半导体加工机床检测的自动化管理系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种用于半导体加工机床检测的自动化管理系统，包括：数据库，用于存储至少一个加工机床的至少一个测试项目、测试规格以及测试频率；处理单元，用于在该数据库中选取相对应的测试规格，以便在新增该加工机床的测试数据时进行即时计算与比对，并且产生检测结果；以及信息服务器，用于在该检测结果异常时发送测试异常通知信息给相关工作人员。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术提供一种用于半导体加工机床检测的管理系统与方法，尤其涉及一种半导体加工机床检测的自动化管理系统与方法，以避免人员作业疏忽所造成的检测异常。
技术介绍
随着工业社会的急速发展，各式各样的机器设备不断地被开发出来，以适应工业上大量生产的需要。以半导体电子元件为例，在其制作过程中便需要应用到薄膜机床、黄光机床、刻蚀机床、离子布植机床、快速高温处理机床、化学机械研磨机床等多种不同的加工机床来逐步定义元件的图案。为了使元件特性合于产品规格，相关业者除了对于作业环境制订了高度洁净度标准，对于加工机床的可靠度检测更制定了严苛的规格要求，无论新进机床或是已在运转中的加工机床都必须依照一定的检测频率，针对特定的检测项目来检测该加工机床是否符合检测规格，以有效维护加工机床的使用寿命，同时确保产品的合格率。参考图1，图1为已知半导体加工机床检测的方法流程图。如图1所示，已知半导体加工机床检测的方法流程图1包含下列步骤步骤11定义新机床，针对机床的操作环境条件、参数等信息进行设定、建档；步骤12由加工工程师定义新机床适用的测试列表，包括新机床的测试项目与测试规格；步骤13由作业人员进行机床的测试，利用监控板(monitor wafer)在机床中进行相关加工反应；步骤14由作业人员取得机床的量测值，并进行人工运算与人工判定；步骤15由作业人员将运算后的数据输入数据库；步骤16工程师通过数据库取得机床的测试数据； 步骤17工程师将取得的测试数据整理成报表，例如每周整理一次报表，利用EXCEL等工具软体将测试数据整理成趋势图；步骤18主管人员依报表的内容掌握机床状况；步骤19结束。由于已知方法依照上述步骤来进行机床检测时，必须先由加工工程师人工定义机床测试列表，之后作业人员进行测试时需经过人工运算后才将测试数据输入数据库，且工程师需每周整理报表，主管人员对测试状况也仅能通过工程师被动通知，因此不仅造成工程师的工作负担，作业人员也可能因为用错测试列表或人工计算错误而影响测试数据的正确性，且主管人员也无从取得即时测试数据来掌握机床状况，因而使得机床检测的效果大打折扣。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的是提供一种用于半导体加工机床检测的自动化管理系统与方法，避免人员作业疏忽造成检测异常。本专利技术的第二个目的是提供一种用于半导体加工机床检测的自动化管理系统与方法，以改善加工机床的检测效率。本专利技术的又一目的是提供一种用于半导体加工机床检测的自动化管理系统与方法，可以提供即时的测试数据以及数据异常通知。根据本专利技术的目的，该半导体加工机床检测的自动化管理系统包括数据库，用于存储至少一个加工机床的至少一个测试项目、测试规格以及测试频率；处理单元，用于在该数据库中选取相对应的测试规格，以便在新增该加工机床的测试数据时进行即时计算与比对，并且产生检测结果；以及信息服务器，用于在该检测结果异常时发送测试异常通知信息给相关工作人员。根据本专利技术的由一个目的，一种半导体加工机床检测的自动化管理方法包括在数据库中定义至少一个加工机床，以取得该加工机床的至少一个测试项目、测试规格以及测试频率；利用处理单元在该数据库中选取相对应的测试规格，以便在新增该加工机床的测试数据时进行即时计算与比对，并且产生检测结果；以及利用信息服务器在该检测结果异常时发送测试异常通知信息给相关工作人员。由于本专利技术的自动管理系统是根据数据库中的测试规格与计算公式来对作业人员输入的测试数据进行即时计算与结果判定，因此不仅可以有效提高检测效率，更可以有效避免人工运算错误，大幅度提高检测数据的可靠性。此外，本专利技术的自动管理系统包括异常数据管理功能，可以在测试结果判定异常时立刻以电子邮件方式通知相关人员，或是在机床未按照预定时间进行测试时也以电子邮件方式通知相关人员，因此相关人员可以随时掌握机床状况，有利于提高产品合格率。附图说明图1为已知半导体加工机床检测的方法流程图。图2为本专利技术半导体加工机床检测的自动化管理系统的功能方块图。图3为本专利技术半导体加工机床检测的自动化管理方法的流程图。图4为本专利技术的自动化管理系统在进行“加工机床导入”操作时的方法流程图。图5为本专利技术的自动化管理系统在进行“加工机床导入”操作时的另一实施例的方法流程图。图6为本专利技术的自动化管理系统在进行“测试数据输入”操作时的方法流程图。图7为本专利技术的自动化管理系统在进行“测试数据输入”操作时的另一实施例的方法流程图。图8为本专利技术的自动化管理系统在进行“测试数据查询”操作时的方法流程图。图9为本专利技术的自动化管理系统在进行“测试数据修改/删除”操作时的方法流程图。图10为本专利技术的自动化管理系统在进行“测试数据修改/删除”操作时的另一实施例的方法流程图。图11为本专利技术的自动化管理系统在进行“异常数据查询”操作时的方法流程图。图12为本专利技术的自动化管理系统在进行“测试数据绘图”操作时的方法流程图。图13为本专利技术的自动化管理系统在进行“定期电子邮件通知”操作时的方法流程图。图号说明1、3半导体加工机床检测方法流程图2自动化管理系统11～19已知半导体加工机床检测步骤21数据库22处理单元23信息服务器24用户端31～40本专利技术半导体加工机床检测步骤100～117“加工机床导入”操作步骤120～141“测试数据输入”操作步骤150～153“测试数据查询”操作步骤160～179“测试数据修改/删除”操作步骤190～185“异常数据查询”操作步骤190～194“测试数据绘图”操作步骤200～205“定期电子邮件通知”操作步骤211测试项目栏212测试规格栏213测试数据栏214用户数据栏221“用户登录”功能选项222“数据输入”功能选项223“数据查询”功能选项224“异常数据查询”功能选项225“绘图”功能选项226“定期检查”功能选项具体实施方式参考图2。图2为本专利技术半导体加工机床检测的自动化管理系统2的功能方块图。自动化管理系统2适用于已知所有半导体加工机床，包含刻蚀机床，黄光机床，离子布植机床，以及薄膜机床等机床检测。如图2所示，自动化管理系统2包括数据库21，用于存储加工机床(包括新导入机床以及将要进行再次检测的已存在机床)的测试项目、测试规格以及测试频率等数据，处理单元22，用于在新增测试数据时进行即时计算与比对，以获得检测结果，以及信息服务器23，用于在检测结果异常时发送测试异常通知信息给相关工作人员。其中，自动化管理系统2是一种线上管理系统，因此其用户端24可通过互联网络来存取自动化管理系统2，并且收取信息服务器23所发出的测试相关信息。数据库21包括测试项目栏211、测试规格栏212、测试数据栏213以及用户数据栏214。测试项目栏211是用于存储每一部加工机床必须进行的测试项目，通常是由系统开发者或其它具有权限的加工工程师来进行测试项目的设定、更新与维护。测试规格栏212是用于存储每个测试项目所对应的测试规格、测试规格启用日期以及测试频率等数据，通常是由加工工程师根据加工技术的开发与产品要求来进行测试规格、测试规格启用日期以及测试频率等数据的设定、更新与维护。测试数据栏213可用于存储每一部加工机床在进行测试时所取得的测试数据。用户数据栏214则可以用于存储处理单元22以及数据库21的所有用户端24的帐号本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体加工机床检测的自动化管理系统包括：　　　　数据库，用于存储至少一个加工机床的至少一个测试项目、测试规格以及测试频率；　　　　处理单元，用于在该数据库中选取相对应的测试规格，以便在新增该加工机床的测试数据时进行即时计算与比对，并且产生检测结果；以及　　　　信息服务器，用于在该检测结果异常时发送测试异常通知信息给相关工作人员。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林俊男，刘鸣宇，
申请(专利权)人：力晶半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]