一种用于真空蒸发设备的散热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于真空蒸发设备的散热装置，包括底座和散热壳体，所述底座的上表面固定安装有散热壳体，所述散热壳体的内壁固定连接有散热鳍片，所述散热壳体的内底壁固定安装有冷却风扇，所述散热壳体的内部设置有S型冷凝管，所述S型冷凝管的一端固定连接有倒流管。本实用新型专利技术通过S型冷凝管缠绕在真空蒸发设备的外表面对其外壁进行降温，通过散热鳍片将热量吸取进一步进行散热，通过通风支撑板对真空蒸发设备进行支撑并将冷却风扇工作时产生的冷风传导至真空蒸发设备的表面对其进行降温，通过双重降温增加对真空蒸发设备的降温效率，避免真空腔体内部温度过高，导致真空腔体内部的机械结构发生形变，进一步提高产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空蒸发设备的散热装置
本技术涉及真空蒸发设备散热处理
，具体为一种用于真空蒸发设备的散热装置。
技术介绍
真空蒸发是在真空下进行的蒸发操作，真空蒸发的特点是，在低压下溶液的沸点降低且用较少的蒸汽蒸发大量的水分；真空蒸发设备包括降膜式蒸发机和真空镀膜机等设备，真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)，属于物理气相沉积工艺，真空镀膜技术广泛应用到电子、宇航、包装、光伏等
，当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要求，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度过高，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效，且现有的真空镀膜机散热较多采用自然冷却，效果较差，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏，因此，现在需要一种能解决上述问题的用于真空蒸发设备的散热装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于真空蒸发设备的散热装置以解决上述
技术介绍
中提出的问题。>为实现上述目的，本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空蒸发设备的散热装置，包括底座(1)和散热壳体(2)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定安装有散热壳体(2)，所述散热壳体(2)的内壁固定连接有散热鳍片(3)，所述散热壳体(2)的内底壁固定安装有冷却风扇(4)，所述散热壳体(2)的内部位于冷却风扇(4)的上方固定安装有通风支撑板(5)，所述散热壳体(2)的内部位于散热鳍片(3)的一侧设置有S型冷凝管(6)，所述底座(1)的上表面位于散热壳体(2)的一侧固定安装有制冷箱(7)，所述制冷箱(7)的一侧固定安装有储液箱(8)，所述储液箱(8)的顶部固定安装有水泵(9)，所述S型冷凝管(6)的一端固定连接有一端贯穿至储液箱(8)的侧...

【技术特征摘要】
1.一种用于真空蒸发设备的散热装置，包括底座(1)和散热壳体(2)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定安装有散热壳体(2)，所述散热壳体(2)的内壁固定连接有散热鳍片(3)，所述散热壳体(2)的内底壁固定安装有冷却风扇(4)，所述散热壳体(2)的内部位于冷却风扇(4)的上方固定安装有通风支撑板(5)，所述散热壳体(2)的内部位于散热鳍片(3)的一侧设置有S型冷凝管(6)，所述底座(1)的上表面位于散热壳体(2)的一侧固定安装有制冷箱(7)，所述制冷箱(7)的一侧固定安装有储液箱(8)，所述储液箱(8)的顶部固定安装有水泵(9)，所述S型冷凝管(6)的一端固定连接有一端贯穿至储液箱(8)的侧壁并延伸至其内部的倒流管(10)。


2.根据权利要求1所述的一种用于真空蒸发设备的散热装置，其特征在于：所述散热壳体(2)的表面设置有散热口(11)，所述散热口(11)的内部设置有防尘网(12)。


3.根据权利要求1所述的一种用于真空蒸发设备的散热装置，其特征在于：所述散热壳体(2)的外表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：李长栋，魏承亚，魏俊杰，
申请(专利权)人：山东沐东真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37