一种用于矫正靶坯位置的辅助治具及其使用方法技术

本发明专利技术涉及一种用于矫正靶坯位置的辅助治具及其使用方法，所述辅助治具包括至少两根相交的支撑梁和与支撑梁连接的矫正尺。本发明专利技术通过至少两根相交的支撑梁和与支撑梁连接的矫正尺，实现了对背板在两个方向上的进行限定卡位，有利于实现位置精确固定和高效调整，从而使得矫正后的背板达到规定的水平范围。而使得矫正后的背板达到规定的水平范围。而使得矫正后的背板达到规定的水平范围。

【技术实现步骤摘要】
一种用于矫正靶坯位置的辅助治具及其使用方法


[0001]本专利技术属于液晶面板溅射用靶材
，涉及一种矫正背板上靶坯相对位置的辅助治具，尤其涉及一种用于矫正背板上靶坯相对位置的辅助治具及其使用方法。

技术介绍

[0002]靶材溅射镀膜，刻蚀成金属导线，形成面板驱动用扫描线和数据线，用于传输电子，最终达到驱动显示屏上每个对应的薄膜晶体管打开或者关闭。
[0003]靶材由铜背板和靶坯组成，G6靶坯尺寸一般为2300*1800mm，面积达4平方米左右。铜背板和靶坯通过铟焊料绑定，焊接时通过真空吸盘吸住靶材非焊接面，对应的焊接面朝下，并倾斜至一定角度，然后移动至背板上面，找准位置，缓缓放下扣合。
[0004]由于靶坯和背板之间有焊料层的存在，此时液态的焊料会起到一定的润滑效果，导致扣合后背板和靶坯之间的相对位置难以精准对应，所以需要对两者之间相对位置进行微调。目前操作的方式是，人工在对应的方向做矫正尺限位，另一个方向，即平行调整方向，进行力量冲击进行调整，或者侧面方向，即垂直调整方向，进行限位和力量冲击调整。
[0005]因为每次扣合后相对位置都不一样，所以每次调整的方式都不太固定。人工绕着四周不断微调，需要多人配合，导致耗时不一样。人工力量进行冲击调整，力度难以量化。若力量过大，容易导致调整位置过度；若力量过轻，容易导致调整位置不到位，由此带来的结果是调整的操作偏于经验化，难以形成标准。
[0006]CN 104338802A公开了一种靶材矫正装置，包括：机架，所述机架具有悬挂梁、与所述悬挂梁相对设置的支撑台，连接所述悬挂梁和所述支撑台的支撑杆，所述悬挂梁和所述支撑台之间具有间隔，所述支撑台用于放置靶材；液压缸或气压缸，悬挂于所述悬挂梁，可沿所述悬挂梁移动，所述液压缸或气压缸的活塞杆的移动方向垂直于所述悬挂梁，所述活塞杆用于对所述靶材表面施加压力；可控制所述活塞杆移动的压力站，与所述液压缸或气压缸连接。采用该专利技术的装置提高了矫正效率，而且节省了操作人员的体力。
[0007]CN 109304384A公开了一种焊接组合T型钢柱的矫正装置及矫正方法，该矫正装置由在同一直线上的若干矫正单元组成，每个矫正单元包括平台支架、两L型夹具和千斤顶，所述平台支架由两立柱和横梁焊接而成，在横梁上表面设有垂直于横梁的竖梁，在竖梁的两端设有平行于横梁的两矩形连接块，在连接块上均匀设有若干螺纹孔；L型夹具由横板和竖板一体成型而成，在横板上设有与连接块螺纹孔对应的螺纹孔，通过螺纹连接件穿过横板和连接块上的螺纹孔将两L型夹具分别与两连接块固定连接起来；千斤顶设置在竖梁和待矫正焊接H型钢腹板之间，千斤顶底座顶紧竖梁，千斤顶行程端顶紧待矫正焊接H型钢腹板。该专利技术具有结构简单、操作简单、成本低、效率高等优点。
[0008]以上技术方案中针对靶材的结构进行了矫正，但是CN 104338802A没有涉及到精确调整背板和靶坯之间的相对位置，CN 109304384A提供的矫正装置在焊接的基础上进行改动较为复杂。
[0009]因此，如何提供一种简单可操作性强的方法，精确调整背板和靶坯之间的相对位
置，是液晶面板溅射用靶材
的一大问题。

技术实现思路

[0010]鉴于现有技术中存在的问题，本专利技术提供了一种用于矫正靶坯位置的辅助治具及其使用方法与靶材，在两个方向上进行限位，实现位置精准固定，高效调整。
[0011]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0012]第一方面，本专利技术提供了一种用于矫正靶坯位置的辅助治具，所述辅助治具包括至少两根相交的支撑梁和与支撑梁连接的矫正尺。
[0013]本专利技术提供了用于矫正背板上靶坯相对位置的辅助治具，通过至少两根相交的支撑梁和与支撑梁连接的矫正尺，实现了对背板在两个方向上的进行限定卡位，有利于实现位置精确固定和高效调整，从而使得矫正后的背板达到规定的水平范围。
[0014]本专利技术提供的用于矫正背板上靶坯相对位置的辅助治具克服了现有技术中采用人工在对应的方向做矫正尺限位和调整，提高了矫正效率，而且节省了操作人员的体力。
[0015]作为本专利技术一种优选技术方案，所述支撑梁上设置滑轨，所述矫正尺与滑轨滑动连接。
[0016]优选地，所述支撑梁至少与两个矫正尺连接。
[0017]优选地，与同一根所述支撑梁连接的矫正尺相互平行。
[0018]优选地，所述矫正尺的精度为0.0001mm以上，例如可以是0.0001mm、0.001mm、0.01mm、0.1mm或1mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0019]优选地，所述矫正尺的长度5～40cm，例如可以是5cm、10cm、20cm、30cm或40cm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0020]优选地，所述相交的支撑梁之间的夹角为70～120
°
，例如可以是70
°
、80
°
、90
°
、100
°
、110
°
或120
°
，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用，优选为90
°
。
[0021]优选地，所述支撑梁的长度大于背板的长度。
[0022]第二方面，本专利技术提供了一种根据第一方面所述辅助治具的使用方法，所述使用方法包括如下步骤：
[0023](1)固定辅助治具的位置；
[0024](2)调整矫正尺之间的间距；
[0025](3)使用气动锤冲击调整背板上靶坯的相对位置；
[0026](4)重复步骤(2)和步骤(3)，完成背板上靶坯相对位置的矫正。
[0027]本专利技术提供的使用方法在操作时，通过气动锤将辅助治具限定卡位的靶坯相对于背板的距离做适当放宽余量调整，给矫正尺预留限位尺寸空间，然后将矫正尺做好间距设定，并调整好对应靶坯的位置，通过气动锤进行单次冲击力量定量，多次冲击调整，使得靶坯的位置调整更高效和便捷，且容易形成产线化生产。
[0028]优选地，步骤(1)所述支撑梁的位置与背板之间的距离为30～40cm，例如可以是30cm、32cm、34cm、36cm、38cm或40cm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0029]优选地，步骤(2)所述间距为0.8～1.5m，例如可以是0.8m、0.9m、1m、1.2m、1.4m或
1.5m，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0030]所述矫正尺之间的间距为同一根支撑梁上连接的矫正尺之间的间距。
[0031]优选地，步骤(3)所述气动锤的冲击力为7～11.2N，例如可以是7N、8N、9N、10N或11.2N，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
[0032]优选地，步骤(3)所述气动锤的冲击周期为1～60次/分钟，例如可以是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于矫正靶坯位置的辅助治具，其特征在于，所述辅助治具包括至少两根相交的支撑梁和与支撑梁连接的矫正尺。2.根据权利要求1所述的辅助治具，其特征在于，所述支撑梁上设置滑轨，所述矫正尺与滑轨滑动连接。3.根据权利要求1或2所述的辅助治具，其特征在于，所述支撑梁至少与两个矫正尺连接；优选地，与同一根所述支撑梁连接的矫正尺相互平行。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的辅助治具，其特征在于，所述矫正尺的精度为0.0001mm以上；优选地，所述矫正尺的长度为5～40cm。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的辅助治具，其特征在于，所述相交的支撑梁之间夹角为70～120
°
，优选为90
°
；优选地，所述支撑梁的长度大于背板的长度。6.一种根据权利要求1
‑
5任一项所述辅助治具的使用方法，其特征在于，所述使用方法包括如下步骤：(1)固定辅助治具的位置；(2)调整矫正尺之间的间距；(3)使用气动锤冲击调整背板上靶坯的相对位置；(...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，王青松，丁向前，
申请(专利权)人：合肥江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：