本实用新型专利技术公开了一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置，包括箱体和箱盖，所述箱体的上表面固定连接有箱盖，所述箱体的一侧设置有抽气装置，所述箱体的内部设置有水循环装置，所述箱体的内底壁固定连接有第一蒸发板，所述第一蒸发板的上方设置有第二蒸发板，所述第二蒸发板之间设置有镀膜腔。该用于类金刚石镀膜设备的保养装置，通过立杆的设置，能够避免换热管与第二蒸发板直接接触，起到了保护和支撑的作用，通过水循环装置的设置，能够通过水泵将水箱内的冷水抽进箱体内，同时换热管将箱体内的水再排进水箱，达到水循环的目的，从而实现对箱体内部的降温散热，起到了保养的作用，避免箱体内部零件因温度过高而损坏。
【技术实现步骤摘要】
一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置
本技术涉及镀膜设备
，具体为一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置。
技术介绍
类金刚石薄膜通常又被人们称为DLC薄膜,是英文词汇DiamondLikeCarbon的简称，它是一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料，兼具了金刚石和石墨的优良特性，具有高硬度，高电阻率，良好光学性能等，同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。现有的类金刚石镀膜设备保养装置保养效果不够好，类金刚石镀膜设备内部温度较高，如果不能够及时降温，则容易导致内部零件损坏，而且金刚石镀膜设备内部需要真空环境，密封不够紧密时容易造成薄膜开裂和剥落。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。(二)技术方案为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置，包括箱体和箱盖，所述箱体的上表面固定连接有箱盖，所述箱体的一侧设置有抽气装置，所述箱体的内部设置有水循环装置，所述箱体的内底壁固定连接有第一蒸发板，所述第一蒸发板的上方设置有第二蒸发板，所述第二蒸发板之间设置有镀膜腔，所述镀膜腔的上方设置有分流机构，所述分流机构的上方设置有进料口，所述箱体的内壁固定连接有真空传感器，所述箱体的内底壁位于第一蒸发板的两侧固定连接有立杆。可选的，所述箱体的正面设置有观察窗，所述观察窗的下方设置有磁性吸合门，所述磁性吸合门的正面固定连接有门把手，所述磁性吸合门的背面设置有隔热板。可选的，所述抽气装置的上方位于箱体的外表面固定连接有U形架，所述箱盖的上表面固定连接有提手，所述提手的外表面套接有防滑套。可选的，所述抽气装置包括真空泵和抽气管，所述抽气管与箱体的侧壁固定连接，所述抽气管的中部固定连接有真空泵。可选的，所述水循环装置包括水泵、换热管和水箱，所述换热管绕立杆螺旋设置，所述换热管的进水口设置有水泵，所述换热管的出水口与水箱固定连接。可选的，所述分流机构包括进料管、扩散管和分流管，所述进料口的下方设置有进料管，所述进料管的下表面固定连接有扩散管，所述扩散管的下表面固定连接有分流管。可选的，所述箱体的下表面固定连接有支腿，所述支腿的数量为四个。(三)有益效果本技术提供了一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置，具备以下有益效果：1、该用于类金刚石镀膜设备的保养装置，通过抽气装置、真空传感器的设置，抽气装置能够将箱体内部的空气抽出，真空传感器实时检测箱体内部的真空度，从而保证箱体内部的真空环境，通过分流机构的设置，能够将镀膜料进行分流，保证镀膜更加全面，通过磁性吸合门的设置，能够避免空气进入箱体内部，也方便取放镀膜腔。2、该用于类金刚石镀膜设备的保养装置，通过立杆的设置，能够避免换热管与第二蒸发板直接接触，起到了保护和支撑的作用，通过水循环装置的设置，能够通过水泵将水箱内的冷水抽进箱体内，同时换热管将箱体内的水再排进水箱，达到水循环的目的，从而实现对箱体内部的降温散热，起到了保养的作用，避免箱体内部零件因温度过高而损坏。附图说明图1为本技术立体结构示意图；图2为本技术主视剖面结构示意图；图3为本技术主视结构示意图；图4为本技术磁性吸合门的结构示意图。图中：1、箱体；2、箱盖；3、抽气装置；301、真空泵；302、抽气管；4、水循环装置；401、水泵；402、换热管；403、水箱；5、第一蒸发板；6、第二蒸发板；7、镀膜腔；8、分流机构；801、进料管；802、扩散管；803、分流管；9、进料口；10、真空传感器；11、立杆；12、观察窗；13、磁性吸合门；14、门把手；15、隔热板；16、U形架；17、提手；18、支腿。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置，包括箱体1和箱盖2，箱体1的正面设置有观察窗12，观察窗12的下方设置有磁性吸合门13，磁性吸合门13的正面固定连接有门把手14，磁性吸合门13的背面设置有隔热板15，通过磁性吸合门13的设置，能够避免空气进入箱体1内部，也方便取放镀膜腔7，箱体1的上表面固定连接有箱盖2，箱盖2的上表面固定连接有提手17，提手17的外表面套接有防滑套，箱体1的一侧设置有抽气装置3，抽气装置3包括真空泵301和抽气管302，抽气管302与箱体1的侧壁固定连接，抽气管302的中部固定连接有真空泵301，箱体1的内部设置有水循环装置4，水循环装置4包括水泵401、换热管402和水箱403，换热管402绕立杆11螺旋设置，换热管402的进水口设置有水泵401，换热管402的出水口与水箱403固定连接，通过水循环装置4的设置，能够通过水泵401将水箱403内的冷水抽进箱体1内，同时换热管402将箱体1内的水再排进水箱403，达到水循环的目的，从而实现对箱体1内部的降温散热，起到了保养的作用，避免箱体1内部零件因温度过高而损坏，箱体1的内底壁固定连接有第一蒸发板5，第一蒸发板5的上方设置有第二蒸发板6，第二蒸发板6之间设置有镀膜腔7，镀膜腔7的上方设置有分流机构8，分流机构8包括进料管801、扩散管802和分流管803，进料口9的下方设置有进料管801，进料管801的下表面固定连接有扩散管802，扩散管802的下表面固定连接有分流管803，通过分流机构8的设置，能够将镀膜料进行分流，保证镀膜更加全面，分流机构8的上方设置有进料口9，箱体1的内壁固定连接有真空传感器10，通过抽气装置3、真空传感器10的设置，抽气装置3能够将箱体1内部的空气抽出，真空传感器10实时检测箱体1内部的真空度，从而保证箱体1内部的真空环境，箱体1的内底壁位于第一蒸发板5的两侧固定连接有立杆11，通过立杆11的设置，能够避免换热管402与第二蒸发板6直接接触，起到了保护和支撑的作用，抽气装置3的上方位于箱体1的外表面固定连接有U形架16，箱体1的下表面固定连接有支腿18，支腿18的数量为四个。综上，该用于类金刚石镀膜设备的保养装置，在使用时，通过磁性吸合门13的设置，能够避免空气进入箱体1内部，也方便取放镀膜腔7，通过水循环装置4的设置，能够通过水泵401将水箱403内的冷水抽进箱体1内，同时换热管402将箱体1内的水再排进水箱403，达到水循环的目的，从而实现对箱体1内部的降温散热，起到了保养的作用，避免箱体1内部零件因温度过高而损坏，通过分流机构8的设置，能够将镀膜料进行分流，保证镀膜更加全面，通过抽气装置3、真空传感器10的设置，抽气装置3能够将箱体1内部的空气抽出，真空传感器10实时检测箱体1内部的真空度，从而保证箱体1内部的真空环境，通过立杆11的设置，能够避免换热管402本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置，包括箱体(1)和箱盖(2)，其特征在于：所述箱体(1)的上表面固定连接有箱盖(2)，所述箱体(1)的一侧设置有抽气装置(3)，所述箱体(1)的内部设置有水循环装置(4)，所述箱体(1)的内底壁固定连接有第一蒸发板(5)，所述第一蒸发板(5)的上方设置有第二蒸发板(6)，所述第二蒸发板(6)之间设置有镀膜腔(7)，所述镀膜腔(7)的上方设置有分流机构(8)，所述分流机构(8)的上方设置有进料口(9)，所述箱体(1)的内壁固定连接有真空传感器(10)，所述箱体(1)的内底壁位于第一蒸发板(5)的两侧固定连接有立杆(11)。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置，包括箱体(1)和箱盖(2)，其特征在于：所述箱体(1)的上表面固定连接有箱盖(2)，所述箱体(1)的一侧设置有抽气装置(3)，所述箱体(1)的内部设置有水循环装置(4)，所述箱体(1)的内底壁固定连接有第一蒸发板(5)，所述第一蒸发板(5)的上方设置有第二蒸发板(6)，所述第二蒸发板(6)之间设置有镀膜腔(7)，所述镀膜腔(7)的上方设置有分流机构(8)，所述分流机构(8)的上方设置有进料口(9)，所述箱体(1)的内壁固定连接有真空传感器(10)，所述箱体(1)的内底壁位于第一蒸发板(5)的两侧固定连接有立杆(11)。
2.根据权利要求1所述的一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置，其特征在于：所述箱体(1)的正面设置有观察窗(12)，所述观察窗(12)的下方设置有磁性吸合门(13)，所述磁性吸合门(13)的正面固定连接有门把手(14)，所述磁性吸合门(13)的背面设置有隔热板(15)。
3.根据权利要求1所述的一种用于类金刚石镀膜设备的保养装置，其特征在于：所述抽气装置(3)的上方位于箱体(1)的外表面固定连接有U形架(16)，所述箱盖(2)的上表面固定连接有提手(17)，所述提手(17)的外表...
【专利技术属性】
技术研发人员：李长栋，魏承亚，魏茂奎，
申请(专利权)人：山东沐东真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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