一种外延膜生长设备及分离方法技术

本发明专利技术公开了一种外延膜生长设备及分离方法，在外延膜生长设备的金属夹环与金属基板之间，设置分离销装置，分离销包括至少两个带有螺丝的连接件，连接件贯穿金属夹环，连接件的顶端抵接在金属基板表面，利用分离销的反向力，分离金属夹环与石英件，在金属夹环与石英件分离后，移动金属夹环，实现金属夹环与石英件的安全分离，减少损坏石英件的几率。

【技术实现步骤摘要】
一种外延膜生长设备及分离方法
本专利技术涉及芯片制造
，尤其是涉及一种外延膜生长设备及分离方法。
技术介绍
目前，芯片制造技术飞速发展，其中，外延生长技术发展于50年代末60年代初，为了制造高频大功率器件，需要减小集电极串联电阻，又要求材料能耐高压和大电流，因此需要在低阻值衬底上生长一层薄的高阻外延层，这时外延设备便应运而生。在对外延机台进行保养或者维修的时候，难免会碰到要打开三十多公斤的金属环或者金属盘，而这些金属重物通过上密封圈与石英件连在一起的，石英件再通过下密封圈与金属基板连接，金属环或金属盘与金属基板之间的间距小于1mm，在金属环或金属盘上设置有8个螺丝，用于连接金属环与金属基板，或金属盘与金属基板。在松开8个螺丝后，如果手动开启金属环或金属盘，力量控制不好，会碰到下面的石英圆盘，造成石英件损坏。因此，设计一种能够相对轻松地分离金属重物与石英件的外延膜生长设备，是目前亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种外延膜生长设备及分离方法，在外延膜生长设备的金属夹环与金属基板之间，设置分离销装置，分离销包括至少两个带有螺丝的连接件，连接件贯穿金属夹环，连接件的顶端抵接在金属基板表面，利用分离销的反向力，分离金属夹环与石英件，在金属夹环与石英件分离后，移动金属夹环，实现金属夹环与石英件的安全分离，减少损坏石英件的几率。第一方面，本专利技术的上述专利技术目的通过以下技术方案得以实现：一种外延膜生长设备，包括从上到下依次放置的金属夹环、上石英圆盘、金属基板，在上石英圆盘边沿的上表面与下表面，分别设置密封装置，用于上石英圆盘与上金属夹环或金属基板之间密封，还包括分离销装置，分离销装置设置在上金属夹环上，用于将上金属夹环整体与上石英圆盘整体分离。本专利技术进一步设置为：分离销装置包括带有螺纹的连接件，所述连接件上设置有螺纹，在上金属夹环上设置内壁带有螺纹的贯穿孔，贯穿孔内的螺纹与连接件上的螺纹匹配，贯穿孔的位置位于上石英圆盘的外侧，连接件的顶端穿过贯穿孔抵接到金属基板的上表面，用于在连接件转动时，带动金属夹环上下移动。本专利技术进一步设置为：在上金属夹环上均匀设置至少两个贯穿孔，在各贯穿孔处分别设置分离销装置，在各贯穿孔中设置分离销装置。本专利技术进一步设置为：在上金属夹环的同一直径的两端，分别设置一个贯穿孔，在各贯穿孔中设置分离销装置。本专利技术进一步设置为：在上金属夹环的相互垂直的两个直径，在每个直径的两端，分别设置一个贯穿孔，在各贯穿孔中设置分离销装置。本专利技术进一步设置为：在连接件顶端表面或连接件全部表面上设置韧性外衣，用于防止连接件磨损金属基板表面。本专利技术进一步设置为：所述韧性外衣材料为聚四氟乙烯，以涂覆方式设置在连接件顶端部位表面或连接件全部表面。本专利技术进一步设置为：连接件采用平头螺丝。第二方面，本专利技术的上述专利技术目的通过以下技术方案得以实现：一种外延膜生长设备的分离方法，先将位于金属夹环同一直径上的第一连接件、第二连接件，分别沿同一方向转动相同角度；再选择与前一直径垂直的另一直径上的第三连接件及第四连接件，分别沿同一方向转动相同角度，重复转动各连接件，直至将金属夹环整体与上石英圆盘整体分离。与现有技术相比，本申请的有益技术效果为：1.本申请通过在金属夹环上设置分离销，分离销贯穿金属夹环，抵接在金属基板表面，利用分离销转动时的反向力，分离金属夹环与石英件，实现了金属夹环与石英件的轻松分离，保证了分离过程中石英件的完整性；2.进一步地，本申请在分离销表面涂覆保护层，防止分离销对金属基板表面的磨损，保证了金属基板的完整。附图说明图1是本申请的一个具体实施例的外延膜生长设备剖视图；图2是本申请的一个具体实施例的外延膜生长设备俯视图；图3是本申请的一个具体实施例的外延膜生长设备局部剖视图。具体实施方式以下结合附图对本专利技术作进一步详细说明。现有外延膜生长设备结构，如图1所示，包括从上到下依次设置的上灯架15、上金属夹环2、金属基板1、下金属夹环13、下灯架17，上灯架15为开口向下的立方槽结构，下灯架17为开口向上的立方槽结构，上金属夹环2、金属基板1、下金属夹环13分别为方形环状结构，上金属夹环2、金属基板1、下金属夹环13依次设置在上灯架15、下灯架17的开口处，形成一空腔。在空腔内设置有上石英圆盘4、基座12、基座支架10、下石英钟罩11，上石英圆盘4、下石英钟罩11形成密封腔，基座12、基座支架10设置在密封腔内，基座12设置在基座支架10上；基座12的上表面为平台结构，上石英圆盘4的圆盘边沿靠近金属基板1的上表面，旋转电机9位于上灯架15与下灯架17形成的空腔外侧，旋转电机9轴与基座支架10连接。在上灯架15的内部侧壁上设置有上灯管模组14，在下灯架17的内部侧壁上设置有下灯管模组16。在下灯架17的底部外面，还设置有旋转电机模组，电机轴与基座支架连接，用于控制基座12绕中心轴进行旋转。上石英圆盘4为圆弧结构，在圆弧的边沿处设置有平面圆环边沿4-1，圆环边沿4-1位于上金属夹环2与金属基板1之间，圆环边沿4-1的上表面与上金属夹环2的下表面之间设置有上密封圈，圆环边沿4-1的下表面与金属基板1的上表面之间设置有下密封圈，图中未示出。上金属夹环2与金属基板1之间的距离小于1mm，上金属夹环2的重量约为三十公斤，在工作过程中，有时需要将上金属夹环2与上石英圆盘4分开，移开上金属夹环。本申请在上金属夹环2上设置分离销装置18，在上金属夹环2上设置螺纹孔，分离销装置18的一端穿过螺纹孔与金属基板1上表面抵接，另一端位于或低于或高于上金属夹环2的上表面，分离销装置18与螺纹孔接触的表面，设置有与其匹配的螺纹，旋转分离销装置18，能够缩短或增大上金属夹环2与金属基板1之间的间距，实现上金属夹环2与金属基板1的压紧或分离。结合图2、3所示，其中，图2外延膜生长设备的俯视图，图3为沿图2中A-A线的剖视图，金属基板1为方框形结构，上金属夹环2设置在金属基板1上，上金属夹环2包括圆环21及圆环外延块，在圆环21的相互垂直的二个直径A-A、B-B的两端，分别设置四个圆环外延块，其中圆环第一外延块3-1、圆环第二外延块3-2分别位于圆环直径A-A的两端，圆环外延块3-3、圆环第四外延块3-4分别位于圆环直径B-B的两端。圆环第一外延块至第四外延块与圆环为一体结构。圆环四个外延块沿所在直径对称，位于上石英圆盘4的外侧。在每个圆环外延块上，分别设置二个沿所在直径对称的固定装置，用于将上金属夹环2与金属基板1固定，具体地，在第一外延块3-1设置第一固定装置31、第二固定装置32，沿逆时针方向，第三外延块3-3上设置第三固定装置33、第四固定装置34，第二外延块3-2上设置第五固定装置35、第六固定装置36，第四外延块3-4上设置第七固定装置37、第八固定装置38。固定装置的位置分别是：第一固定装置31的位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种外延膜生长设备，包括从上到下依次放置的上金属夹环、上石英圆盘、金属基板，在上石英圆盘边沿与上金属夹环之间设置上密封装置，在上石英圆盘边沿与金属基板之间设置下密封装置，用于上石英圆盘与上金属夹环或金属基板之间密封，其特征在于：还包括分离销装置，分离销装置设置在上金属夹环上，用于将上金属夹环整体与上石英圆盘整体分离。/n

【技术特征摘要】
1.一种外延膜生长设备，包括从上到下依次放置的上金属夹环、上石英圆盘、金属基板，在上石英圆盘边沿与上金属夹环之间设置上密封装置，在上石英圆盘边沿与金属基板之间设置下密封装置，用于上石英圆盘与上金属夹环或金属基板之间密封，其特征在于：还包括分离销装置，分离销装置设置在上金属夹环上，用于将上金属夹环整体与上石英圆盘整体分离。


2.根据权利要求1所述外延膜生长设备，其特征在于：分离销装置包括带有螺纹的连接件，所述连接件表面设置有螺纹，在上金属夹环上设置内壁带有螺纹的贯穿孔，贯穿孔内的螺纹与连接件上的螺纹匹配，贯穿孔的位置位于上石英圆盘的外侧，连接件的顶端穿过贯穿孔抵接到金属基板的上表面，用于在连接件转动时，带动上金属夹环上下移动。


3.根据权利要求2所述外延膜生长设备，其特征在于：在上金属夹环上均匀设置至少两个贯穿孔，在各贯穿孔处分别设置分离销装置。


4.根据权利要求3所述外延膜生长设备，其特征在于：在上金属夹环的同一直径的两端，分别设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：王会会，林保璋，金補哲，田才忠，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33