显示装置和制造该显示装置的方法制造方法及图纸

提供了包括多个子像素并被配置为基于所述多个子像素中的每个发射光的显示装置以及制造该显示装置的方法。该显示装置包括：基板；驱动层，提供在基板上并包括配置为向显示装置施加电流的驱动元件；电连接到驱动层的第一电极；提供在第一电极上的第一半导体层；提供在第一半导体层上的有源层；提供在有源层上的第二半导体层；提供在第二半导体层上的第二电极；以及提供在第二半导体层上的反射层，其中从有源层发射的光在第一电极与反射层之间谐振。

【技术实现步骤摘要】
显示装置和制造该显示装置的方法
本公开的示例实施方式涉及配置为减小光束的发散角的高分辨率显示装置以及制造该显示装置的方法。
技术介绍
液晶显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)显示器被广泛用作显示装置。另外，近来，对于使用微型发光二极管(LED)制造高分辨率显示装置的技术的兴趣不断增长。发光二极管(LED)具有低功耗和环境友好的优点。归功于这些优点，对于LED的工业需求增加。因此，开发了使用微型LED的显示器。但是，随着相邻像素之间的节距减小以提高微型LED显示器的分辨率，从像素发射的光可能扩展到相邻的像素，因此色纯度可能劣化。此外，微型LED显示器可以通过与LED分开地制造诸如薄膜晶体管(TFT)或互补金属氧化物半导体(CMOS)元件的驱动元件以及将驱动元件和LED接合在一起来制造。然而，在这种情况下，在接合期间可能在电连接部分中形成缺陷，并且由于热失配可能形成不稳定的接合。
技术实现思路
一个或更多个示例实施方式提供了具有小的光束发散角的显示装置。一个或更多个示例实施方式提供了更容易地制造显示装置的方法。另外的方面将在下面的描述中被部分地阐述，并且将部分地自该描述明显，或者可以通过本公开的示例实施方式的实践而获知。根据一示例实施方式的一方面，提供了一种显示装置，其包括多个子像素并被配置为基于所述多个子像素中的每个发射光，该显示装置包括：基板；驱动层，提供在基板上并包括配置为向显示装置施加电流的驱动元件；电连接到驱动层的第一电极；提供在第一电极上的第一半导体层；提供在第一半导体层上的有源层；提供在有源层上的第二半导体层；提供在第二半导体层上的第二电极；以及提供在第二半导体层上的反射层，其中从有源层发射的光在第一电极与反射层之间谐振。反射层可以包括分布式布拉格反射器。分布式布拉格反射器可以包括交替地提供的具有第一折射率的第一层和具有第二折射率的第二层，并且第一层和第二层被提供成两对至五对。该显示装置还可以包括提供在基板与驱动层之间的联接层。基板可以包括硅基板、玻璃基板、蓝宝石基板或涂覆有SiO2的硅基板。驱动元件可以包括晶体管、薄膜晶体管或高电子迁移率晶体管(HEMT)。该显示装置还可以包括基于所述多个子像素中的每个隔离有源层的隔离结构。隔离结构可以包括离子注入区域。该显示装置还可以包括提供在驱动层与隔离结构之间并与隔离结构对应的电流阻挡层。该显示装置还可以包括在第二半导体层与反射层之间以及在反射层与第二电极之间的电流扩展层。该显示装置还可以包括提供在第二半导体层与反射层之间以及在第二半导体层与第二电极之间的电流扩展层。第二电极可以在面对有源层的区域中包括窗口区域，并且有源层的宽度小于窗口区域的宽度。该显示装置还可以包括多个颜色转换层，所述多个颜色转换层被配置为将从有源层发射的光转换成具有不同颜色的光。第二电极可以是透明的并覆盖第二半导体层。第二电极可以是不透明的并且可以包括配置为透射从有源层发射的光的窗口区域。基板和驱动层可以形成互补金属氧化物半导体(CMOS)底板。根据一示例实施方式的另一方面，提供了一种制造显示装置的方法，该方法包括：在外延基板上形成第一半导体层；在第一半导体层上形成有源层；在有源层上形成第二半导体；基于多个子像素中的每个隔离有源层；基于所述多个子像素中的每个在第二半导体层上形成第一电极；形成驱动层，该驱动层包括电连接到第一电极的驱动元件；去除外延基板；在第一半导体层上形成第二电极；以及在第二电极上形成反射层。基于所述多个子像素中的每个隔离有源层可以包括形成离子注入区域。第一电极可以包括配置为反射光的反射材料。该方法还可以包括通过熔融接合方法或直接接合方法将驱动层接合到第二基板。第二基板和驱动层可以通过互补金属氧化物半导体(CMOS)底板制造工艺形成，并且驱动层和第一电极可以通过铜镶嵌方法彼此联接。反射层可以包括分布式布拉格反射器。第二电极可以是透明的并覆盖第一半导体层。第二电极可以是不透明的，并且窗口区域可以形成在第二电极中以透射从有源层发射的光。有源层的宽度可以小于窗口区域的宽度。该方法还可以包括基于所述多个子像素中的每个形成多个颜色转换层，所述多个颜色转换层被配置为将从有源层发射的光转换成具有不同颜色的光。第一电极可以面对有源层。该方法还可以包括在第一半导体层与反射层之间以及在反射层与第二电极之间形成电流扩展层。该方法还可以包括在第一半导体层与反射层之间以及在第一半导体层与第二电极之间形成电流扩展层。根据一示例实施方式的一方面，提供了一种显示装置，其包括多个子像素并被配置为基于所述多个子像素中的每个发射光，该显示装置包括：基板；驱动层，提供在基板上并包括配置为向显示装置施加电流的驱动元件；电连接到驱动层的第一电极；提供在第一电极上的第一半导体层；提供在第一半导体层上的有源层；提供在有源层上的第二半导体层；提供在第二半导体层上的第二电极；提供在第二半导体层上的反射层；隔离结构，基于所述多个子像素中的每个隔离有源层；以及电流扩展层，提供在第二半导体层与反射层之间以及在反射层与第二电极之间，其中从有源层发射的光在第一电极与反射层之间谐振。附图说明本公开的示例实施方式的以上和/或其他的方面、特征和优点将由以下结合附图的描述更加明显，附图中：图1是示出根据一示例实施方式的显示装置的示意图；图2是示出根据另一示例实施方式的显示装置的视图；图3是示出其中颜色转换层被进一步提供在图2所示的显示装置中的结构的视图；图4是示出其中滤色器层被进一步提供在图3所示的显示装置中的结构的视图；图5是示出其中图2所示的显示装置的电流扩展层被修改的变型示例的视图；图6是示出根据另一示例实施方式的显示装置的视图；图7是示出其中电流扩展层从图6所示的显示装置被去除的示例的视图；图8是示出其中图7所示的显示装置的第二电极结构被修改的变型示例的视图；图9是示出根据另一示例实施方式的显示装置的视图；图10是示出图2所示的显示装置的反射层的相对于波长的反射率的曲线图；图11是示出图2所示的显示装置的当该显示装置使用具有五对堆叠结构的分布式布拉格反射器时相对于波长的光强度的曲线图；图12、图13、图14、图15、图16、图17、图18、图19、图20、图21、图22和图23是示出根据一示例实施方式的制造显示装置的方法的视图；图24是示出根据另一示例实施方式的制造显示装置的方法的视图；图25和图26是示出根据另一示例实施方式的制造显示装置的方法的视图；以及图27、图28和图29是示出根据另外的示例实施方式的制造显示装置的方法的视图。具体实施方式现在将详细参照在附图中示出的示例实施方式，其中同样的附图标记始终指代本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示装置，包括多个子像素并且被配置为基于所述多个子像素中的每个发射光，所述显示装置包括：/n基板；/n驱动层，提供在所述基板上并且包括配置为向所述显示装置施加电流的驱动元件；/n电连接到所述驱动层的第一电极；/n提供在所述第一电极上的第一半导体层；/n提供在所述第一半导体层上的有源层；/n提供在所述有源层上的第二半导体层；/n提供在所述第二半导体层上的第二电极；以及/n提供在所述第二半导体层上的反射层，/n其中从所述有源层发射的光在所述第一电极与所述反射层之间谐振。/n

【技术特征摘要】
20191211 KR 10-2019-01647921.一种显示装置，包括多个子像素并且被配置为基于所述多个子像素中的每个发射光，所述显示装置包括：
基板；
驱动层，提供在所述基板上并且包括配置为向所述显示装置施加电流的驱动元件；
电连接到所述驱动层的第一电极；
提供在所述第一电极上的第一半导体层；
提供在所述第一半导体层上的有源层；
提供在所述有源层上的第二半导体层；
提供在所述第二半导体层上的第二电极；以及
提供在所述第二半导体层上的反射层，
其中从所述有源层发射的光在所述第一电极与所述反射层之间谐振。


2.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述反射层包括分布式布拉格反射器。


3.根据权利要求2所述的显示装置，其中所述分布式布拉格反射器包括交替地提供的具有第一折射率的第一层和具有第二折射率的第二层，并且所述第一层和所述第二层被提供成两对至五对。


4.根据权利要求1所述的显示装置，还包括提供在所述基板与所述驱动层之间的联接层。


5.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述基板包括硅基板、玻璃基板、蓝宝石基板或涂覆有硅氧化物的硅基板。


6.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述驱动元件包括晶体管、薄膜晶体管或高电子迁移率晶体管。


7.根据权利要求1所述的显示装置，还包括隔离结构，所述隔离结构基于所述多个子像素中的每个隔离所述有源层。


8.根据权利要求7所述的显示装置，其中所述隔离结构包括离子注入区域。


9.根据权利要求7所述的显示装置，还包括电流阻挡层，所述电流阻挡层提供在所述驱动层与所述隔离结构之间并且对应于所述隔离结构。


10.根据权利要求1所述的显示装置，还包括电流扩展层，所述电流扩展层提供在所述第二半导体层与所述反射层之间以及在所述反射层与所述第二电极之间。


11.根据权利要求1所述的显示装置，还包括电流扩展层，所述电流扩展层提供在所述第二半导体层与所述反射层之间以及在所述第二半导体层与所述第二电极之间。


12.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述第二电极在面对所述有源层的区域中包括窗口区域，并且所述有源层的宽度小于所述窗口区域的宽度。


13.根据权利要求1所述的显示装置，还包括多个颜色转换层，所述多个颜色转换层被配置为将从所述有源层发射的光转换成具有不同颜色的光。


14.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述第二电极是透明的并且覆盖所述第二半导体层。


15.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述第二电极是不透明的并且包括被配置为透射从所述有源层发射的光的窗口区域。


16.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述基板和所述驱动层形成互补金属氧化物半导体底板。


17.一种制造显示...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔濬熙，孔基毫，金洛铉，朴正勋，朴珍珠，韩周宪，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR