一种芯片生产用方便送料的刻蚀机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片生产用方便送料的刻蚀机，包括底座，所述底座的顶部固定安装有密封箱，所述密封箱的正面通过铰链铰接有密封门，所述底座内部的两侧均固定安装有第一安装杆，所述第一安装杆相对靠近的一侧均固定安装有两个放置杆，所述底座的顶部固定安装有第二安装杆，所述第二安装杆的底部设置有安装底板。本实用新型专利技术通过设置底座用于对密封箱进行安装，通过设置密封箱用于对物体进行刻蚀，通过设置密封门用于将物体送至密封箱的内部，同时与密封箱密封使得密封箱内部产生真空，同时解决了现有的刻蚀机较大，其刻蚀设备位于机体的中部不方便送料，从而导致生产效率低下的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片生产用方便送料的刻蚀机
本技术涉及刻蚀机
，具体为一种芯片生产用方便送料的刻蚀机。
技术介绍
等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等，等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面，某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况，进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分，工件送入被真空泵抽空的反应室，气体被导入并与等离子体进行交换，等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走，等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺，近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式，这种设计的是富有弹性的，用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法：反应性等离子体、顺流等离子体和直接等离子体。现有的刻蚀机较大，其刻蚀设备位于机体的中部不方便送料，从而导致生产效率低下，不能够满足使用需要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种芯片生产用方便送料的刻蚀机，具备方便上料的优点，解决了现有的刻蚀机较大，其刻蚀设备位于机体的中部不方便送料，从而导致生产效率低下的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种芯片生产用方便送料的刻蚀机，包括底座，所述底座的顶部固定安装有密封箱，所述密封箱的正面通过铰链铰接有密封门，所述底座内部的两侧均固定安装有第一安装杆，所述第一安装杆相对靠近的一侧均固定安装有两个放置杆，所述底座的顶部固定安装有第二安装杆，所述第二安装杆的底部设置有安装底板，所述安装底板底部的正面固定安装有固定杆，所述安装底板的底部且位于固定杆的背面设置有移动夹杆。优选的，所述第二安装杆的正面固定安装有第一电机，所述第二安装杆的内部开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内部滑动连接有第一滑块，所述第一滑块的底部与安装底板的顶部固定连接。优选的，所述第一电机的输出轴固定安装有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆通过第一螺纹与第一滑块转动连接，所述第一螺纹杆与第二安装杆之间通过第一轴承转动连接。优选的，所述安装底板的背面固定安装有第二电机，所述安装底板的内部开设有第二滑槽，所述第二滑槽的内部滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的底部与移动夹杆的顶部固定连接。优选的，所述第二电机的输出端固定安装有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆通过第二螺纹与第二滑块转动连接，所述第二螺纹杆与安装底板之间通过第二轴承转动连接。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1、本技术通过设置底座用于对密封箱进行安装，通过设置密封箱用于对物体进行刻蚀，通过设置密封门用于将物体送至密封箱的内部，同时与密封箱密封使得密封箱内部产生真空，同时解决了现有的刻蚀机较大，其刻蚀设备位于机体的中部不方便送料，从而导致生产效率低下的问题。2、本技术通过第一滑块和第一滑槽之间的配合实现对安装底板进行固定，通过第一电机、第一滑块、第一滑槽和第一螺纹杆之间的配合实现对安装底板的位置进行移动，从而实现对物体的输送，通过设置第二滑块和第二电机之间的配合实现对移动夹杆进行限位，通过第二螺纹杆、第二滑槽、第二滑块和第二电机之间的配合实现对移动夹杆的位置进行调节，通过移动夹杆和固定杆之间的配合实现对物体进行夹持。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术截面结构示意图；图3为本技术侧面截面结构示意图。图中：1、底座；2、密封箱；3、密封门；4、第一安装杆；5、放置杆；6、固定杆；7、安装底板；8、第二安装杆；9、第一电机；10、移动夹杆；11、第一滑块；12、第二螺纹杆；13、第二滑槽；14、第二滑块；15、第二电机；16、第一滑槽；17、第一螺纹杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本申请文件的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。在本申请文件的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。请参阅图1-3，一种芯片生产用方便送料的刻蚀机，包括底座1，底座1的顶部固定安装有密封箱2，密封箱2的正面通过铰链铰接有密封门3，底座1内部的两侧均固定安装有第一安装杆4，第一安装杆4相对靠近的一侧均固定安装有两个放置杆5，底座1的顶部固定安装有第二安装杆8，第二安装杆8的底部设置有安装底板7，安装底板7底部的正面固定安装有固定杆6，安装底板7的底部且位于固定杆6的背面设置有移动夹杆10，通过设置底座1用于对密封箱2进行安装，通过设置密封箱2用于对物体进行刻蚀，通过设置密封门3用于将物体送至密封箱2的内部，同时与密封箱2密封使得密封箱2内部产生真空，第二安装杆8的正面固定安装有第一电机9，第二安装杆8的内部开设有第一滑槽16，第一滑槽16的内部滑动连接有第一滑块11，第一滑块11的底部与安装底板7的顶部固定连接，通过第一滑块11和第一滑槽16之间的配合实现对安装底板7进行固定，第一电机9的输出轴固定安装有第一螺纹杆17，第一螺纹杆17通过第一螺纹与第一滑块11转动连接，第一螺纹杆17与第二安装杆8之间通过第一轴承转动连接，通过第一电机9、第一滑块11、第一滑槽16和第一螺纹杆17之间的配合实现对安装底板7的位置进行移动，从而实现对物体的输送，安装底板7的背面固定安装有第二电机15，安装底板7的内部开设有第二滑槽13，第二滑槽13的内部滑动连接有第二滑块14，第二滑块14的底部与移动夹杆10的顶部固定连接，通过设置第二滑块14和第二电机15之间的配合实现对移动夹杆10进行限位，第二电机15的输出端固定安装有第二螺纹杆12，第二螺纹杆12通过第二螺纹与第二滑块14转动连接，第二螺纹杆12与安装底板7之间通过第二轴承转动连接，通过第二螺纹杆12、第二滑槽13、第二滑块14和第二电机15之间的配合实现对移动夹杆10的位置进行调节，通过移动夹杆10和固定杆6之间的配合实现对物体进行夹持。使用时，将密封箱2正面的密封门本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片生产用方便送料的刻蚀机，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部固定安装有密封箱（2），所述密封箱（2）的正面通过铰链铰接有密封门（3），所述底座（1）内部的两侧均固定安装有第一安装杆（4），所述第一安装杆（4）相对靠近的一侧均固定安装有两个放置杆（5），所述底座（1）的顶部固定安装有第二安装杆（8），所述第二安装杆（8）的底部设置有安装底板（7），所述安装底板（7）底部的正面固定安装有固定杆（6），所述安装底板（7）的底部且位于固定杆（6）的背面设置有移动夹杆（10）。/n

【技术特征摘要】
1.一种芯片生产用方便送料的刻蚀机，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部固定安装有密封箱（2），所述密封箱（2）的正面通过铰链铰接有密封门（3），所述底座（1）内部的两侧均固定安装有第一安装杆（4），所述第一安装杆（4）相对靠近的一侧均固定安装有两个放置杆（5），所述底座（1）的顶部固定安装有第二安装杆（8），所述第二安装杆（8）的底部设置有安装底板（7），所述安装底板（7）底部的正面固定安装有固定杆（6），所述安装底板（7）的底部且位于固定杆（6）的背面设置有移动夹杆（10）。


2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用方便送料的刻蚀机，其特征在于：所述第二安装杆（8）的正面固定安装有第一电机（9），所述第二安装杆（8）的内部开设有第一滑槽（16），所述第一滑槽（16）的内部滑动连接有第一滑块（11），所述第一滑块（11）的底部与安装底板（7）的顶部固定连接。


3....

【专利技术属性】
技术研发人员：陈尔城，
申请(专利权)人：沈阳航科智能系统有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21