高度自动补偿稳定测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高度自动补偿稳定测量装置，包括：工件输送装置，工件输送装置上承载有工件；三维运动平台，三维运动平台设于工件输送装置的上方，三维运动平台上设有高度测量装置和视觉识别装置，高度测量装置和视觉识别装置在三维运动平台的驱动下在xy平面内活动；顶升机构，顶升机构设于工件的下方，顶升机构的一部分可沿z轴活动，以将工件顶起。本发明专利技术结构简单，通过将高度测量装置和视觉识别装置设置为在xy平面内活动，避免了高度方向的测量误差，同时利用顶升机构调节将工件顶起的高度，实现了高度自动补偿，检测与调试动作分离，相互之间不干扰，检测精度和加工效果得到提高。检测精度和加工效果得到提高。检测精度和加工效果得到提高。

【技术实现步骤摘要】
高度自动补偿稳定测量装置


[0001]本专利技术属于芯片加工
，具体涉及一种高度自动补偿稳定测量装置。

技术介绍

[0002]视觉处理技术在芯片加工过程中运用越来越广泛，然而现有技术通常将视觉检测仪器和高度检测仪器设置在工件上方的z向运动机构上，由于z向运动机构本身存在z向运动误差，进而导致了视觉和高度的测量误差；另一方面，在检测出工件高度出现偏差时，顶升机构需要将工件顶起，现有的气缸顶升的高度无法实现精确控制，导致工件成品率低。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本专利技术提出一种高度自动补偿稳定测量装置，该高度自动补偿稳定测量装置具有避免测量装置本身误差，进而提升检测精度的优点。
[0005]根据本专利技术实施例的高度自动补偿稳定测量装置，包括：工件输送装置，所述工件输送装置上承载有工件；三维运动平台，所述三维运动平台设于所述工件输送装置的上方，所述三维运动平台上设有高度测量装置和视觉识别装置，所述高度测量装置和所述视觉识别装置在所述三维运动平台的驱动下在xy平面内活动；顶升机构，所述顶升机构设于所述工件的下方，所述顶升机构的一部分可沿z轴活动，以将所述工件顶起。
[0006]本专利技术的有益效果是，本专利技术结构简单，通过将高度测量装置和视觉识别装置设置为在xy平面内活动，避免了高度方向的测量误差，同时利用顶升机构调节将工件顶起的高度，实现了高度自动补偿，检测与调试动作分离，相互之间不干扰，检测精度和加工效果得到提高。
[0007]根据本专利技术一个实施例，所述三维运动平台包括：y向运动机构；x向运动机构，所述x向运动机构设于所述y向运动机构上，所述y向运动机构驱动所述x向运动机构沿y轴活动，所述高度测量装置和所述视觉识别装置设于所述x向运动机构上；z向运动机构，所述z向运动机构设于所述x向运动机构上，所述x向运动机构驱动所述z向运动机构沿x轴活动。
[0008]根据本专利技术一个实施例，所述顶升机构包括：顶升基板；轴承座固定块，所述轴承座固定块设在所述顶升基板上；顶升板，所述顶升板位于所述顶升基板的上方；调节块，所述调节块设在所述顶升板上；丝杆组件，所述丝杆组件的一部分与所述轴承座固定块相连，所述丝杆组件的另一部分与所述调节块相连，通过转动丝杆组件带动所述调节块和所述顶升板沿z轴活动。
[0009]根据本专利技术一个实施例，所述丝杆组件包括：丝杆轴，所述丝杆轴垂直于所述顶升板所在平面；丝杆支撑块，所述丝杆支撑块转动套设在所述丝杆轴上；丝杆滑块，所述丝杆滑块套设在所述丝杆轴上，所述丝杆滑块的内周缘与所述丝杆轴的外周缘通过螺纹相连，所述丝杆滑块的外周缘与所述调节块的内周缘转动相连。
[0010]根据本专利技术一个实施例，所述顶升机构还包括：电机，所述电机设在所述顶升基板
的侧面；主同步带轮，所述主同步带轮设于所述丝杆轴的一端；从同步带轮，所述从同步带轮设于所述电机的输出端；同步带，所述同步带套设在所述主同步带轮和从同步带轮上。
[0011]根据本专利技术一个实施例，所述顶升机构还包括：两个z向导向组件，所述两个z向导向组件设在所述轴承座固定块的左右两侧，所述z向导向组件的一端与所述顶升基板相连，所述z向导向组件的另一端与所述顶升板相连。
[0012]根据本专利技术一个实施例，所述顶升基板的上表面开设有安装槽，所述轴承座固定块设于所述安装槽内，所述丝杆支撑块的周侧面具有环形凸起，所述轴承座固定块的一部分与所述环形凸起相抵，以将所述丝杆支撑块压在所述安装槽内。
[0013]根据本专利技术一个实施例，所述丝杆轴的一端延伸至所述顶升基板的下方，所述同步带位于所述顶升基板的下方。
[0014]根据本专利技术一个实施例，所述顶升机构还包括：两个y向调节导轨组件，所述两个y向调节导轨组件设在所述工件输送装置上，所述两个y向调节导轨组件均平行于y轴，所述顶升基板设在所述两个y向调节导轨组件上，并在所述两个y向调节导轨组件的驱动下沿y轴运动。
[0015]根据本专利技术一个实施例，所述顶升机构还包括：复位光电开关和光电挡片，所述复位光电开关设在所述轴承座固定块的侧面，所述光电挡片设于所述z向导向组件上，并随所述z向导向组件沿z轴活动。
[0016]本专利技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
[0017]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0018]本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0019]图1是根据本专利技术的高度自动补偿稳定测量装置的立体结构示意图；
[0020]图2是根据本专利技术的高度自动补偿稳定测量装置中顶升机构的立体示意图；
[0021]图3是根据本专利技术的高度自动补偿稳定测量装置中顶升机构的剖视示意图；
[0022]附图标记：
[0023]三维运动平台
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1、高度测量装置
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2、视觉识别装置
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3、工件输送装置
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4、顶升机构
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5、y向调节导轨组件
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51、顶升基板
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52、z向导向组件
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53、顶升板
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54、轴承座固定块
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55、电机
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56、同步带
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57、主同步带轮
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58、从同步带轮
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59、丝杆轴
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510、丝杆支撑块
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511、丝杆滑块
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512、调节块
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513。
具体实施方式
[0024]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0025]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0026]在本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高度自动补偿稳定测量装置，其特征在于，包括：工件输送装置(4)，所述工件输送装置(4)上承载有工件；三维运动平台(1)，所述三维运动平台(1)设于所述工件输送装置(4)的上方，所述三维运动平台(1)上设有高度测量装置(2)和视觉识别装置(3)，所述高度测量装置(2)和所述视觉识别装置(3)在所述三维运动平台(1)的驱动下在xy平面内活动；顶升机构(5)，所述顶升机构(5)设于所述工件的下方，所述顶升机构(5)的一部分可沿z轴活动，以将所述工件顶起。2.根据权利要求1所述的高度自动补偿稳定测量装置，其特征在于，所述三维运动平台(1)包括：y向运动机构；x向运动机构，所述x向运动机构设于所述y向运动机构上，所述y向运动机构驱动所述x向运动机构沿y轴活动，所述高度测量装置(2)和所述视觉识别装置(3)设于所述x向运动机构上；z向运动机构，所述z向运动机构设于所述x向运动机构上，所述x向运动机构驱动所述z向运动机构沿x轴活动。3.根据权利要求1所述的高度自动补偿稳定测量装置，其特征在于，所述顶升机构(5)包括：顶升基板(52)；轴承座固定块(55)，所述轴承座固定块(55)设在所述顶升基板(52)上；顶升板(54)，所述顶升板(54)位于所述顶升基板(52)的上方；调节块(513)，所述调节块(513)设在所述顶升板(54)上；丝杆组件，所述丝杆组件的一部分与所述轴承座固定块(55)相连，所述丝杆组件的另一部分与所述调节块(513)相连，通过转动丝杆组件带动所述调节块(513)和所述顶升板(54)沿z轴活动。4.根据权利要求3所述的高度自动补偿稳定测量装置，其特征在于，所述丝杆组件包括：丝杆轴(510)，所述丝杆轴(510)垂直于所述顶升板(54)所在平面；丝杆支撑块(511)，所述丝杆支撑块(511)转动套设在所述丝杆轴(510)上；丝杆滑块(512)，所述丝杆滑块(512)套设在所述丝杆轴(510)上，所述丝杆滑块(512)的内周缘与所述丝杆轴(510)的外周缘通过螺纹相连，所述丝杆滑块(512)的外周缘与所述调节块(513)的内周缘转...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鹏，查进，阮开沧，曲东升，李长峰，
申请(专利权)人：铭赛机器人科技东莞有限公司，
类型：发明
国别省市：