本发明专利技术公开了一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，包括气源，联结气源的主气路，输入端与主气路输出端联结的第一气路，安装在第一气路上的制冷装置，安装在第一气路上的加热装置，安装在第一气路上的热流罩；输入端与主气路输出端联结的第二气路，第二气路的输出端联通设置在热流罩外侧的气体隔绝层，与主气路输出端联结的第三气路，与第三气路输出端联结的行程气缸，行程气缸与和热流罩联结的加热器装置联结，气源输出至主气路，主气路和第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置；本发明专利技术能够更好的提升温控能力和温控精度，保证后续气体中不存有湿气，无法结霜，使得操作监控等更加便捷。使得操作监控等更加便捷。使得操作监控等更加便捷。
【技术实现步骤摘要】
一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备
[0001]本专利技术属于品质检测领域，涉及一种产品可靠性分析设备，尤其是一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备。
[0002]
技术介绍
[0003]为了保证半导体元件使用的可靠性以及使用寿命，在生产半导体元件后需要对其做高速高低温冲击试验，通常采用的试验设备是高低温试验箱和热冲击试验箱。进行高低温试验时，将样品放在封闭的试验箱内，通过电加热器加热，或制冷压缩机组制冷来检验样品的性能。进行热冲击试验时，需要将样品在高温环境和低温环境来回切换，检验样品的性能。对于热冲击试验箱目前普遍采用的有两种结构形式，一种为吊篮式，具有高温箱和低温箱两个试验箱，试验样品放在吊篮中，吊篮在高温箱和低温箱中来回移动停留。另一种是气道式冲击箱，设备有三个箱体，高温箱、低温箱与样品箱，通过气道相连，样品通过气道与高温箱低温箱交替相通。
[0004]然而，现有的高低温试验箱及热冲击试验箱的箱体空间都较大，并且对半导体元件批量地试验，因此，在高温及低温切换过程需要等待的时间较长，无法快速调温，并且消耗较大的电能，节能效果很差。另外，这种方式对于温度的控制能力较差，温度控制的精确性较低。
[0005]
技术实现思路
[0006]有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本专利技术提供了一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备包括气源，联结所述气源的主气路，输入端与所述主气路输出端联结的第一气路，安装在所述第一气路上的制冷装置，安装在所述第一气路上的加热装置，安装在所述第一气路上的热流罩；输入端与所述主气路输出端联结的第二气路，所述第二气路的输出端联通设置在所述热流罩外侧的气体隔绝层，与所述主气路输出端联结的第三气路，与所述第三气路输出端联结的行程气缸，所述行程气缸与和所述热流罩联结的所述加热器装置联结，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置。
[0007]根据本专利
技术介绍
中对现有技术所述，采用多个设备来回切换，不仅设备复杂，操作不便，而且成本更高，同时效率较低，温度调节不便，并且能源消耗大，温控能力和温控精度都较差；而本专利技术公开的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，由于采用复叠冷却系统和加热系统的配合，能够更好的提升温控能力和温控精度，及多级油尘、特定湿气处理系统，保证后续气体中不存有湿气，无法结霜，同时，采用运动热流罩、气体隔绝层以及透明结构，使得操作监控等更加便捷。
[0008]另外，根据本专利技术公开的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备还具有
如下附加技术特征：进一步地，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置，所述油尘过滤装置包括油尘过滤器组件和二级油尘过滤器，所述干燥在生装置为分子筛干燥再生装置，所述油尘过滤器组件、所述分子筛干燥再生装置、所述二级油尘过滤器依次顺序安装在所述主气路上。所述干燥再生系统用于除去气流中的相应水气，同时采用两套水气过滤系统，两套水气过滤系统可以同时工作，也可以单独工作，当其中一套系统单独工作时，另一套系统可以通过排气装置，将系统中的气体和过滤部件中的水气一同带出，起到重复利用的功能。
[0009]具体地，时尚干燥再生系统具有两种工作模式，一种是全工模式，一种半工模式。
[0010]全工模式下，所有的干燥再生装置同时工作（本案的干燥再生装置可以有多个，不局限于两个干燥再生装置，第一干燥再生装置/第二干燥再生装置可以包括多个干燥再生装置，可以理解为第一干燥再生装置/第二干燥再生装置属于同工作类型的，如正向工作或反向工作，干燥再生装置的集合），全工模式下，干燥再生装置排气阀全部关闭，气体在进气口，即气源输出端相联处，进入进气辅助排气组合件输入端，并由输出端进入两个干燥再生装置，并由干燥再生装置的输出端输出，形成除湿后的干燥气体；半工模式下，部分干燥再生装置正向工作，部分干燥再生装置反向工作，此时，正向工作的干燥再生装置排气阀关闭，反向工作的干燥再生装置排气阀打开，气体经进气辅助排气组合件输入端输入，由于进气辅助排气组合件的作用使得气体无法通过进气辅助排气组合件进入反向工作的干燥再生装置，只能进入正向工作的干燥再生装置进行除湿过滤，当经正向工作的干燥再生装置输出端后，经出气机械组合件输出，一部分正常输出，一部分反向流经反向工作的干燥再生装置，可以降低其内部的部分湿气，同时，由于凝结和重力的作用，在一定时间内，内部湿气也能够自行析出并流出；通过全工模式和单工模式的周期性工作，从而达到重复利用的效果，并且在操作上更加简便，延长整体设备的使用周期。
[0011]进一步地，所述主气路上还安装有压力表和低压控制保护开关。低压控制保护开关在气源压力不足时，可以使整个设备处于待机状态，停止正常工作，避免不可控情况出现，并提供相应报警和记录。
[0012]进一步地，所述制冷装置、所述加热装置、所述热流罩依次顺序安装在所述第一气路上，所述第一气路输入端侧依次顺序安装有第一朱电磁阀和流量比例阀、流量计。
[0013]进一步地，所述第二气路输入端侧依次顺序安装有第二主电磁阀、第一手动阀，所述第一手动阀输出端联结所述气体隔绝层。
[0014]进一步地，所述第三气路输入端侧依次顺序安装有第三主电磁阀和第二手动阀，所述第二手动阀输出端联结所述行程气缸。
[0015]上述两个主电磁阀用于自动控制第二气路和第三气路的开启和闭合，手动阀用于手动调节流量。
[0016]进一步地，所述热流罩包括热流罩内腔和形成所述热流罩内腔的热流罩壁，所述热流罩壁上板具有不与所述气体隔绝层相通的热流罩饱和出气平衡口，所述热流罩饱和出气平衡口出口通向外部环境，所述热流罩壁外侧设有所述气体隔绝层，所述气体隔绝层包括上气体隔绝层和侧气体隔绝层，所述第二气路输出端联结所述上气体隔绝层，所述上气体隔绝层和所述侧气体隔绝层联通，所述上气体隔绝层上板具有多个微出气孔，所述侧气
体隔绝层下部具有出气通道，所述侧气体隔绝层为透明结构。
[0017]第二气路将气体输入到上气体隔绝层和侧气体隔绝层，形成流动气体隔绝层，使得热流罩内腔的温度更加稳定，使得内部待测产品检测过程更加稳定和可靠，微出气孔的存在，可以使得整体上气体隔绝层中的气流更加均匀，实验表明，其可以让热流罩内腔环境更加稳定。
[0018]进一步地，所述制冷装置为复叠式制冷装置，所述复叠式制冷装置包括一级制冷装置和二级制冷装置，所述一级制冷装置包括一级压缩机、一级冷凝器、一级气化器，所述二级制冷装置包括二级压缩机、油分离器、二级冷凝器，二级交换冷凝器，二级气化器。
[0019]更进一步地，所述一级制冷装置还包括一级储液器、一级过滤器、膨胀阀，所述一级压缩机联结所述一级冷凝器，所述一级冷凝器联结所述一级储液器，所述一级储液器联结所述一级过滤器，所述一级过滤器联结所述膨胀阀，所述膨胀阀联结所述一级汽化器，所述一级汽化器联结所述一级压缩机；所述二级制冷装置还包括联结本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于,包括：气源，联结所述气源的主气路，输入端与所述主气路输出端联结的第一气路，安装在所述第一气路上的制冷装置，安装在所述第一气路上的加热装置，安装在所述第一气路上的热流罩；输入端与所述主气路输出端联结的第二气路，所述第二气路的输出端联通设置在所述热流罩外侧的气体隔绝层，与所述主气路输出端联结的第三气路，与所述第三气路输出端联结的行程气缸，所述行程气缸与和所述热流罩联结的所述加热器装置联结，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置。2.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述气源输出至所述主气路，所述主气路和所述第一气路之间包括油尘过滤装置和干燥再生装置，所述油尘过滤装置包括油尘过滤器组件和二级油尘过滤器，所述干燥在生装置为分子筛干燥再生装置，所述油尘过滤器组件、所述分子筛干燥再生装置、所述二级油尘过滤器依次顺序安装在所述主气路上。3.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述主气路上还安装有压力表和低压控制保护开关。4.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述制冷装置、所述加热装置、所述热流罩依次顺序安装在所述第一气路上，所述第一气路输入端侧依次顺序安装有第一朱电磁阀和流量比例阀、流量计。5.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述第二气路输入端侧依次顺序安装有第二主电磁阀、第一手动阀，所述第一手动阀输出端联结所述气体隔绝层。6.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述第三气路输入端侧依次顺序安装有第三主电磁阀和第二手动阀，所述第二手动阀输出端联结所述行程气缸。7.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于， 所述热流罩包括热流罩内腔和形成所述热流罩内腔的热流罩壁，所述热流罩壁上板具有不与所述气体隔绝层相通的热流罩饱和出气平衡口，所述热流罩饱和出气平衡口出口通向外部环境，所述热流罩壁外侧设有所述气体隔绝层，所述气体隔绝层包括上气体隔绝层和侧气体隔绝层，所述第二气路输出端联结所述上气体隔绝层，所述上气体隔绝层和所述侧气体隔绝层联通，所述上气体隔绝层上板具有多个微出气孔， 所述侧气体隔绝层下部具有出气通道，所述侧气体隔绝层为透明结构。8.根据权利要求1所述的具有可循环利用干燥装置的高低温冲击测试设备，其特征在于，所述制冷装置为复叠式制冷装置，所述复叠式制冷装...
【专利技术属性】
技术研发人员：余双林，
申请(专利权)人：江苏天一瑞合仪器设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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