【技术实现步骤摘要】
一种高低温冲击测试设备
本技术属于品质检测领域，涉及一种产品可靠性分析设备，尤其是一种高低温冲击测试设备。
技术介绍
为了保证半导体元件使用的可靠性以及使用寿命，在生产半导体元件后需要对其做高速高低温冲击试验，通常采用的试验设备是高低温试验箱和热冲击试验箱。进行高低温试验时，将样品放在封闭的试验箱内，通过电加热器加热，或制冷压缩机组制冷来检验样品的性能。进行热冲击试验时，需要将样品在高温环境和低温环境来回切换，检验样品的性能。对于热冲击试验箱目前普遍采用的有两种结构形式，一种为吊篮式，具有高温箱和低温箱两个试验箱，试验样品放在吊篮中，吊篮在高温箱和低温箱中来回移动停留。另一种是气道式冲击箱，设备有三个箱体，高温箱、低温箱与样品箱，通过气道相连，样品通过气道与高温箱低温箱交替相通。然而，现有的高低温试验箱及热冲击试验箱的箱体空间都较大，并且对半导体元件批量地试验，因此，在高温及低温切换过程需要等待的时间较长，无法快速调温，并且消耗较大的电能，节能效果很差。另外，这种方式对于温度的控制能力较差，温度控制的精确性较低。
【技术保护点】
1.一种高低温冲击测试设备，其特征在于,包括：气源，联结所述气源的主气路，输入端与所述主气路输出端联结的第一气路，安装在所述第一气路上的制冷装置，安装在所述第一气路上的加热装置，安装在所述第一气路上的热流罩；输入端与所述主气路输出端联结的第二气路，所述第二气路的输出端联通设置在所述热流罩外侧的气体隔绝层，与所述主气路输出端联结的第三气路，与所述第三气路输出端联结的行程气缸，所述行程气缸与和所述热流罩联结的所述加热装置联结。/n
【技术特征摘要】
1.一种高低温冲击测试设备，其特征在于,包括：气源，联结所述气源的主气路，输入端与所述主气路输出端联结的第一气路，安装在所述第一气路上的制冷装置，安装在所述第一气路上的加热装置，安装在所述第一气路上的热流罩；输入端与所述主气路输出端联结的第二气路，所述第二气路的输出端联通设置在所述热流罩外侧的气体隔绝层，与所述主气路输出端联结的第三气路，与所述第三气路输出端联结的行程气缸，所述行程气缸与和所述热流罩联结的所述加热装置联结。
2.根据权利要求1所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置。
3.根据权利要求2所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述油尘过滤装置包括油尘过滤器组件和二级油尘过滤器，所述干燥在生装置为分子筛干燥再生装置，所述油尘过滤器组件、所述分子筛干燥再生装置、所述二级油尘过滤器依次顺序安装在所述主气路上。
4.根据权利要求1所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述主气路上还安装有压力表和低压控制保护开关。
5.根据权利要求1所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述制冷装置、所述加热装置、所述热流罩依次顺序安装在所述第一气路上，所述第一气路输入端侧依次顺序安装有第一朱电磁阀和流量比例阀、流量计。
6.根据权利要求1所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述第二气路输入端侧依次顺序安装有第二主电磁阀、第一手动阀，所述第一手动阀输出端联结所述气体隔绝层。
7.根据权利要求1所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述第三气路输入端侧依次顺序安装有第三主电磁阀和第二手动阀，所述第二手动阀输出端联结所述行程气缸。
8.根据权利要求1所述的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述热流罩包括热流罩内腔和形成所述热流罩内腔的热流罩壁，所述热流罩壁上板具有不与所述气体隔绝层相通的热流罩饱和出气平衡口，所述热流罩饱和出气平衡口出口通向外部环境，所述热流罩壁外侧设有所述气体隔绝层，所述气体隔绝层包括上气体隔绝层和侧气体隔绝层，所述第二气路输出端联结所述上气体隔绝层，所述上气体隔绝层和所述侧气体隔绝层联通，...
【专利技术属性】
技术研发人员：余双林，
申请(专利权)人：江苏天一瑞合仪器设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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