下载一种用于半导体加工的推料定位装置的技术资料

文档序号:28586481

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于半导体加工的推料定位装置,包括底座板、推动机构和固定机构,所述底座板的表面设置有两组推动机构,两组所述推动机构均连接有滑动板,两组所述推动机构均包括两块圆形的垫块、两根支撑腿、一个滑动座、一个伺服电机和一根丝杆,两块...
该专利属于苏州市鑫龙净化机械设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州市鑫龙净化机械设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。