一种用于晶圆的清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于晶圆的清洗装置，包括保护机构、固定机构、传送机构、清洗机构，所述保护机构上设置有所述传送机构，所述传送机构上端连接有所述固定机构，所述固定机构上侧设置有所述清洗机构，所述清洗机构之间通过联动机构连接，所述清洗机构、所述传送机构动力端均连接动力机构。本发明专利技术所述齿条起配合配合齿轮作用，从而使得晶圆在清洁时进行旋转，利用多级联动效果，提高了动能利用率，同时能够进行配合运动清洗提高清洗效果，利用移动的固定座配合按压弹性阀进行喷水清洗，同时避免清洁剂的空喷，从而提高清洁剂的使用效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆的清洗装置
本专利技术涉及晶圆加工领域，特别是涉及一种用于晶圆的清洗装置
技术介绍
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。在目前的晶圆清洗中，大部分都采用清洁槽超声波方式进行清洗，虽然这种方式能够使得晶圆清洁，并且清洗后需要捞出沥水、擦拭、烘干，费时费力，同时清洁剂的使用效率也不高。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于晶圆的清洗装置及其使用方法，本专利技术。本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的：一种用于晶圆的清洗装置，包括保护机构、固定机构、传送机构、清洗机构，所述保护机构上设置有所述传送机构，所述传送机构上端连接有所述固定机构，所述固定机构上侧设置有所述清洗机构，所述清洗机构之间通过联动机构连接，所述清洗机构、所述传送机构动力端均连接动力机构；所述保护机构包括循环水箱、固定座、万向轮、清洁箱，所述循环水箱上端设置有所述清洁箱，所述循环水箱内部设置有水槽和循环泵，所述循环水箱下端设置有所述固定座，所述固定座一侧设置有所述万向轮；所述固定机构包括移动台、固定座、固定盘、配合齿轮，所述移动台上端安装有所述固定座，所述固定座内部设置有被动齿轮，所述被动齿轮一端和所述配合齿轮啮合，所述被动齿轮上连接有所述固定盘，所述固定盘上端安装有若干吸盘，所述固定盘和所述清洁箱之间设置有齿条；所述传送机构包括传动链轮、链轮轴、传动链条、卡扣连接块，所述链轮轴通过轴承座连接所述循环水箱，所述链轮轴上安装有所述传动链轮，所述传动链轮外部连接有所述传动链条，所述传动链条上安装有所述卡扣连接块；所述清洗机构包括第一清洗滚筒刷、第二清洗滚筒刷、除水刷、吸水滚筒，所述第一清洗滚筒刷、所述第二清洗滚筒刷、所述除水刷、所述吸水滚筒均安装在中心轴上，所述中心轴通过轴承座连接所述清洁箱，三个喷水嘴安装在所述清洁箱内侧，所述喷水嘴进水端安装有进水管，所述进水管和所述链轮轴之间设置有按压弹性阀，所述第二清洗滚筒刷和所述除水刷之间设置有高压喷枪；所述动力机构包括伺服电机、第一链轮组、第二链轮组，所述第二链轮组安装在所述循环水箱内侧，所述伺服电机通过所述第一链轮组连接所述中心轴，所述伺服电机通过所述第二链轮组连接所述链轮轴。优选的：所述联动机构包括联动链轮、联动链条，所述联动链轮连接在所述中心轴上，所述联动链轮之间通过所述联动链条连接。如此设置，当需要多个中心轴进行旋转时，伺服电机通过第一链轮组将动力传输到第一个中心轴上，再通过联动链轮和联动链条进行联动。优选的：所述联动机构包括主动锥齿轮、被动锥齿轮、蜗杆、蜗轮，所述主动锥齿轮连接在第一个所述中心轴上，所述主动锥齿轮下端和所述被动锥齿轮啮合，所述被动锥齿轮上连接有所述蜗杆，所述蜗杆上啮合有三个所述蜗轮。如此设置，当需要多个中心轴进行旋转时，伺服电机通过第一链轮组将动力传输到第一个中心轴上，再通过主动锥齿轮和被动锥齿轮的配合，将动力传输到蜗杆上，利用蜗杆和蜗轮的配合从而使得后续中心轴旋转。优选的：所述清洁箱通过螺栓连接所述循环水箱，所述固定座通过螺纹连接所述循环水箱。如此设置，所述清洁箱起密封作用。优选的：所述固定座通过焊接连接所述移动台，所述被动齿轮、所述配合齿轮转动连接所述固定座，所述固定盘键连接所述被动齿轮。如此设置，所述固定座起固定作用，所述移动台起连接传动链条作用。优选的：所述链轮轴键连接所述传动链轮，所述卡扣连接块通过螺栓连接所述传动链条。如此设置，所述链轮轴起传动作用。优选的：所述进水管通过螺纹连接所述喷水嘴，所述进水管通过螺栓连接所述清洁箱，所述按压弹性阀通过螺纹连接所述进水管。如此设置，所述进水管起传输和固定作用，所述喷水嘴起喷水作用，利用按压弹性阀的间歇性控制喷水，提高清洁剂使用效果。优选的：所述齿条通过螺栓连接所述清洁箱，所述齿条和所述配合齿轮啮合。如此设置，所述齿条起配合配合齿轮作用，从而使得晶圆在清洁时进行旋转，提高清洗效果。优选的：所述伺服电机键连接所述第一链轮组、所述第二链轮组。如此设置，所述伺服电机起提供动力作用。与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：1、所述齿条起配合配合齿轮作用，从而使得晶圆在清洁时进行旋转，利用多级联动效果，提高了动能利用率，同时能够进行配合运动清洗提高清洗效果；2、利用移动的固定座配合按压弹性阀进行喷水清洗，同时避免清洁剂的空喷，从而提高清洁剂的使用效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术所述一种用于晶圆的清洗装置的第一结构示意图；图2是本专利技术所述一种用于晶圆的清洗装置的第二结构示意图；图3是本专利技术所述一种用于晶圆的清洗装置的清洁箱内部结构示意图；图4是本专利技术所述一种用于晶圆的清洗装置的传送机构结构示意图；图5是本专利技术所述一种用于晶圆的清洗装置的固定机构结构示意图；图6是本专利技术所述一种用于晶圆的清洗装置的移动台内部结构示意图；图7是本专利技术所述一种用于晶圆的清洗装置的按压弹性阀结构示意图；图8是本专利技术所述一种用于晶圆的清洗装置的动力机构结构示意图；图9是本专利技术所述一种用于晶圆的清洗装置联动链轮结构示意图；图10是本专利技术所述一种用于晶圆的清洗装置的主动锥齿轮结构示意图。附图标记说明如下：1、保护机构；2、固定机构；3、传送机构；4、清洗机构；5、联动机构；6、动力机构；11、循环水箱；12、固定座；13、万向轮；14、清洁箱；21、移动台；22、固定座；23、固定盘；24、配合齿轮；25、吸盘；26、被动齿轮；27、齿条；31、传动链轮；32、链轮轴；33、传动链条；34、卡扣连接块；41、第一清洗滚筒刷；42、第二清洗滚筒刷；43、除水刷；44、吸水滚筒；45、中心轴；46、喷水嘴；47、进水管；48、按压弹性阀；49、高压喷枪；51、联动链轮；52、联动链条；511、主动锥齿轮；512、被动锥齿轮；513、蜗杆；514、蜗轮；61、伺服电机；62、第一链轮组；63、第二链轮组。具体实施方式在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆的清洗装置，其特征在于：包括保护机构(1)、固定机构(2)、传送机构(3)、清洗机构(4)，所述保护机构(1)上设置有所述传送机构(3)，所述传送机构(3)上端连接有所述固定机构(2)，所述固定机构(2)上侧设置有所述清洗机构(4)，所述清洗机构(4)之间通过联动机构(5)连接，所述清洗机构(4)、所述传送机构(3)动力端均连接动力机构(6)；/n所述保护机构(1)包括循环水箱(11)、固定座(12)、万向轮(13)、清洁箱(14)，所述循环水箱(11)上端设置有所述清洁箱(14)，所述循环水箱(11)内部设置有水槽和循环泵，所述循环水箱(11)下端设置有所述固定座(12)，所述固定座(12)一侧设置有所述万向轮(13)；/n所述固定机构(2)包括移动台(21)、固定座(22)、固定盘(23)、配合齿轮(24)，所述移动台(21)上端安装有所述固定座(22)，所述固定座(22)内部设置有被动齿轮(26)，所述被动齿轮(26)一端和所述配合齿轮(24)啮合，所述被动齿轮(26)上连接有所述固定盘(23)，所述固定盘(23)上端安装有若干吸盘(25)，所述固定盘(23)和所述清洁箱(14)之间设置有齿条(27)；/n所述传送机构(3)包括传动链轮(31)、链轮轴(32)、传动链条(33)、卡扣连接块(34)，所述链轮轴(32)通过轴承座连接所述循环水箱(11)，所述链轮轴(32)上安装有所述传动链轮(31)，所述传动链轮(31)外部连接有所述传动链条(33)，所述传动链条(33)上安装有所述卡扣连接块(34)；/n所述清洗机构(4)包括第一清洗滚筒刷(41)、第二清洗滚筒刷(42)、除水刷(43)、吸水滚筒(44)，所述第一清洗滚筒刷(41)、所述第二清洗滚筒刷(42)、所述除水刷(43)、所述吸水滚筒(44)均安装在中心轴(45)上，所述中心轴(45)通过轴承座连接所述清洁箱(14)，三个喷水嘴(46)安装在所述清洁箱(14)内侧，所述喷水嘴(46)进水端安装有进水管(47)，所述进水管(47)和所述链轮轴(32)之间设置有按压弹性阀(48)，所述第二清洗滚筒刷(42)和所述除水刷(43)之间设置有高压喷枪(49)；/n所述动力机构(6)包括伺服电机(61)、第一链轮组(62)、第二链轮组(63)，所述第二链轮组(63)安装在所述循环水箱(11)内侧，所述伺服电机(61)通过所述第一链轮组(62)连接所述中心轴(45)，所述伺服电机(61)通过所述第二链轮组(63)连接所述链轮轴(32)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆的清洗装置，其特征在于：包括保护机构(1)、固定机构(2)、传送机构(3)、清洗机构(4)，所述保护机构(1)上设置有所述传送机构(3)，所述传送机构(3)上端连接有所述固定机构(2)，所述固定机构(2)上侧设置有所述清洗机构(4)，所述清洗机构(4)之间通过联动机构(5)连接，所述清洗机构(4)、所述传送机构(3)动力端均连接动力机构(6)；
所述保护机构(1)包括循环水箱(11)、固定座(12)、万向轮(13)、清洁箱(14)，所述循环水箱(11)上端设置有所述清洁箱(14)，所述循环水箱(11)内部设置有水槽和循环泵，所述循环水箱(11)下端设置有所述固定座(12)，所述固定座(12)一侧设置有所述万向轮(13)；
所述固定机构(2)包括移动台(21)、固定座(22)、固定盘(23)、配合齿轮(24)，所述移动台(21)上端安装有所述固定座(22)，所述固定座(22)内部设置有被动齿轮(26)，所述被动齿轮(26)一端和所述配合齿轮(24)啮合，所述被动齿轮(26)上连接有所述固定盘(23)，所述固定盘(23)上端安装有若干吸盘(25)，所述固定盘(23)和所述清洁箱(14)之间设置有齿条(27)；
所述传送机构(3)包括传动链轮(31)、链轮轴(32)、传动链条(33)、卡扣连接块(34)，所述链轮轴(32)通过轴承座连接所述循环水箱(11)，所述链轮轴(32)上安装有所述传动链轮(31)，所述传动链轮(31)外部连接有所述传动链条(33)，所述传动链条(33)上安装有所述卡扣连接块(34)；
所述清洗机构(4)包括第一清洗滚筒刷(41)、第二清洗滚筒刷(42)、除水刷(43)、吸水滚筒(44)，所述第一清洗滚筒刷(41)、所述第二清洗滚筒刷(42)、所述除水刷(43)、所述吸水滚筒(44)均安装在中心轴(45)上，所述中心轴(45)通过轴承座连接所述清洁箱(14)，三个喷水嘴(46)安装在所述清洁箱(14)内侧，所述喷水嘴(46)进水端安装有进水管(47)，所述进水管(47)和所述链轮轴(32)之间设置有按压弹性阀(48)，所述第二清洗滚筒刷(42)和所述除水刷(43)之间设置有高压喷枪(49)；
所述动力机构(6)包括伺服电机(61)、第一链轮组(62)、第二链轮组(63)，所述第二链轮组(63)安装在所述循...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，周兴江，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32