半导体测试系统技术方案

半导体测试系统中的仿真器，测试系统与参照周期同步地作用一测试信号在测试的半导体器件上及比较结果输出与期望数据来确定半导体器件工作是否正确。仿真器包括仿真测试系统各硬件单元的功能的仿真器单元、仿真待测试半导体器件的功能的器件仿真器、从仿真器单元取得执行测试程序必需的数据的数据采集部件、及根据取得的数据生成作用在器件仿真器上的测试信号及将结果信号与期望数据比较并将比较结果存储在其中的器件测试仿真器。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于测试诸如IC等半导体器件的半导体测试系统，更具体地，涉及用于在没有测试系统的硬件时仿真半导体测试系统中的硬件或者甚至要由半导体测试系统测试的半导体器件的半导体测试系统仿真器。此外，本专利技术涉及与操作操作系统一起使用的半导体测试系统仿真器，该操作系统当在半导体测试系统的硬件中存在改变时能容易地修改软件。在用于测试半导体器件的半导体测试系统中，将称作测试矢量的测试信号模式提供给受测试的半导体器件并将从该半导体器件输出的结果与事先设置的期望值信号进行比较以确定受测试的半导体器件是否正确地工作。通常，测试矢量是通过测试程序产生的。测试程序中的语言是该半导体测试系统的制造商所独有的并在制造商之间互不相同。为了高效地测试诸如复杂的计算机芯片或大规模半导体存储器，半导体测试系统必须高速执行复杂与完善的测试。因此，半导体测试系统的实际结构为大规模计算机系统的结构。从而，采用包含上述测试程序的大规模软件来控制半导体测试系统的测试与其它操作。在半导体生产工业中，存在着改进半导体测试系统的效率的强烈要求。这是因为当前的半导体测试系统是复杂与昂贵的系统并且半导体器件的价格竞争是剧烈的。因此，必须避免半导体测试系统为要测试的半导体器件产生测试程序等过程的排它性使用。再者，希望不使用半导体测试系统的硬件便能评价与确认这一过程中新产生的测试程序。结果，经常在现代化的高档半导体测试系统中采用仿真器。然而，在传统的半导体测试系统中，仿真器只仿真半导体测试系统的操作系统，从而其功能是不够的。例如，传统的仿真器不能执行下述级别的仿真，在其中对特定半导体器件的测试是通过将测试矢量作用在待测试的半导体器件上并分析来自该器件的结果信号而执行的。由于半导体器件技术的迅猛进展，用于测试这种迅猛改变的半导体器件的半导体测试系统需要频繁地加以扩展、修改或者用新的模型来代替。例如，在半导体测试系统生成作用在受测试的半导体器件上的测试矢量的测试模式发生器中，除了生成相对正常与简单的序列的测试模式的功能之外，可以加上算法模式发生器来生成具有数学序列的测试模式。在作出对硬件资源的改变或增加的情况中，也必须相应地修改软件以控制新增加或修改的硬件。这通常包括将适当的数据传送给新增加或修改的硬件的内部寄存器的过程。在传统技术中，这一根据硬件中的改变的软件修改是不容易进行的。例如，在这一情况中，传统技术要求复杂的软件修改过程并从而包含冗长的工作。此外，为了进行这种软件修改工作，通常需要使用实际改变或增加的硬件。因此，工业上希望研制出能在实际改变或增加硬件之前按照半导体测试系统的硬件的改变或增加容易地进行软件的修改的装置。还希望只通过仿真这种硬件而不使用要增加到系统上的实际硬件，来进行与硬件的改变或增加关联的这种软件修改或测试程序的研制及其调试。因此，本专利技术的目的为提供在测试半导体器件的半导体测试系统中使用的仿真器，该仿真器能够不使用该半导体测试系统的硬件资源生成测试程序或确认测试程序的操作。本专利技术的另一目的为提供在测试半导体器件的半导体测试系统中使用的仿真器，该仿真器能够以进一步详细与特定的级别生成测试程序并调试该测试程序，诸如作用一个测试信号在待测试的器件上并评价来自待测试的器件的结果输出信号。本专利技术的又一目的为提供半导体测试系统的仿真器，该仿真器能够容易与快速地将该半导体测试系统的生产或应用过程中得到的软件资源应用在新增加的硬件、修改的硬件或诸如新建模型的半导体测试系统等独立测试系统上，而无需使用该测试系统的实际硬件。本专利技术的半导体测试系统包括仿真测试系统的各硬件单元的功能的仿真器单元、仿真待测试的半导体器件的功能的器件仿真器、用于从该仿真器单元采集执行测试程序所必需的数据的装置、以及根据所采集的数据生成要作用在器件仿真器上的测试信号并将来自器件仿真器的结构信号与期望值数据进行比较及将比较结果存储在其中的器件测试仿真器。在本专利技术的半导体测试系统的其它方面中，其中与一个参照周期同步地将测试信号作用在受测试的半导体器件上并将受测试的半导体器件的结果输出与期望值信号进行比较以确定该半导体器件是否正确地工作，该半导体测试系统包括用于提供指定包含待作用在受测试的半导体器件的预定接线端上的测试信号的波形在内的测试待测试的半导体器件所必需的各种测试条件的测试程序的装置，用于将测试程序转换成目标代码及解释测试程序的内容的编译器装置，用于从表格式存储表示半导体测试系统的硬件特征的数据以协助编译器装置中的测试程序的解释并响应硬件中的改变修改表格式数据的编译器接口装置，具有根据半导体测试系统的技术规格用于将编译器装置所编译与解释的数据的格式转换成硬件格式的数据的库装置，用于将硬件格式数据发送到数据总线上以便将该数据传送到半导体测试系统的硬件中的寄存器的驱动器装置，以及接收来自于驱动器装置，由所述库装置形成的数据并将数据存储在指定的存储器区中及根据存储在该存储器区中的数据仿真各所述硬件的技术规格与操作的仿真器。按照本专利技术的半导体测试系统的仿真器，无需硬件便能仿真半导体测试系统中的硬件的功能。此外，甚至无需半导体测试系统的硬件便能仿真硬件的测试信号生成、受测试的器件的结果信号生成及结果信号与期望数据的比较。换言之，由于仿真是在待测试的半导体器件的特定测试级上执行的，无需测试系统的硬件便能完整地进行器件程序的开发或其调试。此外，在本专利技术的半导体测试系统中，当半导体测试系统的硬件中存在改变或替换时，本专利技术的半导体测试系统能为控制新增加或替换的硬件容易与快速地修改软件。此外，当硬件中存在改变或替换时，本专利技术的半导体测试系统能为控制新硬件进行软件修改而无须考虑编译器。再者，在本专利技术中，当半导体测试系统的硬件中存在改变或替换时，无须半导体测试系统的硬件便能进行将硬件的控制数据存储在仿真器中及确认控制数据或者开发器件程序或其调试。附图说明图1为展示包含硬件与软件的半导体测试系统的整体示意性结构的方框图。图2为展示用本专利技术的仿真器功能表示的图1的半导体测试系统的整体示意性结构的方框图。图3为相对于待测试的半导体器件的连接展示的半导体测试系统的硬件部件的方框图。图4为相对于图3中所示的半导体测试系统的硬件部件及待测试的半导体器件展示的本专利技术的仿真器功能所表示的测试结构的方框图。图5为使用独立的操作流程展示本专利技术的仿真器的基本操作的流程图。图6为展示按照本专利技术仿真半导体器件测试的信号波形的定时图。图7为展示本专利技术的另一实施例的方框图，其中将本专利技术的仿真器与半导体测试系统的软件组合，当测试系统的硬件存在改变或替换时，能够容易地修改软件。整体半导体测试系统的基本结构示出在图1的方框图中，取决于半导体器件14的测试种类与目的，建立用于测试半导体器件的测试程序(器件测试程序)11并将其装入半导体测试系统中。通常，器件程序11是由半导体测试系统的用户按照要测试的半导体器件14的类型与测试项目生成的。在器件程序11中，规定了各种参数，诸如要作用在待测试的半导体器件14的各接线端上的测试信号的频率、波形、延时与幅度，以及当向器件14提供测试信号时应从受测试的器件14导出的期望值信号。例如，器件测试程序是用基于硬件描述语言HDL或VHDL的测试描述语言(TDL)编写的。半导体测试系统是由本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体测试系统，用于通过与参照周期同步地作用测试信号到受测试的半导体器件上并将受测试的半导体器件的结果输出与期望值进行比较来确定该半导体器件工作是否正确以测试半导体器件，该系统包括： 仿真测试系统的各硬件单元的功能的仿真器单元； 仿真受测试的半导体器件的功能的器件仿真器； 用于从仿真器单元取得执行测试程序所必需的数据的装置；以及 器件测试仿真器，它根据所取得的数据提供测试信号给器件仿真器，及比较来自器件仿真器的结果信号与期望数据，并将比较结果存储在其中。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特F索尔，福岛清，矢元裕明，
申请(专利权)人：株式会社鼎新，
类型：发明
国别省市：JP[日本]