本发明专利技术提供一种化学液供应装置及半导体设备。化学液供应装置包括原液供应模块、混液模块及互连模块；原液供应模块包括多个化学液供应单元，多个化学液供应单元用于供应不同的化学液；混液模块包括混合腔体，用于将化学液进行混合；互连模块包括互连管和多个液体管路，互连管用于连通原液供应模块和混液模块的内部空间，液体管路用于连通化学液供应单元和混合腔体，液体管路的数量与化学液供应单元的数量相对应。本发明专利技术相较于传统的双套管连接方式，可以极大减少管路安装工作量及成本、提高设备稳固性。相较于现有技术，本发明专利技术的化学液供应装置及半导体设备结构更加紧凑、可减少设备占用空间，设备的稳固性大大提高，有助于提高生产安全性。高生产安全性。高生产安全性。
【技术实现步骤摘要】
化学液供应装置及半导体设备
[0001]本专利技术涉及半导体生产制造领域，特别是涉及一种化学液供应装置及半导体设备。
技术介绍
[0002]在集成电路芯片制造厂、液晶面板制造厂及太阳能电池片生产厂内大量使用多种化学溶液。比如在集成电路芯片制造厂的湿法刻蚀工艺段使用多种强酸强碱性化学液以及多种化学液的混合液，比如SC1(NH4OH与H2O2的混合)，DSP(H2SO4与H2O2混合)。出于运输和成本等多方面因素的考虑，大部分集成电路芯片制造厂使用的混合液都是从外面厂家购入原液后在自家工厂内将多种原液按照一定的比例在化学混液设备内进行混合后供应到湿法设备内。由于原液一般为高浓度的腐蚀性化学品，比如为氢氟酸、硫酸和盐酸等，由原液供应模块输送到化学混液设备时，一旦出现液体泄露，尤其是液体输送管路一旦破裂，液体喷溅到环境中，将会造成化学泄露等生产事故，严重危害员工的生命和财产安全。
[0003]为了避免上述情况的发生，现有技术中，原液供应模块和化学混液设备的液体输送管路均采用双套管管路，即在每条液体输送管路外套设一层保护管路，以在管路破裂的情况下，可以将泄漏液体限制在保护管路以及化学混液设备和原液供应模块形成的相对封闭的环境内。然而这种保护管路和液体输送管路一一对应的双套管管路无论从设计还是选材，成本均较高，而且越多的连接管路意味着维修保养的工作量越大。此外，原液供应设备和化学混液设备之间仅采用管路连接，且这种连接为柔性连接，如果设备在运行过程中略微移动，就容易造成连接管路的断开，存在着极大的安全隐患。另外，现有设备中，原液供应模块和化学混液模块需要各自配备一套包含排风、压缩气体、N2等模块在内的厂务动力系统，导致设备的安装和使用成本进一步增加。
技术实现思路
[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种化学液供应装置及半导体设备，用于解决现有技术中的化学液混液设备中因每条液体输送管路需单独套设保护管路导致成本增加和/或现有的管路为柔性连接，容易断开乃至导致严重的生产事故、以及现有技术中的设备使用成本高等问题。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种化学液供应装置，包括原液供应模块、混液模块及互连模块；所述原液供应模块包括多个化学液供应单元，所述多个化学液供应单元用于供应不同的化学液；所述混液模块包括混合腔体，所述混合腔体用于将所述化学液供应单元供应的化学液进行混合；所述互连模块包括互连管和设于所述互连管内的多个液体管路，所述互连管用于连通所述原液供应模块和所述混液模块的内部空间，所述液体管路用于连通所述化学液供应单元和所述混合腔体，所述液体管路的数量与所述化学液供应单元的数量相对应。
[0006]可选地，所述互连模块还包括气体管路，所述气体管路与厂务的气体源相连通并
位于所述互连管内，用于为所述原液供应模块和所述混液模块中的元器件提供作为驱动力的气体。
[0007]可选地，所述原液供应模块和/或所述混液模块设置有排风口，所述排风口与厂务排气系统相连接。
[0008]可选地，所述互连管的两端设置有沿所述互连管的径向向外延伸的外延面，所述外延面上设置有多个螺丝孔，通过位于所述螺丝孔内的螺丝将所述互连管和所述原液供应模块以及所述混液模块相连接。
[0009]可选地，所述互连管与所述原液供应模块相邻的外延面上的螺丝孔和所述互连管与所述混液模块相邻的外延面上的螺丝孔中至少有一种为回型螺丝孔。
[0010]在一可选方案中，所述互连管和所述液体管路为各自独立的中空管路。
[0011]在另一可选方案中，所述互连管和所述液体管路为一体结构，所述液体管路为在所述互连管的内部间隔出的供液体流通的通道。
[0012]可选地，所述互连模块内部包括上层通道和下层通道，所述液体管路位于所述下层通道内，所述上层通道内设置有用于放置电气信号线的电气管路。
[0013]可选地，所述化学液供应装置还包括固定模块，所述固定模块连接于所述原液供应模块和所述混液模块之间，以使所述原液供应模块和所述混液模块不发生位移。
[0014]可选地，所述固定模块包括连接框体和位于所述连接框体周向上的螺丝孔，通过位于所述螺丝孔内的螺丝将所述固定模块与所述原液供应模块和所述混液模块相连接。
[0015]可选地，所述连接框体上的螺丝孔为回型螺丝孔。
[0016]可选地，所述固定模块为多个，多个所述固定模块分别连接于所述原液供应模块和所述混液模块相对的两个侧面上。
[0017]本专利技术还提供一种半导体设备，包括：
[0018]如上述任一方案中所述的化学液供应装置及反应腔室，所述反应腔室与所述混液模块相连接，化学液经所述互连模块的液体管路进入所述混液模块的混合腔体进行混液后，经所述混液模块的供应管路供应至所述反应腔室内。
[0019]如上所述，本专利技术的化学液供应装置及半导体设备，具有以下有益效果：本专利技术通过互连模块将原液供应模块和混液模块相连接，相较于传统的双套管，可以极大减少管路安装工作量及成本；且本专利技术还可以通过进一步的固定模块等设计增强管路连接的稳固性，减少厂务系统的使用量。相较于现有技术，本专利技术的化学液供应装置及半导体设备结构更加紧凑、可减少设备占用空间，同时设备的稳固性大大提高，有助于提高生产安全性。
附图说明
[0020]图1显示为本专利技术的化学液供应装置的结构示意图。
[0021]图2显示为图1中的A区域的放大示意图。
[0022]图3显示为图1的互连模块与原液供应模块及混液模块的连接示意图。
[0023]图4和图5显示为图1的互连模块的结构示意图，其中，图4为主视图，图5为截面结构示意图。
[0024]图6显示为图1的固定模块的结构示意图。
[0025]图7显示为图1的固定模块与原液供应模块及混液模块的连接结构示意图。
[0026]元件标号说明
[0027]11
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原液供应模块
[0028]11a
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原液供应模块的腔壁
[0029]12
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混液模块
[0030]12a
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混液模块的腔壁
[0031]13
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互连模块
[0032]13a
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上层通道
[0033]13b
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下层通道
[0034]131
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互连管
[0035]131a
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外延面
[0036]131b
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学液供应装置，其特征在于，包括：原液供应模块，所述原液供应模块包括多个化学液供应单元，所述多个化学液供应单元用于供应不同的化学液；混液模块，所述混液模块包括混合腔体，所述混合腔体用于将所述化学液供应单元供应的化学液进行混合；互连模块，包括互连管和设于所述互连管内的多个液体管路，所述互连管用于连通所述原液供应模块和所述混液模块的内部空间，所述液体管路用于连通所述化学液供应单元和所述混合腔体，所述液体管路的数量与所述化学液供应单元的数量相对应。2.根据权利要求1所述的化学液供应装置，其特征在于：所述互连模块还包括气体管路，所述气体管路与厂务的气体源相连通并位于所述互连管内，用于为所述原液供应模块和所述混液模块中的元器件提供作为驱动力的气体。3.根据权利要求1所述的化学液供应装置，其特征在于：所述原液供应模块和/或所述混液模块设置有排风口，所述排风口与厂务排气系统相连接。4.根据权利要求1所述的化学液供应装置，其特征在于：所述互连管的两端设置有沿所述互连管的径向向外延伸的外延面，所述外延面上设置有多个螺丝孔，通过位于所述螺丝孔内的螺丝将所述互连管和所述原液供应模块以及所述混液模块相连接，其中，所述互连管与所述原液供应模块相邻的外延面上的螺丝孔和所述互连管与所述混液模块相邻的外延面上的螺丝孔中至少有一种为回型螺丝孔。5.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：代迎伟，李军世，金一诺，王坚，王晖，
申请(专利权)人：盛美半导体设备上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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