基板移载装置及其控制方法制造方法及图纸

基板移载装置的控制方法包含：使保持有基板的基板保持手向规定在对准器周围的规定的准备位置移动；使基板保持手向规定在对准器的规定的载置位置移动，而将基板向对准器的旋转台移载；一边使基板保持手在规定在比准备位置靠近载置位置的位置的规定的待机位置待机，一边使基板在对准器对准；使基板保持手向载置位置移动，而将基板从对准器向基板保持手移载；以及使保持有基板的基板保持手向准备位置移动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板移载装置及其控制方法
本专利技术涉及将半导体基板、玻璃基板等基板从载具向工序装置移载的基板移载装置及其控制方法。
技术介绍
以往，公知有对作为半导体元件制造材料的半导体基板(以下，有时简称为“基板”)进行元件形成等工序处理的基板处理设备。一般在基板处理设备设置有工序处理装置、与工序处理装置邻接配置的基板移载装置等。例如，专利文献1中记载的基板移载装置具备：在内部形成有搬运室的壳体、设置于壳体的前壁的多个装载口、以及设置于搬运室内的基板搬运机器人和对准器。基板搬运机器人具备：机械臂、和与机械臂的手腕连结的机械手。该基板搬运机器人进行：基板向工序处理装置的装载和卸载、收容于工序间搬运用的能够封闭的基板载具中的基板的取出和收容等作业。作为上述这样的基板移载装置的一个例子，公知有前端模块(EquipmentFrontEndModule，简称EFEM)、分选器。另外，作为上述这样的基板载具的一个例子，公知有称为FOUP(FrontOpeningUnifiedPod：前开式传送盒)的基板载具。在针对基板进行栅极形成等处理时，对于各个基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板移载装置的控制方法，是具备基板搬运机器人和对准器的基板移载装置的控制方法，所述基板搬运机器人具有基板保持手，/n其特征在于，包含：/n使保持有基板的所述基板保持手向规定在所述对准器周围的规定的准备位置移动；/n使所述基板保持手向规定在所述对准器的规定的载置位置移动，而将所述基板向所述对准器的旋转台移载；/n一边使所述基板保持手在规定的待机位置待机，一边使所述基板在所述对准器对准，其中所述待机位置规定在比所述准备位置靠近所述载置位置的位置；/n使所述基板保持手向所述载置位置移动，而将所述基板从所述对准器向所述基板保持手移载；以及/n使保持有所述基板的所述基板保持手向所述准备位置移动。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180911 US 16/127,4601.一种基板移载装置的控制方法，是具备基板搬运机器人和对准器的基板移载装置的控制方法，所述基板搬运机器人具有基板保持手，
其特征在于，包含：
使保持有基板的所述基板保持手向规定在所述对准器周围的规定的准备位置移动；
使所述基板保持手向规定在所述对准器的规定的载置位置移动，而将所述基板向所述对准器的旋转台移载；
一边使所述基板保持手在规定的待机位置待机，一边使所述基板在所述对准器对准，其中所述待机位置规定在比所述准备位置靠近所述载置位置的位置；
使所述基板保持手向所述载置位置移动，而将所述基板从所述对准器向所述基板保持手移载；以及
使保持有所述基板的所述基板保持手向所述准备位置移动。


2.根据权利要求1所述的基板移载装置的控制方法，其特征在于，
所述待机位置是被所述对准器保持着的所述基板的下方或上方。


3.根据权利要求1所述的基板移载装置的控制方法，其特征在于，
所述待机位置位于所述载置位置与所述准备位置之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田哲也，阿维什·阿肖克·巴瓦尼，曾铭，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，川崎机器人美国有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP