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基板移载装置的控制方法包含：使保持有基板的基板保持手向规定在对准器周围的规定的准备位置移动；使基板保持手向规定在对准器的规定的载置位置移动，而将基板向对准器的旋转台移载；一边使基板保持手在规定在比准备位置靠近载置位置的位置的规定的待机位置待...该专利属于川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)有限公司授权不得商用。