工艺建模整合系统、储存介质及计算机设备技术方案

本发明专利技术公开了一种工艺建模整合系统，包括：工艺流程导入模块，用于导入工艺流程各步骤和/或所述各步骤的参数结构；系统逻辑验证模块，用于验证所述各步骤的完整性和正确性；关联人定义模块，用于定义技术参数导入的多个关联人和/或验证的多个确认人；技术参数导入和验证模块，用于导入技术参数并验证所述技术参数是否完整和正确；数据整合模块，用于对验证通过的所述各步骤的所述技术参数进行整合；输出模块，用以将所述数据整合模块输出的数据输出至建模系统。输出至建模系统。输出至建模系统。

【技术实现步骤摘要】
工艺建模整合系统、储存介质及计算机设备


[0001]本专利技术涉及半导体集成电路制造领域，更具体地，涉及一种工艺建模整合系统、储存介质及计算机设备

技术介绍

[0002]在半导体集成电路制造工厂的生产线上，通常是采用制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)进行工艺流程控制。当生产的产品不同时，工艺流程也会不同。不同的产品，需要在MES中建立对应的工艺流程模型。
[0003]工艺流程建模是半导体制造工厂的最基本需求，建模的准确性对产品品质、生产设备乃至工厂环境起到至关重要的影响，建立过程不允许任何数据错误或失配问题。但各工厂生产系统及建模架构差异，目前市场上并没有专门用于建模数据整合的系统用于生产制造。
[0004]目前建模流程主要通过各类表单进行数据定义，通过人工的方式进行数据收集和整合，完成相关表单定义后再导入生产系统进行建模。这种建模流程存在人工干预环节较多，失误风险高、时效性不佳、数据版本缺乏管控等风险。

技术实现思路

[0005]本专利技术所要解决的技术问题是，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工艺建模整合系统，其特征在于，包括：工艺流程导入模块，用于导入工艺流程各步骤和/或所述各步骤的参数结构；系统逻辑验证模块，用于验证所述各步骤的完整性和正确性；关联人定义模块，用于定义技术参数导入的多个关联人和/或验证的多个确认人；技术参数导入和验证模块，用于导入技术参数并验证所述技术参数是否完整和正确；数据整合模块，用于对验证通过的所述各步骤的所述技术参数进行整合；输出模块，用以将所述数据整合模块输出的数据输出至建模系统。2.如权利要求1所述的工艺建模整合系统，其特征在于，所述数据整合模块还用于对整合后的数据进行校验。3.如权利要求1所述的工艺建模整合系统，其特征在于，所述数据整合模块可将数据整合结果反馈至关联人定义模块。4.如权利要求1所述的工艺建模整合系统，其特征在于，所述技术参数验证模块包括：技术参数导入模块，用于导入和/或补充所述各步骤的技术参数；系统验证模...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐莹，周维，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：