2％、21.4％、21.6％、21.8％、22％、22.2％、22.4％、22.6％、22.8％、23％、23.2％、23.4％、23.6％、23.8％、24％、24.2％、24.4％、24.6％、24.8％、25％、25.2％、25.4％、25.6％、25.8％、26％、26.2％、26.4％、26.6％、26.8％、27％、27.2％、27.4％、27.6％、27.8％、28％、28.2％、28.4％、28.6％、28.8％、29％、29.2％、29.4％、29.6％、29.8％或30％等，但不限于所列举的数值，该范围内其它未列举的数值同样适用。
[0020]作为本技术优选的技术方案，所述斜面的宽度为所述靶材喷砂遮蔽板厚度的1.2
‑
1.5倍，例如可以是1.2倍、1.21倍、1.22倍、1.23倍、1.24倍、1.25倍、1.26倍、1.27倍、1.28倍、1.29倍、1.3倍、1.31倍、1.32倍、1.33倍、1.34倍、1.35倍、1.36倍、1.37倍、1.38倍、1.39倍、1.4倍、1.41倍、1.42倍、1.43倍、1.44倍、1.45倍、1.46倍、1.47倍、1.48倍、1.49倍或1.5倍等，但不限于所列举的数值，该范围内其它未列举的数值同样适用。
[0021]作为本技术优选的技术方案，所述斜面与水平面的夹角为锐角。
[0022]作为本技术优选的技术方案，所述锐角的大小为82
‑
87
°
，例如可以是82
°
、82.2
°
、82.4
°
、82.6
°
、82.8
°
、83
°
、83.2
°
、83.4
°
、83.6
°
、83.8
°
、84
°
、84.2
°
、84.4
°
、84.6
°
、84.8
°
、85
°
、85.2
°
、85.4
°
、85.6
°
、85.8
°
、86
°
、86.2
°
、86.4
°
、86.6
°
、86.8
°
或87
°
等，但不限于所列举的数值，该范围内其它未列举的数值同样适用。
[0023]作为本技术优选的技术方案，所述凹槽等间距分布。
[0024]作为本技术优选的技术方案，所述花纹的形状包括直纹、网纹或棱台花纹中的一种。
[0025]作为本技术优选的技术方案，所述花纹的深度为0.5
‑
0.8mm，例如可以是0.5mm、0.51mm、0.52mm、0.53mm、0.54m本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材喷砂遮蔽板，其特征在于，所述靶材喷砂遮蔽板为平面板材；所述靶材喷砂遮蔽板的侧面为斜面；所述斜面的表面上设置有交替凹槽和花纹；所述凹槽的深度为所述靶材喷砂遮蔽板厚度的5
‑
7％；所述凹槽的宽度为所述靶材喷砂遮蔽板厚度为20
‑
30％。2.如权利要求1所述靶材喷砂遮蔽板，其特征在于，所述斜面的宽度为所述靶材喷砂遮蔽板厚度的1.2
‑
1.5倍。3.如权利要求1或2所述靶材喷砂遮蔽板，其特征在于，所述斜面与水平面的夹角为锐角。4.如权利要求3所述靶材喷砂遮蔽板，其特征在于，所述锐角的大小为82
‑
87
°

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，窦兴贤，王学泽，王青松，王刚，
申请(专利权)人：合肥江丰电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：