一种高低温冲击测试设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高低温冲击测试设备，包括气源，联结所述气源的主气路，输入端与所述主气路输出端联结的第一气路，安装在所述第一气路上的制冷装置，安装在所述第一气路上的加热装置，安装在所述第一气路上的热流罩；输入端与所述主气路输出端联结的第二气路，所述第二气路的输出端联通设置在所述热流罩外侧的气体隔绝层，与所述主气路输出端联结的第三气路，与所述第三气路输出端联结的行程气缸，所述行程气缸与和所述热流罩联结的所述加热装置联结；本实用新型专利技术能够更好的提升温控能力和温控精度，使得操作监控等更加便捷。

【技术实现步骤摘要】
一种高低温冲击测试设备
本技术属于品质检测领域，涉及一种产品可靠性分析设备，尤其是一种高低温冲击测试设备。
技术介绍
为了保证半导体元件使用的可靠性以及使用寿命，在生产半导体元件后需要对其做高速高低温冲击试验，通常采用的试验设备是高低温试验箱和热冲击试验箱。进行高低温试验时，将样品放在封闭的试验箱内，通过电加热器加热，或制冷压缩机组制冷来检验样品的性能。进行热冲击试验时，需要将样品在高温环境和低温环境来回切换，检验样品的性能。对于热冲击试验箱目前普遍采用的有两种结构形式，一种为吊篮式，具有高温箱和低温箱两个试验箱，试验样品放在吊篮中，吊篮在高温箱和低温箱中来回移动停留。另一种是气道式冲击箱，设备有三个箱体，高温箱、低温箱与样品箱，通过气道相连，样品通过气道与高温箱低温箱交替相通。然而，现有的高低温试验箱及热冲击试验箱的箱体空间都较大，并且对半导体元件批量地试验，因此，在高温及低温切换过程需要等待的时间较长，无法快速调温，并且消耗较大的电能，节能效果很差。另外，这种方式对于温度的控制能力较差，温度控制的精确性较低。
技术实现思路
有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本技术提供了一种高低温冲击测试设备，包括气源，联结所述气源的主气路，输入端与所述主气路输出端联结的第一气路，安装在所述第一气路上的制冷装置，安装在所述第一气路上的加热装置，安装在所述第一气路上的热流罩；输入端与所述主气路输出端联结的第二气路，所述第二气路的输出端联通设置在所述热流罩外侧的气体隔绝层，与所述主气路输出端联结的第三气路，与所述第三气路输出端联结的行程气缸，所述行程气缸与和所述热流罩联结的所述加热装置联结。根据本专利
技术介绍
中对现有技术所述，采用多个设备来回切换，不仅设备复杂，操作不便，而且成本更高，同时效率较低，温度调节不便，并且能源消耗大，温控能力和温控精度都较差；而本技术公开的高低温冲击测试设备，由于采用复叠冷却系统和加热系统的配合，能够更好的提升温控能力和温控精度，及多级油尘，保证后续气体中不存有湿气，无法结霜，同时，采用运动热流罩、气体隔绝层以及透明结构，使得操作监控等更加便捷。另外，根据本技术公开的高低温冲击测试设备还具有如下附加技术特征：进一步地，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置。进一步地，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置，所述油尘过滤装置包括油尘过滤器组件和二级油尘过滤器，所述干燥在生装置为分子筛干燥再生装置，所述油尘过滤器组件、所述分子筛干燥再生装置、所述二级油尘过滤器依次顺序安装在所述主气路上。进一步地，所述主气路上还安装有压力表和低压控制保护开关。进一步地，所述制冷装置、所述加热装置、所述热流罩依次顺序安装在所述第一气路上，所述第一气路输入端侧依次顺序安装有第一朱电磁阀和流量比例阀、流量计。进一步地，所述第二气路输入端侧依次顺序安装有第二主电磁阀、第一手动阀，所述第一手动阀输出端联结所述气体隔绝层。进一步地，所述第三气路输入端侧依次顺序安装有第三主电磁阀和第二手动阀，所述第二手动阀输出端联结所述行程气缸。进一步地，所述热流罩包括热流罩内腔和形成所述热流罩内腔的热流罩壁，所述热流罩壁上板具有不与所述气体隔绝层相通的热流罩饱和出气平衡口，所述热流罩饱和出气平衡口出口通向外部环境，所述热流罩壁外侧设有所述气体隔绝层，所述气体隔绝层包括上气体隔绝层和侧气体隔绝层，所述第二气路输出端联结所述上气体隔绝层，所述上气体隔绝层和所述侧气体隔绝层联通，所述上气体隔绝层上板具有多个微出气孔，所述侧气体隔绝层下部具有出气通道，所述侧气体隔绝层为透明结构。进一步地，所述制冷装置为复叠式制冷装置，所述复叠式制冷装置包括一级制冷装置和二级制冷装置，所述一级制冷装置包括一级压缩机、一级冷凝器、一级汽化器，所述二级制冷装置包括二级压缩机、油分离器、二级冷凝器，二级交换冷凝器，二级汽化器；所述一级压缩机输出端连接所述一级冷凝器，所述一级冷凝器输出端连接所述一级汽化器，所述一级汽化器输出端连接所述一级压缩机输入端；所述二级压缩机输出端连接所述油分离器输入端，所述油分离器第一输出端连接所述二级冷凝器输入端，所述二级冷凝器输出端连接所述二级交换冷凝器输入端，所述二级交换冷凝器输出端连接所述二级汽化器输入端，所述二级汽化器输出端连接所述二级压缩机输入端，所述二级交换冷凝器和所述一级汽化器形成热量交换装置。更进一步地，所述一级制冷装置还包括所述一级制冷装置还包括一级储液器、一级过滤器、膨胀阀，所述一级压缩机联结所述一级冷凝器，所述一级冷凝器联结所述一级储液器，所述一级储液器联结所述一级过滤器，所述一级过滤器联结所述膨胀阀，所述膨胀阀联结所述一级汽化器，所述一级汽化器联结所述一级压缩机；所述二级制冷装置还包括联结在二级冷凝器输出端的泄压阀，与所述泄压阀输出端联结的膨胀箱，所述膨胀箱的输出端联结所述二级压缩机；与所述二级交换冷凝器连接的二级过滤器和与所述二级过滤器连接的毛细管；所述二级压缩机输出端联结所述油分离器的输入端，所述油分离器的第一输出端联结所述二级压缩机的输入端，所述油分离器的第二输出端联结所述二级冷凝器，所述二级冷凝器的输出端分别联结所述二级交换冷凝器和所述泄压阀，所述二级交换冷凝器的输出端联结所述二级过滤器，所述二级过滤器的输出端联结所述毛细管，所述毛细管的输出端联结所述二级汽化器，所述二级汽化器的输出端联结所述二级压缩机。进一步地，所述加热装置包括加热隔绝层和设置在所述加热隔绝层内侧的石英玻璃加热器，所述第一气路通过所述石英玻璃加热器内部，所述第一气路和所述热流罩相联。本技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明本技术的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是本技术的整体系统示意图；图2是根据本技术的加热装置和热流罩的局部示意图；图3是根据本技术的复叠冷却装置；图1中，气源1，低压保护开关2，压力表3，主气路4，油尘过滤器组件41，干燥再生装置42，二级尘过滤器43，第一气路5，第一主电磁阀51，流量比例阀52，流量计53，第二气路6，第二主电磁阀61，第一手动阀62，热流罩内腔63，侧气体隔绝层64，饱和出气平衡口65，出气通道66,微出气孔67，上气体隔绝层68，第三气路7，第三主电磁阀71，第二手动阀72，制冷装置8，一级压缩机810，一级冷凝器811，一级储液器812，一级过滤器813，膨胀阀814，二级压缩机820，油分离器821，二级冷凝器822，二级过滤器823，毛细管824，泄压阀825，膨胀箱826，热量交换装置830，一级汽化器831，二级交换冷凝器832，二级汽化器840，加热装置9，加热气腔91，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高低温冲击测试设备，其特征在于,包括：气源，联结所述气源的主气路，输入端与所述主气路输出端联结的第一气路，安装在所述第一气路上的制冷装置，安装在所述第一气路上的加热装置，安装在所述第一气路上的热流罩；输入端与所述主气路输出端联结的第二气路，所述第二气路的输出端联通设置在所述热流罩外侧的气体隔绝层，与所述主气路输出端联结的第三气路，与所述第三气路输出端联结的行程气缸，所述行程气缸与和所述热流罩联结的所述加热装置联结。/n

【技术特征摘要】
1.一种高低温冲击测试设备，其特征在于,包括：气源，联结所述气源的主气路，输入端与所述主气路输出端联结的第一气路，安装在所述第一气路上的制冷装置，安装在所述第一气路上的加热装置，安装在所述第一气路上的热流罩；输入端与所述主气路输出端联结的第二气路，所述第二气路的输出端联通设置在所述热流罩外侧的气体隔绝层，与所述主气路输出端联结的第三气路，与所述第三气路输出端联结的行程气缸，所述行程气缸与和所述热流罩联结的所述加热装置联结。


2.根据权利要求1所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置。


3.根据权利要求2所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述油尘过滤装置包括油尘过滤器组件和二级油尘过滤器，所述干燥在生装置为分子筛干燥再生装置，所述油尘过滤器组件、所述分子筛干燥再生装置、所述二级油尘过滤器依次顺序安装在所述主气路上。


4.根据权利要求1所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述主气路上还安装有压力表和低压控制保护开关。


5.根据权利要求1所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述制冷装置、所述加热装置、所述热流罩依次顺序安装在所述第一气路上，所述第一气路输入端侧依次顺序安装有第一朱电磁阀和流量比例阀、流量计。


6.根据权利要求1所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述第二气路输入端侧依次顺序安装有第二主电磁阀、第一手动阀，所述第一手动阀输出端联结所述气体隔绝层。


7.根据权利要求1所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述第三气路输入端侧依次顺序安装有第三主电磁阀和第二手动阀，所述第二手动阀输出端联结所述行程气缸。


8.根据权利要求1所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述热流罩包括热流罩内腔和形成所述热流罩内腔的热流罩壁，所述热流罩壁上板具有不与所述气体隔绝层相通的热流罩饱和出气平衡口，所述热流罩饱和出气平衡口出口通向外部环境，所述热流罩壁外侧设有所述气体隔绝层，所述气体隔绝层包括上气体隔绝层和侧气体隔绝层，所述第二气路输出端联结所述上气体隔绝层，所述上气体隔绝层和所述侧气体隔绝层联通，...

【专利技术属性】
技术研发人员：余双林，
申请(专利权)人：江苏天一瑞合仪器设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32