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本发明公开了一种工艺建模整合系统，包括：工艺流程导入模块，用于导入工艺流程各步骤和/或所述各步骤的参数结构；系统逻辑验证模块，用于验证所述各步骤的完整性和正确性；关联人定义模块，用于定义技术参数导入的多个关联人和/或验证的多个确认人；技术参...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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