【技术实现步骤摘要】
本技术涉及安装机构的，特别是涉及一种真空镀膜机的弧源安装机构。
技术介绍
1、真空镀膜机是一种需要在较高真空度下对工件进行的镀膜的设备，其中组成真空镀膜机的弧源部属于重要部件，其需要通过安装机构稳固在真空镀膜机上，经检索公告号为cn211142146u的专利文件中，提供了一种真空镀膜机的弧源安装机构，包括镀膜机本体，所述镀膜机本体包括开设在其上端侧壁的管体一和管体二，所述镀膜机本体的一端通过螺孔固定连接有盖体，且盖体与镀膜机本体的侧壁转动连接，所述镀膜机本体的另一端固定套设有尾筒，所述镀膜机本体和尾筒的下端固定连接有多个支撑，所述盖体靠近镀膜机本体的一侧侧壁通过多个弧形块固定嵌设有弧源部，且弧源部的表面设置有弧源发生端，所述弧形块与弧源部之间通过螺栓固定连接，但其使用过程中发现，上述装置需要工作人员拧动多组螺栓进行弧源部的拆装，费时费力，导致弧源部拆装的便捷性较差。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本技术提供一种避免了通过拧动多组螺栓实现对盖体的拆装，省时省力，提高其使用便捷性的真空...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的弧源安装机构，包括真空镀膜机本体(1)和盖体(2)，真空镀膜机本体(1)的左端设置有法兰盘，盖体(2)与真空镀膜机本体(1)的法兰盘通过螺栓连接，其特征在于，还包括安装组件、弧源部(3)和固定组件，安装组件安装在盖体(2)上，安装组件用于稳固弧源部(3)，并且弧源部(3)与盖体(2)的内侧壁接触，弧源部(3)上设置有弧源发生端，固定组件安装在盖体(2)内侧壁上，固定组件用于加强对弧源部(3)的固定；
2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的弧源安装机构，其特征在于，把手(13)上设置有防滑纹。
3.如权利要求1所述的一种真空镀...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的弧源安装机构，包括真空镀膜机本体(1)和盖体(2)，真空镀膜机本体(1)的左端设置有法兰盘，盖体(2)与真空镀膜机本体(1)的法兰盘通过螺栓连接，其特征在于，还包括安装组件、弧源部(3)和固定组件，安装组件安装在盖体(2)上，安装组件用于稳固弧源部(3)，并且弧源部(3)与盖体(2)的内侧壁接触，弧源部(3)上设置有弧源发生端，固定组件安装在盖体(2)内侧壁上，固定组件用于加强对弧源部(3)的固定；
2.如权利要求1所述的一种真空镀膜机的弧源安装机构，其特征在于，把手(13)上设置有防滑纹。...
【专利技术属性】
技术研发人员：李长栋，魏俊杰，高峰，姜佃超，
申请(专利权)人：山东沐东真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。