一种金属掩膜版用高精度蚀刻机制造技术

本发明专利技术公开了一种金属掩膜版用高精度蚀刻机，包括箱体，所述箱体的内部活动安装有托板，箱体的背面固定安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的正面固定安装有第一连接筒，第一连接筒的底部固定安装有喷嘴，第一连接筒的顶部连通有第一伸缩软管，第一伸缩软管的顶部连通有喷淋泵，箱体的背面固定安装有气缸，气缸的正面固定安装有第二连接筒，第二连接筒的底部固定安装有喷头，第二连接筒的顶部连通有第二伸缩软管。通过设置的电动伸缩杆和气缸，可以让喷嘴和喷头进行移动，不必再设置大量的喷嘴来对金属掩膜版进行喷射化学药液蚀刻，不仅节省了大量的化学药液，还可以及时的对金属掩膜版进行喷水清理，提高了蚀刻机的工作效率，还降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种金属掩膜版用高精度蚀刻机
本专利技术属于金属掩膜版蚀刻
，具体涉及一种金属掩膜版用高精度蚀刻机。
技术介绍
蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类，在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应达到蚀刻的目的。化学蚀刻是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，蚀刻机常用于硅片、半导体、电路板、金属制品蚀刻花纹等领域。现有的用于金属掩膜版的蚀刻机一般是在机身上设有一排喷嘴，然后把需要进行蚀刻的金属掩膜版放在传送结构上，让传送机构带动金属掩膜版运动，然后再让喷嘴喷出化学药液进行腐蚀，从而达到对物体的蚀刻，但是，这样的做法会使用大量的化学药液，造成了化学药液的浪费，同时，由于金属掩膜版在蚀刻时，物体表面的化学药液没有得到及时的清理，就会导致金属掩膜版表面蚀刻不均匀，影响了人们的使用，不仅降低了蚀刻机的工作效率，还增加了生产成本。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术目的是提供一种金属掩膜版用高精度蚀刻机，解决了化学药液浪费以及不能及时清理的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种金属掩膜版用高精度蚀刻机，包括箱体，所述箱体的内部活动安装有托板，所述箱体的背面固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的正面固定安装有第一连接筒，所述第一连接筒的底部固定安装有喷嘴，所述第一连接筒的顶部连通有第一伸缩软管，所述第一伸缩软管的顶部连通有液压泵，所述液压泵远离第一伸缩软管的一侧通过管道连通有储液箱，所述箱体的背面固定安装有气缸，所述气缸的正面固定安装有第二连接筒，所述第二连接筒的底部固定安装有喷头，所述第二连接筒的顶部连通有第二伸缩软管，所述第二伸缩软管的顶部连通有水泵，所述水泵远离第二伸缩软管的一侧通过管道连通有储水箱。优选的，述托板顶部的两端均固定安装有连接板，其中一个所述连接板的内部设置有螺纹，且套接有调节丝杆，另一个所述连接板的内部套接有滑杆。优选的，所述调节丝杆和滑杆对称设置于箱体内部的两端优选的，所述调节丝杆的一侧固定安装有驱动电机。优选的，所述箱体的底部开设有收集槽，所述箱体底部的两端均连通有排水管，且排水管于收集槽相连通。优选的，所述液压泵、储液箱、水泵和储水箱均固定安装于箱体的顶部。优选的，所述第一连接筒和第二连接筒的顶部均固定安装有支撑装置。优选的，所述支撑装置包括滑套和支撑杆，所述支撑杆固定安装于箱体内壁的顶部，所述滑套套接于支撑杆的外部。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、通过设置的电动伸缩杆和气缸，可以让喷嘴和喷头进行移动，能够更方便的对金属掩膜版进行喷药蚀刻和喷水清洗，不必再设置大量的喷嘴来对金属掩膜版进行喷射化学药液蚀刻，不仅节省了大量的化学药液，还可以及时的对金属掩膜版进行喷水清理，保证了金属掩膜版蚀刻的均匀性，不仅提高了蚀刻机的工作效率，还降低了生产成本，增加了生产收益。2、通过设置的由滑套和支撑杆组成的支撑装置，在第一连接筒或第二连接筒移动的同时，滑套随之在支撑杆的外部滑动，利用支撑装置，对第一连接筒和第二连接筒进行支撑，加强了第一连接筒和第二连接筒的稳定性。附图说明图1为本专利技术的整体外观背面立体结构示意图；图2为本专利技术的箱体内部局部结构示意图；图3为本专利技术的箱体内部结构示意图；图4为本专利技术的局部立体结构示意图。图中：1、箱体；2、托板；3、连接板；4、调节丝杆；5、驱动电机；6、滑杆；7、收集槽；8、电动伸缩杆；9、第一连接筒；10、喷嘴；11、第一伸缩软管；12、液压泵；13、储液箱；14、气缸；15、第二连接筒；16、喷头；17、第二伸缩软管；18、水泵；19、储水箱；20、支撑装置；2001、滑套；2002、支撑杆。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例一：请参阅图1-4，本专利技术提供一种技术方案：一种金属掩膜版用高精度蚀刻机，包括箱体1，箱体1的内部活动安装有托板2，箱体1的底部开设有收集槽7，箱体1底部的两端均连通有排水管，且排水管于收集槽7相连通，箱体1的背面固定安装有电动伸缩杆8，电动伸缩杆8的正面固定安装有第一连接筒9，第一连接筒9的底部固定安装有喷嘴10，第一连接筒9的顶部连通有第一伸缩软管11，第一伸缩软管11的顶部连通有液压泵12，液压泵12远离第一伸缩软管11的一侧通过管道连通有储液箱13，箱体1的背面固定安装有气缸14，气缸14的正面固定安装有第二连接筒15，第二连接筒15的底部固定安装有喷头16，第二连接筒15的顶部连通有第二伸缩软管17，第二伸缩软管17的顶部连通有水泵18，水泵18远离第二伸缩软管17的一侧通过管道连通有储水箱19，液压泵12、储液箱13、水泵18和储水箱19均固定安装于箱体1的顶部。本实施方案中，通过设置的收集槽7，喷嘴10和喷头16喷出的液体均流入收集槽7内部，并且由排水管排出，方便工作人处理，将金属掩膜版放置在托板2的顶部，将金属掩膜版放置完成之后，将托板2推入至箱体1内部，启动液压泵12，液压泵12将储液箱13内部的化学药液抽出至第一伸缩软管11的内部，然后进入第一连接筒9的内部，最终由喷嘴10向金属掩膜版喷出，对金属掩膜版进行蚀刻处理，根据蚀刻的位置对喷嘴10进行调整，启动电动伸缩杆8，电动伸缩杆8推动喷嘴10移动，从而可对金属掩膜版不同的位置进行蚀刻处理，蚀刻的工作结束后，使托板2继续向前移动，移动至喷头16底部时，启动气缸14和水泵18，水泵18将储水箱19内部的水抽入至第二伸缩软管17的内部，并且通过第二伸缩软管17进入第二连接筒15内部，最终由喷头16喷出，对金属掩膜版进行清洗，随着气缸14的运作，气缸14带动第二连接筒15往复移动，从而可以对金属掩膜版进行全面的清洗，清洗一段时间之后，将托板2移出，将金属掩膜版取下。实施例二：如图1-4所示，在实施例一的基础上，本专利技术提供一种技术方案：托板2顶部的两端均固定安装有连接板3，其中一个连接板3的内部设置有螺纹，且套接有调节丝杆4，另一个连接板3的内部套接有滑杆6，调节丝杆4和滑杆6对称设置于箱体1内部的两端，调节丝杆4的一侧固定安装有驱动电机5。本实施例中，驱动电机5的驱动端与调节丝杆4固定连接，通过设置的连接板3、调节丝杆4、驱动电机5和滑杆6，利用驱动电机5将金属掩膜版输送到箱体1的内部进行加工处理，实现了自动对金属掩膜版输送的效果，提高了工作效率。实施例三：如图1-4所示，在实施例一、实施例二的基础上，本专利技术提供一种技术方案：第一连接筒9和第二连接筒15的顶部均固定安装有支撑装置20，支撑装置20包括滑套2001和支撑杆2002，支撑杆2002固定安装于箱体1内壁的顶部，滑套2001套接于支撑杆20本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属掩膜版用高精度蚀刻机，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内部活动安装有托板(2)，所述箱体(1)的背面固定安装有电动伸缩杆(8)，所述电动伸缩杆(8)的正面固定安装有第一连接筒(9)，所述第一连接筒(9)的底部固定安装有喷嘴(10)，所述第一连接筒(9)的顶部连通有第一伸缩软管(11)，所述第一伸缩软管(11)的顶部连通有液压泵(12)，所述液压泵(12)远离第一伸缩软管(11)的一侧通过管道连通有储液箱(13)，所述箱体(1)的背面固定安装有气缸(14)，所述气缸(14)的正面固定安装有第二连接筒(15)，所述第二连接筒(15)的底部固定安装有喷头(16)，所述第二连接筒(15)的顶部连通有第二伸缩软管(17)，所述第二伸缩软管(17)的顶部连通有水泵(18)，所述水泵(18)远离第二伸缩软管(17)的一侧通过管道连通有储水箱(19)。/n

【技术特征摘要】
1.一种金属掩膜版用高精度蚀刻机，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的内部活动安装有托板(2)，所述箱体(1)的背面固定安装有电动伸缩杆(8)，所述电动伸缩杆(8)的正面固定安装有第一连接筒(9)，所述第一连接筒(9)的底部固定安装有喷嘴(10)，所述第一连接筒(9)的顶部连通有第一伸缩软管(11)，所述第一伸缩软管(11)的顶部连通有液压泵(12)，所述液压泵(12)远离第一伸缩软管(11)的一侧通过管道连通有储液箱(13)，所述箱体(1)的背面固定安装有气缸(14)，所述气缸(14)的正面固定安装有第二连接筒(15)，所述第二连接筒(15)的底部固定安装有喷头(16)，所述第二连接筒(15)的顶部连通有第二伸缩软管(17)，所述第二伸缩软管(17)的顶部连通有水泵(18)，所述水泵(18)远离第二伸缩软管(17)的一侧通过管道连通有储水箱(19)。


2.根据权利要求1所述的一种金属掩膜版用高精度蚀刻机，其特征在于：所述托板(2)顶部的两端均固定安装有连接板(3)，其中一个所述连接板(3)的内部设置有螺纹，且套接有调节丝杆(4)，另一个所述连接板(3)的内部套接有滑杆(6)。


3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱超，杨柯，牛恩众，余强根，
申请(专利权)人：常州高光半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32