【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片贴膜用固定摆放治具
本技术涉及晶圆贴膜
,尤其涉及一种晶圆片贴膜用固定摆放治具。
技术介绍
随着科技的发展,手机、相机等电子产品在生活中发挥的作用越来越大,同时对制备电子产品的光电元件要求也越来越高。制备光电器件的材料有多种,晶圆便是其中的一种。随着科学技术的进步,对晶圆贴膜的过程中,很多工序都已经实现了自动或半自动化,通过程序化的机械来夹取提前放置在排放治具中的晶圆,然后将夹取的晶圆投放到下一工序中,这种操作是极为普遍的。但是现有的排放治具不能够对晶圆起到很好的固定作用,晶圆经常会在现有排放治具中产生晃动,从而导致晶圆的夹取动作不能顺畅进行,有时由于夹取偏差的原因甚至会对晶圆造成损坏。另外,现有的晶圆排放治具,很多都是“一个萝卜一个坑”,每个放置位只能放置一个晶圆,这样就会使每个治具上要开设很多放置位,制造较为麻烦。
技术实现思路
为解决上述
技术介绍
中提出的问题,本技术提供一种晶圆片贴膜用固定摆放治具。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种晶圆片贴膜用固定摆放治具,包括整体呈方形的治具本体,所述治具本体上开设有若干用于放置晶圆的固定槽,所述固定槽的截面呈半椭圆形;所述治具本体上还开设有螺纹孔。优选地,还包括固定卡块,所述固定卡块的至少一端开设有呈半椭圆形的卡槽,所述固定卡块下表面的两侧均开设有滑槽,所述固定槽两侧的治具本体上均设有滑轨,所述滑槽与滑轨相匹配。优选地,所述滑槽表面附有磁条层,所述滑轨为铁磁性材料。优选地,所述滑轨由金 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆片贴膜用固定摆放治具,包括整体呈方形的治具本体(1),其特征在于,所述治具本体(1)上开设有若干用于放置晶圆的固定槽(2),所述固定槽(2)的截面呈半椭圆形;所述治具本体(1)上还开设有螺纹孔(3)。/n
【技术特征摘要】
1.一种晶圆片贴膜用固定摆放治具,包括整体呈方形的治具本体(1),其特征在于,所述治具本体(1)上开设有若干用于放置晶圆的固定槽(2),所述固定槽(2)的截面呈半椭圆形;所述治具本体(1)上还开设有螺纹孔(3)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆片贴膜用固定摆放治具,其特征在于,还包括固定卡块(4),所述固定卡块(...
【专利技术属性】
技术研发人员:苏炜,
申请(专利权)人:浙江美迪凯光学半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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