一种用于半导体加工的推料定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体加工的推料定位装置，包括底座板、推动机构和固定机构，所述底座板的表面设置有两组推动机构，两组所述推动机构均连接有滑动板，两组所述推动机构均包括两块圆形的垫块、两根支撑腿、一个滑动座、一个伺服电机和一根丝杆，两块所述垫块均固定在底座板的表面，两块所述垫块的表面均固定有支撑腿，两根所述支撑腿的顶部均固定有滑动座，所述滑动座的表面开设有滑槽，滑槽内设置有丝杆，所述丝杆的一端通过轴承座与滑槽侧壁转动连接。该用于半导体加工的推料定位装置，能够充分对半导体材料进行固定，防止加工中半导体材料发生晃动，影响加工效果，还能够避免温度过高损伤半导体材料。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体加工的推料定位装置
本技术属于半导体加工
，具体涉及一种用于半导体加工的推料定位装置。
技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机，当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。在半导体零件或芯片在加工的时候，通常需要使用到推料装置，现有的推料装置在使用时难以对半导体材料进行充分的固定，导致加工时产生晃动，影响加工质量。因此针对这一现状，迫切需要设计和生产一种用于半导体加工的推料定位装置，以满足实际使用的需要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于半导体加工的推料定位装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于半导体加工的推本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体加工的推料定位装置，包括底座板(1)、推动机构(2)和固定机构(3)，其特征在于：所述底座板(1)的表面设置有两组推动机构(2)，两组所述推动机构(2)均连接有滑动板(4)；/n两组所述推动机构(2)均包括两块圆形的垫块(21)、两根支撑腿(22)、一个滑动座(23)、一个伺服电机(24)和一根丝杆(25)，两块所述垫块(21)均固定在底座板(1)的表面，两块所述垫块(21)的表面均固定有支撑腿(22)，两根所述支撑腿(22)的顶部均固定有滑动座(23)，所述滑动座(23)的表面开设有滑槽，滑槽内设置有丝杆(25)，所述丝杆(25)的一端通过轴承座与滑槽侧壁转动连接，所述丝杆...

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体加工的推料定位装置，包括底座板(1)、推动机构(2)和固定机构(3)，其特征在于：所述底座板(1)的表面设置有两组推动机构(2)，两组所述推动机构(2)均连接有滑动板(4)；
两组所述推动机构(2)均包括两块圆形的垫块(21)、两根支撑腿(22)、一个滑动座(23)、一个伺服电机(24)和一根丝杆(25)，两块所述垫块(21)均固定在底座板(1)的表面，两块所述垫块(21)的表面均固定有支撑腿(22)，两根所述支撑腿(22)的顶部均固定有滑动座(23)，所述滑动座(23)的表面开设有滑槽，滑槽内设置有丝杆(25)，所述丝杆(25)的一端通过轴承座与滑槽侧壁转动连接，所述丝杆(25)的另一端通过联轴器与伺服电机(24)的输出轴连接固定，所述伺服电机(24)固定在滑动座(23)的侧壁；
两组所述推动机构(2)中的丝杆(25)均螺纹连接有U字形的滑动板(4)，所述滑动板(4)表面的中间位置固定有安装板(5)，所述安装板(5)的表面设置有三组固定机构(3)；
三组所述固定机构(3)均包括固定板(31)、螺纹杆(32)和移动板(35)，所述安装板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯小龙，
申请(专利权)人：苏州市鑫龙净化机械设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32