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本实用新型公开了一种用于半导体加工的推料定位装置,包括底座板、推动机构和固定机构,所述底座板的表面设置有两组推动机构,两组所述推动机构均连接有滑动板,两组所述推动机构均包括两块圆形的垫块、两根支撑腿、一个滑动座、一个伺服电机和一根丝杆,两块...该专利属于苏州市鑫龙净化机械设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州市鑫龙净化机械设备有限公司授权不得商用。
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