一种靶材抛光治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种靶材抛光治具，所述靶材抛光治具包括抛光治具主体和抛光杆，所述抛光治具主体自上而下依次包括平行设置的金属块、百洁布和砂纸，所述百洁布粘贴到金属块的底部，所述抛光杆与金属块的顶部连接。本实用新型专利技术通过抛光治具主体和抛光杆的结构划分，将砂纸、百洁布置于金属块下方构成抛光治具主体，主要用于大尺寸靶材的手动抛光，可有效减少作业时间，降低劳动强度，提高靶材的抛光效率及生产效率；所述抛光治具中砂纸和百洁布的使用，有助于保证抛光后靶材表面粗糙度的可控性及品质的稳定性，提高靶材产品的合格率；所述抛光治具结构简单，使用方便，成本较低，应用范围广。范围广。范围广。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材抛光治具


[0001]本技术属于靶材加工
，涉及一种靶材抛光治具。

技术介绍

[0002]随着半导体行业的快速发展，镀膜材料作为半导体电子器件制造的重要材料，其需求量也日益增加。靶材作为一种重要的镀膜材料，在集成电路、平面显示、太阳能、光学器件等领域具有广泛的应用，由靶材制备薄膜最常用的方法包括溅射镀膜法，为保证薄膜产品的优异性能，对靶材的结构等特征均有要求，因而需要对靶材的制备工艺进行控制，以得到符合溅射要求的靶材。
[0003]抛光处理是靶材制备过程中的重要操作步骤之一，对于靶材的表面性能，例如粗糙度、平整度等参数有重要影响；尤其是针对大尺寸的一体靶，其表面抛光难度大、耗时长，手动操作时需要两人合力完成，容易造成表面纹路不齐，抛光后靶材的合格率较低，且抛光速度慢，也会造成靶材的加工效率降低，因而需要针对靶材的抛光设计合适的抛光治具，使得能够单人完成，并提高靶材抛光后的表面均匀性。
[0004]CN 211841488U公开了一种靶材辅助抛光装置，该装置包括手柄和端头圆盘；所述端头圆盘的形状为圆台；所述圆台直径小的一面和所述手柄相连接；所述手柄的形状为柱状；所述手柄底部设有装夹区；所述装夹区位于手柄的末端，所述装夹区的工作面为平面。该装置主要是用于辅助抛光，需要结合抛光设备共同使用，且该辅助装置的灵活性较差，手柄和端头圆盘之间无法灵活移动。
[0005]CN 113352215A公开了一种ITO旋转靶材的处理方法，该方法包括：将ITO旋转靶材进行整体抛光，使端面R角达到0.3～0.5；再将ITO旋转靶材进行焊接、绑定和清缝；再次将完成后的ITO旋转靶材进行整体抛光，使端面R角达到0.2；该方法中的两次整体抛光，前一次是机器抛光，后一次采用人工抛光，但并未公开人工抛光是需要使用到抛光工具来辅助进行，且该方法主要适用于小尺寸的旋转靶的抛光，对于大尺寸的一体靶并不适用。
[0006]综上所述，对于靶材的手动抛光，尤其是针对大尺寸的靶材，还需要选择合适的抛光治具，既能够提高抛光速率，减少人工作业时间，又能够保证抛光后靶材表面的平整及均匀性，提高靶材产品的合格率。

技术实现思路

[0007]针对现有技术存在的问题，本技术的目的在于提供一种靶材抛光治具，所述抛光治具通过抛光治具主体和抛光杆的结构划分，主要用于大尺寸靶材的手动抛光，通过不同型号抛光布的使用，保证抛光后靶材表面的粗糙度，提高抛光效果，同时该结构便于靶材的手动抛光，减少作业时间，降低劳动强度，提高靶材的抛光效率以及生产效率。
[0008]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0009]本技术提供了一种靶材抛光治具，所述靶材抛光治具包括抛光治具主体和抛光杆，所述抛光治具主体自上而下依次包括平行设置的金属块、百洁布和砂纸，所述百洁布
粘贴到金属块的底部，所述抛光杆与金属块的顶部连接。
[0010]本技术中，对于靶材的抛光过程，可分为机械抛光和手动抛光，虽然机械抛光应用愈发广泛，但对于某些靶材或非工业化生产的情况，仍需采用手动抛光的方式，对于目前常用的LCD一体靶，由于其尺寸相对较大，直接采用砂纸手动抛光时耗时较长，单人难以完成，容易造成表面纹理不整齐，应而本技术设计了相应的靶材抛光治具，通过抛光杆与抛光治具主体的划分，将砂纸、百洁布置于金属块下方构成抛光治具主体，由抛光带动其移动，可有效提高手动抛光时的抛光效率，尤其适合处理大尺寸的靶材，节省人力；同时，砂纸和百洁布依次使用，有助于保证抛光后靶材表面粗糙度的可控性，提高靶材产品的合格率；所述抛光治具结构简单，使用方便，成本较低，应用范围广。
[0011]以下作为本技术优选的技术方案，但不作为本技术提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本技术的技术目的和有益效果。
[0012]作为本技术优选的技术方案，所述靶材包括一体靶，所述一体靶为条形靶，其长度为1.2～2.2m，例如1.2m、1.4m、1.6m、1.8m、2m或2.2m等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用；宽度为1～1.8m，例如1m、1.2m、1.4m、1.5m、1.6m或1.8m等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0013]作为本技术优选的技术方案，所述靶材包括铝靶材、钼靶材或钛靶材中任意一种。
[0014]作为本技术优选的技术方案，所述金属块与抛光杆的连接方式包括轴连接或一体化组装。
[0015]作为本技术优选的技术方案，所述一体化组装为采用胶带将金属块和抛光杆的一端组装在一起。
[0016]本技术中，虽然抛光杆与金属块连接，但是抛光杆能够以与金属块连接的一端为轴在竖直平面内进行转动，便于手动操作时抛光杆角度的调整。
[0017]作为本技术优选的技术方案，所述抛光杆为圆形实心杆或圆形空心管，所述抛光杆的材质包括塑料。
[0018]作为本技术优选的技术方案，所述抛光杆的长度为2～3m，例如2m、2.2m、2.4m、2.5m、2.7m或3m等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用；直径为1.5～3cm，例如1.5cm、1.8cm、2cm、2.2cm、2.5cm、2.7cm或3cm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0019]作为本技术优选的技术方案，所述百洁布包括800#百洁布和2000#百洁布，所述800#百洁布作为间隔层位于金属板一侧，所述2000#百洁布作为抛光层位于砂纸一侧。
[0020]本技术的百洁布中，800#百洁布位于靠近金属板的一侧，将2000#百洁布与金属板间隔开，其作用在于增加砂纸的平坦度，自身并不用于靶材的抛光。
[0021]作为本技术优选的技术方案，所述砂纸包括320#砂纸。
[0022]作为本技术优选的技术方案，所述金属板和800#百洁布之间采用泡棉胶粘贴固定，所述800#百洁布和2000#百洁布之间以及所述2000#百洁布与砂纸之间直接接触，不粘贴固定，按顺序依次放置。
[0023]本技术中，所述金属块的重量较大，将百洁布和砂纸压在下方，带动两者移动，用于抛光的2000#百洁布和砂纸无需固定，便于拆卸与更换。
[0024]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0025](1)本技术所述抛光治具通过抛光治具主体和抛光杆的结构划分，将砂纸、百洁布置于金属块下方构成抛光治具主体，主要用于大尺寸靶材的手动抛光，可有效减少作业时间，降低劳动强度，靶材的抛光效率可提高50％以上，并提高靶材的生产效率；
[0026](2)本技术中砂纸和百洁布的使用，有助于保证抛光后靶材表面粗糙度的可控性及品质的稳定性，提高靶材产品的合格率，可以达到98％以上；
[0027](3)本技术所述抛光治具结构简单，使用方便，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材抛光治具，其特征在于，所述靶材抛光治具由抛光治具主体和抛光杆构成，所述抛光治具主体自上而下依次为平行设置的金属块、百洁布和砂纸，所述百洁布粘贴到金属块的底部，所述抛光杆与金属块的顶部连接。2.根据权利要求1所述的靶材抛光治具，其特征在于，所述靶材为一体靶，所述一体靶为条形靶，其长度为1.2～2.2m，宽度为1～1.8m。3.根据权利要求1所述的靶材抛光治具，其特征在于，所述靶材为铝靶材、钼靶材或钛靶材中任意一种。4.根据权利要求1所述的靶材抛光治具，其特征在于，所述金属块与抛光杆的连接方式为轴连接或一体化组装。5.根据权利要求4所述的靶材抛光治具，其特征在于，所述一体化组装为采用胶带将金属块和抛光杆的一端组装在一起。6.根据权利要求1所述的靶材抛...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，窦兴贤，王学泽，王青松，丁路亚，
申请(专利权)人：合肥江丰电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：